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1、天行健咨询天行健咨询天行健咨询天行健咨询基于 FMEA 在晶圆研磨工艺中的应用质最为常用,接下来,天行健中六西格玛黑带大师李老师使用新版FMEA七步法的分析方法,并借助SGSE-FMEA对晶圆研磨工艺进行PFMEA分析:第一步:策划与准备创建PFMEA项目,定义产品、跨功能团队等信息,如下图所示:第二步:结构分析根据晶圆研磨的工艺流程,定义结构,并分析过程工作要素(5M1E),如下图所示:系统自动生成的工艺流程图,如下:第三步:功能分析要素的功能和要求,如下图:要求的关联关系:第四步:失效分析下图:维护过程项、过程步骤、工作要素三级失效的关联关系:天行健咨询天行健咨询天行健咨询天行健咨询(DC

2、).(DC).查看失效网:第五步:风险分析对FMEA进行S/O/D的评分并制定预防措施(PC)和探测措施天行健咨询天行健咨询天行健咨询天行健咨询第六步:优化对AP(行动优先级)为H的必须进行改进,对AP(行动优先级) 为M改进,然后进行重新评估.任务分配:天行健咨询天行健咨询天行健咨询天行健咨询第七步:文件化(部分展示,供参考)FMEA分析完成后,生成新版FMEA标准表格:天行健咨询天行健咨询在E-FMEA软件中可保证PFMEA到控制计划(CP)的数据一致性, 即在FMEA中对产品特性或过程特性进行修改后,控制计划中会同步修改.以上是利用新版FMEA的分析方法和E-FMEA软件对晶圆研磨的研磨工艺进行

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