IC芯片机械手结构

1、2IC芯片机械手构造本设计自动化机械手由XY轴直线导轨组、Z&PITCHERS珠丝杆副等机械部分组成。主要作用是达成IC芯片的吸放，机械手搬动吸起和放下芯片到设定的地点，达成芯片的测试工作。这种机械手的主要作用是上下料，这里的料是IC芯片，在运动的过程中，把IC芯片放在设定的位置，达成好操作。这种机械手也叫PickandPlace。机械手对地点的精准要求较高，控制信号要求比较牢固。机械手的控制主假如电动平易动。电动使马达带动直线导轨组XY两个方向搬动（其中X方向为线性马达，丫方向为伺服马达）搬动到合适的地点。Z方向是电动马达平易缸有机的组合达成机械手的吸放料操作，马达控制整个装置体的上下动作，

2、每个气缸则能够独自的控制每个吸头的上下，真空发生器产生真空和吹气，用来吸起芯片和放下芯片。机械手对机械搬动地点精准度要求较高，地点不正确，芯片吸起放下的地点不理想，简单破坏芯片。机械手对气路的要求很高，真空和吹气的大小直接影响芯片可否实时的吸起和放下。由于生产工艺和制程的不断发展，IC芯片的线宽由原来的56nm-43nm-32nm,进而使得IC芯片所能够承受的外在物理负载（20N）越来越小，进而对机械手的要求更为的苛刻，保持必要的机械缓冲成为必要，详见（图2-1）PitcherCylinderASSY。图2.1拾取机构总成IC芯片机械手构造图图22IC芯片机械手丫向同步轴构造图I-内六角螺栓M

3、3X0.5_82丫轴PULLEY锁紧装置3?Y轴Pulley锁紧斜楔4?Y轴Pulley5-Y轴同步带轴（20）6-Y轴轴承支架027?Y轴轴承支架018深沟球轴承5902ZKYK9深沟球轴承5902ZKYK10内六角螺栓M4X0.7_6II-丫轴支架18A黑约图2.3IC芯片机械手丫向马达构造图12内六角螺栓M3X0.5_813-Y轴马达锁紧装置丫轴马达锁紧斜楔15内六角螺栓M5X0.8_1216丫轴马达PULLEY17-Y轴马达支架18?丫轴马达支架连结块19内六角螺栓M3X0.5_820?丫轴马达一SGM_04A31229303233图2.4IC芯片机械手Z&PITCHER_O构造图21

4、?Z轴马达同步带轴连结器22-Z轴马达同步带轴23-Z轴马达同步轴支架24-Z轴马达-SGM-01A31225-滚珠丝杆同步带轴26-滚珠丝杆同步带轴连结器27滚珠丝杆副支持装置装置体28滚珠丝杆副滑块29滚珠丝杆副滑块支架30滚珠丝杆副主轴GTR0808AC5T-14031?Z轴主支架32直线导轨IKOLWL12B02_12033-直线导轨滑块IKOLWL12B02图2.5IC芯片机械手Z&PITCHER_02吉构图34-PICKER37-PICKER上下支架0135直线导轨滑块气缸支架38-PICKER气缸一IKOLWLC9B0136-Pitcher导向滑轮FESTOKDPK?6?5?P?

5、T3C39?PICKER缓冲装置40PITCHEF马达支撑板41直线导轨滑块IKOLWLC9B01Whole200mm42-PICKE上下支架02图2.6IC芯片机械手Z&PITCHER_O构造图43直线导轨THKRSR9ZM01_114mm44内六角螺栓M3X0.5J545直线导轨滑块THKRSR9ZM014-PitcherCAM47-PITCHER滚珠丝杆支架PITCHER滚珠丝杆同步带轴锁紧装置49-PITCHER滚珠丝杆同步带轴PITCHE田达SGMM-A2C3YK115PITCHEF马达支架52-PITCHEF4850-马达同步带轴锁紧装置53-PITCHER马达同步带轴54-PITCHER滚珠丝杆副主轴GTR0808AC5T-15055-PITCHERS珠丝杆畐IJ滑块GTR0808AC5T-15056?PITCHER滚珠丝杆畐寸滑块支架57-PITCHERMOTORCAW图2.7IC芯片机械手Pitcher气缸支架构造图图2.8IC芯片机械手滚珠丝杆构造图58滚珠丝杆副主轴GTR0808AC5T