静电防护管理规范

1、静电防护管理规范静电防护管理规范第第10页静电防护管理规范静电防护管理规范公司管理文件静电防护管理规范文件编号：保密等级：发岀部门：发布日期：文件类别：口跨部门发文件编号：保密等级：发岀部门：发布日期：文件类别：口跨部门发送：抄送：总页数：10页附件：6页主题词：静电规范部门内编制A： 责任人： 审核：批准:文件分发淸单分发部门/人数量签收人签收日期分发部门/人数量签收人签收日期文件变更记录I变更日期版本变更条款变更内容责任人I99 Ji:i目的静电防护的目的：静电防护的目的是在电子元器件、组件、设备的制造和使用过程中，通过各种防护手段， 防止因静电的力学和放电效应而对人体及产品产生或可能产生

2、的危害(危害包括:对人体产生 电击；使电子元器件完全损坏、缩短寿命、潜在损伤、电磁干扰等)，或将这些危害限制在最 小程度，以确保人体安全和元器件、组件及设备的设汁性能及使用性能不致因静电作用受到损 害。1. 2.本规范的目的:对供应链管理部静电防护操作统一标准进行规范管理。适用范围适用于供应链管理部电子产品相关的所有部门及活动过程，包括供应商来料，公司内部设计、 生产、调试、包装、运输，代理商存储及工程安装现场等。3 相关文件1. GBJ79-85工业企业通信接地设计规范2. GJB1619-93电子产品防静电放电控制大钢文件3. GB 4385-1995防静电鞋、导电鞋技术要求4. GB12

3、014 -89防静电工作服5. GB2887-2000电子计算机场地通用规范定义静电electrostatics：是一种电能，一般存在于物体表而，是正负电荷在局部失衡时产生的一种现象。2.静电现象:是指电荷在产生与消失过程中所表现岀的现象的总称，如摩擦起电就是一种静电现象。3.静电放电electrostatic discharge (ESD)处于不同静电电位的两个物体之间的静电电荷的转移就是静电放电。4.静电敏感度electrostatic SUSCePtiVity :指元器件所能承受的静电放电电压值。5.静电敏感器件StatiC SenSitiVity device (SSD):对抗静电电压

4、 400OV的静电放电敏感的电子零件、组件或成品。6.泄放leakage:将静电荷安全传导到地。7.中和neutralization:利用异号电荷使静电消失。8.导电性材料conductive：表面电阻系数为105Ohm及以下静电衰减材料CliSSiPatiVe :表面电阻系数在106-109ohm指间。防静电材质anti-static :表面固有电阻值10?1012Ohm之间。绝缘材质insulative：表面固有电阻系数在1012Ohm及以上。表而电阻系数：每平方厘米电介质表而对正方形的相对二边间表而泄漏电流所产生的电阻。单位是欧姆。地线：用来将电流引入大地的导线;电气设备漏电或电压过髙时

5、,电流通过地线进 入大地。14.接地电阻：是指电流经过接地体进入大地并向周圉扩散时所遇到的电阻。4.15.防静电工作区StatiC Safe area:由各种防静电设施、器件及明确的区威界限形成 的工作场地。职责1.产品工艺部1. 1.制立、更新维护静电防护管理规范。1. 2.建立各生产活动区域之抗静电要求规定及负责制程上及仪器设备上防静电 保护措施之架设与维修。1.3.ESD专案人员负责进料的检测、计划性点检和监督指派人员进行保养并 记录报表归档，以及提岀静电防护改善措施。1. 4.由ESD专案人员负责训练生产线上之作业人员正确的静电保护观念及相 关的测试设备使用指导。5.对各种ESD材料的

