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1、斯威尔 中国斯威尔 中国源自德国 引领世界微波测量专家 斯威尔 1斯威尔 中国斯威尔 中国SWR 产品在多晶硅行业中的应用 张 雄 2008-082斯威尔 中国斯威尔 中国多晶硅工业生产的原理（西门子法）氯 化：还 原：Si + 3HCl = SiHCl3 + H2 + QSiHCl3 + H2 = Si + 3HCl - Q3斯威尔 中国斯威尔 中国多晶硅工艺流程图（西门子法)SiHCl3合成SiHCl3提纯SiHCl3还原多晶硅SiCl4氢化分离反应尾气干法回收与分离图1 西门子法生产工艺流程图工业硅冶金级SolidFlowHCl（补充）H2（补充）H2（补充）SiSiHCl3SiCl4S

2、iHCl3H2SiCl4SiHCl3、H2SiCl4、HClHCl4斯威尔 中国斯威尔 中国多晶硅工业生产的原理（粒状多晶硅）硅烷分解： H2SiF6 = SiF4 + 2H2 SiH4 = Si + 2H2原料制备：Na + Al + 2H2 = NaAlH4硅烷合成：NaAlH4 + SiF4 = NaAlF4 +SiH45斯威尔 中国斯威尔 中国多晶硅工艺流程图(粒状多晶硅）图2 粒状多晶硅生产工艺流程图NaAlH4合成SiH4生成溶剂中SiH4提纯硅烷化溶剂回收与NaAlF4分离SiH4分解制取多晶硅H2NaAlSolidFlowNaAlH4溶剂中粗制SiH4NaAlF4合格多晶硅脱氢

3、硅脱氢干燥（粒状）（粒状）SolidFlowSiF4制取SiH4溶剂溶剂浆状NaAlF4H2细硅粉、H2SolidFlow6斯威尔 中国 SolidFlow 在多晶硅行业中的应用SolidFlow稳定硅粉的输送流量7斯威尔 中国斯威尔 中国SolidFlow 测量氯化铵粉末流量（自由下落）50 8T/h 安装在回转阀后,过滤器前均衡输送并且进行流水控制BASF AG, Ludwigshafen, Germany SolidFlow 应用实例8斯威尔 中国斯威尔 中国SolidFlow 测量石灰粉末流量（气动）环境温度 5T/h 安装在回转阀后均衡输送并且进行流水控制Bayer AG, Leverkusen, Germany SolidFlow 应用实例9斯威尔 中国斯威尔 中国SolidFlow 测量钛铁矿粉末流量环境温度 2-5T/h安装在螺旋给料机后，酸解槽之前均衡输送并且进行流水控制山东东佳集团金虹钛白粉厂 SolidFlow 应用实例10斯威尔 中国 ProSens 应用实例Pr

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