振镜延时的调节和现象

1、22.LaserOffDelay（关光延时）下面称LOffD振镜延时的原理与调节一共有5种延时分别为开光延时，关光延时，跳转延时，扫描延时，曲线延时下面分别介绍LaserOnDelay（开光延时）下面称LOnDa.10门口的作用原理和发生时间LOnD发生在开光时当振镜到达指定位置后开始Mark运动，但并不同时出光而是延时LOnD后出光示意图出光MARK开先延时图1开光延时这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜到达指定位置后先出光LOnD后再开始Mark运动b.设置值的单位这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙（us）但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,在Scanlab

2、无此限制C.设置过大或者过小时的情形设置LOnD过小时可以看到开光处产生了爆点（产生此情形的原因是由于振镜开始运动速度低而LOnD又过小这时候出光导致激光在开始处聚集导致爆点）图2开光延时太小设置LOnD过大时可以看到开光处有一部分少刻了（产生此情形的原因是由于振镜开始运动而LOnD过大过了很久再出光导致激光刻蚀时已经离开开始点很远导致有一部分少刻了）图3开光延时太大LOnD设置一般和激光的开光状态相关一般如果激光开光状态能量较强则LOnD设置也需要相应的增大一些a.a.10口的作用原理和发生时间LOffD发生在关光时当振镜刻蚀到达指定位置后要结束Mark运动，但并不同时关光而是延时LOffD

3、后关光示意图这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜还未到达指定位置前1。口的时候已经将光关闭即提前关光b.设置值的单位这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙（us）但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,在Scanlab无此限制c.设置过大或者过小时的情形设置LOffD过小时可以看到关光处少刻了一段（产生此情形的原因是由于振镜结束运动时由于指令和运动有时间差，即指令认为已经到位但实际还未到到位，而LOffD33.JumpDelay（跳转延时，快跳延时）下面称JumpD又过小这时候关光导致激光在结束处少刻一段）图5关光延时太小设置LOffD过大时可以看到关光处产生爆点（产生

4、此情形的原因是由于振镜结束运动时，振镜已经到位，而LOffD又过大这时候还未关光导致激光在结束处产生爆点）图6关光延时太大LOffD的设置一般和扫描速度相关一般扫描速度越大则LOffD也需要越大a.JumpD的作用原理和发生时间JumpD发生在振镜跳转后当振镜跳转到指定位置后延时JumpD的时间再开始别的运动示意图图7跳转延时这个值不可以设为负值b.设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙（10us）即设置1代表10us最小可设0在Raylase中单位为微妙（us）即设置1代表1us但是最小值是50c.设置过大或者过小时的情形设置JumpD过小时可以看到在Jump后的下一段运动开头时

5、有不稳定的现象产生（产生此情形的原因是由于振镜结束Jump运动时，振镜电机还未稳定，而JumpD又过小这时候下一段运动时振镜还在不稳定状态导致此现象发生）图8跳转延时太小设置JumpD过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率JumpD的设置一般和振镜快跳速度相关一般的如果振镜跳转速度越大则JumpD也需要越大MarkDelay（扫描延时）下面称MarkDa.MarkD的作用原理和发生时间MarkD发生的条件是：在乂2业指令后下一条是Jump指令它在乂2业指令后会产生MarkD,即振镜刻蚀到指定位置后延时MarkD的时间再开始跳转指令连续的Mark指令之间不会产生MarkD示意图JumpMar

6、k扫描延时Mark扫描延时扫描延时这个值不可以设为负值b.设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙（10us）即设置1代表10us最小可设0在Raylase中单位为微妙（us）即设置1代表1us但是最小值是50c.设置过大或者过小时的情形设置MarkD太小时可以看到还没到刻蚀的终点位置就直接开始下一段Jump运动了导致关光处出现拐角（产生此情形的原因是由于振镜理论位置和实际位置存在时间差，理论上运动已经到位但实际还未到位，而MarkD又过小这时候下一段Jump运动已经开始导致此现象发生）图10扫描延时太小设置MarkD过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率MarkD的设置一般和振

7、镜扫描速度相关一般的如果振镜扫描速度越大则MarkD也需要越大PolyDelay（拐角延时，转角延时，曲线延时）下面称PolyDa.PolyD的作用原理和发生时间PolyD发生连续Mark指令之间即上一条Mark运动执行完毕后等待PolyD的时间再执行下一个Mark运动，期间激光不会关闭示意图一直开光MarkMark号曲线延时图11曲线延时这个值不可以设为负值b.设置值的单位这个值在Scanlab中单位为10微妙（10us）即设置1代表10us最小可设0在Raylase中单位为微妙（us）即设置1代表1us可设0，但是设置比0大的值必须从50开始c.设置过大或者过小时的情形设置PolyD过小时

8、可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有圆弧过渡导致和实际需求图形不符（产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机还未到位，而MarkD又过小这时候下一段Mark时振镜只能从走捷径路径导致此现象发生）图12PolyD太小设置PolyD过大时可以看到在两段连续的乂2出运动之间拐角处有爆点（产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机已经到位，而PolyD又过大，这时候下一段Mark还未开始但是激光仍然在出导致爆点产生）图12PolyD太大PolyD的设置一般和振镜扫描速度和拐角大小相关一般的如果振镜扫描速度越大拐角越大则PolyD也需要越大综合上述分析和原理我们可以得出如下延时设置必须遵循的规则LOffDLOnD（关光延时必须大于开光延时,否则在刻蚀短线段时会产生问题）MarkDLOffDfeLOnD（扫