6、性能、使用抽检周期和数量、异常处理程序及作业员 静电防护用具的使用作岀泄义。5.1.6.对厂商提供生产所需ESD工具材料、防护用具的使用性能作评估认可。7.负责对生产管理部人员/质量人员进行ESD相关培训并考核。2.生产管理部2.1.产线作业员每天检测静电手环是否正确使用及功能是否正常并做记录。2. 2.作业员要每天检查产线所有接地材料、设备是否完善，ESD器具是否合理 使用，电烙铁/电动起子是否漏电，测试输出电压是否在规格内，作业员的静 电防护着装是否正确与完善并做记录。2. 3.当发现ESD/EOS异常及时反馈给供应链运营质量部及产品工艺部人员。3.计划管理部3.1.静电敏感零件与半成品储

7、存于电子仓时，需确认储存位置具有良好之静电防护装宜接地良好并点检记录，检查储存设备抗静电保护是否正确。3. 2.静电敏感零件与半成品于入库计数与检查时，需确认人员与操作工具均有 良好之静电防护装程并接地良好，检查设备之抗静电保护是否正确。3. 3.物料人员在为生产线补充材料的运输过程中需确认静电敏感零件是否由防 静电小车运输并良好接地，在整个过程中都不可以打开任何静电敏感零 件的静电防护包装。4.供应链运营质量部4. 1.负责稽核作业人员是否遵循ESD管理规范进行作业及进行点检、保养并对制程与设备抗静电保护进行抽检。4. 2.静电敏感零件入厂检验时,包装是否静电保护良好并且是否符合防静电要求并

8、对供货商做防静电管制稽核。4. 3.当防静电包材重复使用时对包材进行防静电测试以确保其防静电功能。5.质量管理部提供培训以及技术支持工作程序建立全厂ESD管控系统供应链管理部（包括产工部，质量部，生产部）、质量管理部等部门派ESD代表负责 推动本部门ESD管控以及建立、维护全厂ESD防护系统。2.人员培训2. 1.新员工必须经过人力资源与行政公关部安排的新员工ESD学习课程：2. 2.相关操作人员资格鉴左加入ESD/EOS防护内容，产品工艺部需要对相关操作人员进行 ESD/EOS书而考核以及实际操作考核，未考核合格不能上线作业：2. 3.供应链管理部、质量管理部安排周期性ESD知识训练课程（每

9、年不能少于一 次）3.点检3.1. ESD/EOS点检分为日常点检与左期点检,点检周期与参数依据各点检记录表执 行,评定标准按照ESD测试方法作业说明书。3. 2.日常点检由供应链生产管理部人员负责执行并记录；立期点检由产品工艺部负责执行并记 录。4.稽核改善1.日常稽核改善供应链运营质量部对产线ESD防护依据IPQC巡检表进行稽核，发现问题立即改善。4. 2.定期稽核改善ESD小组组织部门性ESD稽核（每周不少于一次发现问题点追踪并改善。5.人员、设备以及各作业区域ESD保护规定5. 1.区域标识以及温湿度管控5. 1. 1.静电敏感工作区域需张贴醒目的ESD警告标语：5. 1. 2.有严格

10、着装规范要求的区域需在区域入口处醒目张贴着装规范；5.1. 3.空气中的湿度对静电的产生有决立性影响，因此静电敏感区域现场 的相对湿度必须控制在一泄的范围内，我司防静电敏感区域的 湿度管控范围为30%-80%u5. 2.人员防护5. 2. 1.进入各区域着装依各区域要求；5. 2. 3.凡直接工作于静电控制区域或因工作需要，需经常性出入于静电控 制区域者，需穿静电鞋，并定期检査：5. 2. 4.作业时直接接触静电敏感零件者均需佩戴静电手环，各部门每天需 执行ESD制程点检，点检项目包括静电手环之佩戴方式与功能检测，敏感组件之作业规范，设备以及桌垫接地，接地扣以及相关 IabeI完备性等。6.

11、5. 3.工作台或维修站的ESD保护6. 5. 3. 1.静电敏感区域的储料架、工作台、维修台而均需附加ESD桌垫，每 隔5米一个静电接地扣，静电扣导线与防静电金属线部分确实连接； 接地扣需要做ESD防护标签：6. 5. 3. 2.有静电防护要求的工作站其SoP上需明确张贴ESD警告标签：6. 5. 3. 3.移除工作区域内非必要之静电产生物：6. 5. 3. 4.在所有制程中必须使用到得绝缘体如果会产生2KV以上的静电场（压），必须与ESD敏感物品保持30CM以上的距离，对于会产生2KV 以下静电场（压）的绝缘体，必须与ESD敏感物品保持15CM 以上的距离。静电地板ESD防护原则参照防静电

12、地板保养规范6. 5. 5.机器/设备EOS保护6. 5. 5. 1.机器/设备均需接地，使其漏电电压小于IV的指左范围内：6. 5. 5. 2.功能测试站Or烧录FW站别需对其输出电压进行点检：6. 6.各制程防静电基本规定6. 6.1.电子仓以及半成品车间6. 6. 1. 1.电子仓以及半成品车间都圧义为静电敏感区域，作业人员进入这些 区间需要穿戴静电衣帽；6. 6. 1. 2.以上区域均需使用防静电地板：6. 6.1. 3.物料人员在打开静电敏感零件防静电包装时需要佩戴静电手环或者 静电手套：6. 6.1. 4.产线作业或者检验人员作业时依据要求需佩戴静电手环或者静电手 套；6. 6.1

13、. 5.敏感元件的存储需要使用抗静电或导电容器：6. 6.1.6.敏感元件储料架均需附加ESD桌垫，并且确保接地良好：6. 6.1. 7.静电敏感零件运输时需使用防静电小车，并且需确保接地良好；6. 6. 1.8.1作区域使用ESD桌垫，ESD桌垫以及产线金属设备均需确保接地 良好：6. 6.1. 9.務除工作区域内非必要之静电产生物：6. 6. 2.系统总调车间6. 6. 2.1. VW, IDB在通电时必须确认金属设备（如机芯，接口）接到同一个 地线；6. 6. 2. 2.其他测试之设备也必须确保接地良好：6. 6. 3.屏幕车间屏幕车间的防护依照目前的防护情况执行，不做英他要求6. 7.

14、防静电材料标识以及抽检方法6. 7.1.1厂内所有防静电料箱，料盒，隔板，盖板，防静电小车，tray,接地地点 等都需张贴防静电警告标签和起用日期：6. 7. 2.厂商所提供的防静电包材必须有可识別的静电标识；6. 7. 3.防静电材料抽检方法防静电包材抽检与IQC检验一起进行，抽样比例与IQC抽样比例一致，抽检 内容包括包材防静电标识，静电电压以及导电阻抗；抽査中如果发现材料静 电防护性能失效数量超过允收标准，不良处理流程参照IQC不良品处理流 程。6. 7.4.厂内防静电包材（如PE袋，气泡袋）重复使用抽检方法如静电包材需要重复使用，需由生产部收集所有需要重复使用之包材，通知 IPQC进行

15、抽样检测（按GBT2828.1-2003正常检验单次抽样计划,一般水平 Il级抽样方法，AQL二0.65抽样执行），检测包括外观检查（不允许存在破损） 以及静电电压、阻抗测试，抽样检验合格才可继续使用，如不合格则不允许 继续使用。注：如发现有不合格品可以通过全检的方式筛选：8.制程中材料不良厂内制程EOS/ESD测量流程当QA检验发现不良,或者产线出现集中性不良，产工部分析不良为IC等电子 元件失效时,ESD小组需要对工厂ESD防护情况进行检测，并提供测试报告， 测量项目如下：6. 8.1. 1.检测在制产品设备静电防护是否符合要求：6. 8.1.2.检测设备、人员点检记录表是否有异常；6.

16、8.1.3.检测作业人员静电防护是否符合求：6. 8.1. 4.检测存储环境运输条件是否符合防静电要求：6. 8. 2.如量测量结果为厂内制程问题，问题单位需立即提岀改善对策及后续预防对 策：6. 8. 3.如量厂内制程没有发现问题,需根据分析结果做进一步处理。附件1电荷源在防静电工作区内禁止使用及接触易产生静电荷的电荷源（见表Do类别电荷源工作台表面油漆或浸漆表面，普通塑料贴而，普通乙烯及树脂表而地板塑料及普通地板革，抛光打赔木地板，普通乙烯树脂工作服，帽，鞋普通涤纶，合成纤维及尼龙面料，塑料及普通胶底鞋操作工具及设备普通塑料盒，架，瓶，盘用品及纸制品，普通泡沫及一般电动 工具，压缩机，喷射

17、设备，蒸发设备等。2防静电器材基本配宜各种防静电器材基本配置见表2o表2P置部位 置项器材名称、元器件聶老化筛选 元器件检脸及元 器 件 库 房元 器 件 预 处 理设计 工艺 实验 室装 配调 试机房维 修外 场 维 修运 输防静电元件存放架静电识别标签防静电元件盒（袋）防静电桌垫防静电地垫OOO防静电周转箱OOO防静电运输车OOOOOO防静电工作服O防静电腕带腕带监视器OOCjCj导电鞋束OOOCj防静电工作鞋OOOOCj防静电工作手套O防静电烙铁防静电吸锡器防静电印制板架静电电压表OO离子风静电消除器OOOO防静电维修箱（包）防静电海棉泡沫OOO防静电接大地线（带）防静电工作区标志牌OO

18、防静电文件袋O抗静电剂（溶液）OOOOOOO静电监测设备O7. 3防静电标志3. 1.防静电工作区域标识如下图（见图1）。ATTENTloNObSCrVC PrCCaIitiOns for handling CICCtrOStatiC discharge SCnSitiVC devices 按触胪电放电敏感尤件H4 Ilti采収适呷的俺M描施ESD PrOteCted area静tl防护区域（图1）图2ATTENTlON图2ATTENTlON3. 2防静电手环接地地点标识以及防静电物品标识如，如图2和图3所示。OBSERVE PRECAUTIONSELECTOSTATlCSENSITIVOS

19、DEVICES733防静电容器（防静电周转箱.防静电元件盒等）、元件架、运输车等器材上应有防静电标志 （图3）,标志应置于明显且不易受到磨损的地方。734经防静电液处理的物品和场所，其标志见图4。Ojp处理日期I有效日期处理者_35静电防护检查要求示例:检查项目检査标准标准描述1防静电环是否按照 作业指导书要求每 天上班之前检测？每天上班前按操作要求对防静电鞋 及防静电手环进行点检确认，并签 名。2工作人员拿取板卡 是否有静电护防1、板卡有用屏蔽袋或防静电袋包 装。举例图片2、人员拿取物料的手有佩戴防静电 手套。人员工作时是否按 按文件要求佩戴防静电环和防静电 相关作业指导书或手套。3 其他文件要求佩戴防静电环和佩戴防静电手套？电烙铁及吸锡器及 电吹风枪电源线是 否为3PIN插头线 或设备是否有效接 地？有静电敏感器件的 物料或产品使用之 前是否有屏蔽袋或 防静电袋包装等静 电防护描施并摆放 整齐？电源线为3PIN插头线或设备本身 有接地线并上期进行点检记录。存放的板卡等物料均有屏蔽袋或防 静电袋并规范包装，且摆放整齐。存放的板卡是否有 屏蔽袋或防静电袋 包装，并整齐放入 防静电箱内？长时间存放的板卡 是否有按照规泄放 入防静电箱内并盖 上顶板？电子产品装配工作 台面、电子产品或 物料存放架等基础 设施表而等是否