洁净室运行管理幻灯

1、洁净室运行管理幻灯第1页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四洁净室（cleanroom）或洁净区（clean zone）的实质是“空气中悬浮颗粒物受控的空间。一个“受控环境”或空间，其“受控”的状态或效果就必须通过检测、监测予以检验，同时也必然需要一整套运行管理的方法以维持需要受控环境。第2页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四洁净室检测与监测洁净室运行与维护洁净室设计与建造洁净室技术洁净室技术的有机构成 设计规范、标准洁净室交竣检测 人员、设备与材料的进入 工艺流程、平面布局 洁净室综合性能评价 防止污染的规章制度 建筑构造与材料 确保洁净室处于设计受

2、控状态的监测 洁净服与用品管理冷、热源及动力 空调净化系统洁净室调试与运行 第3页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四洁净室的竣工验收竣工验收的外观检查竣工验收的调试工作竣工验收的检测项目竣工验收所需文件第4页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四洁净室综合性能评价1由第三方主持验证新建或改建洁净室是否达到设计要求，能正常运行并满足所规定的污染控制标准，其结论更具有公正性和权威性；2所测定的洁净室的初始性能将作为该洁净室性能的“基准”，将来不论是例行检测或是出现问题时进行的测试，均可得出与初始测试结果的偏差。由此便于找出可能造成污染或其他问题的原因。具有两

3、方面的功能：第5页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四ISO 14633-3 建议对设施进行的测试洁净室和洁净室装置的悬浮粒子等级计数与测量14644-1 与 14644-2悬浮微粒子计数14644-1悬浮宏粒子计数14644-1气流测试14644-1与 14644-2压差测试14644-1与 14644-2过滤器系统安装后检漏14644-2气流目检14644-2风向测试温度测试湿度测试静电与离子发生器测试粒子沉积测试自净测试14664-2隔离检漏14644-1与 14644-2第6页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四NEBB 所规定的检测项目美国国家

4、环境平衡局 NEBB（National Environmental Balancing Bureau）关于洁净室性能测试（CPTCleanroom Performance Testing）所规定的测试项目如下：1. 气流速度和均匀性测试（Airflow Velocity and Uniformity Tests）2. 高效空气过滤器装置的检漏测试（HEPA Filter Installation Leak Tests）3. 房间尘粒数测试（Ram Particle Count Tests）4. 隔断压差（Enclosure Pressurization Tests）5. 温、湿度均匀性测试 (

5、Temperature and Humidity Uniformity Tests)6. 噪音及振动测试 (Sound and Vibration Tests)7. 照度及均匀性测试 (Light level and Uniformity Tests)8. 自净测试 (Recovery Tests)9. 电导率测试 (Conductivity Tests)10. 粒子沉积测试 (Particle Fallout Count Tests)11. 静电测试 (Electrostatic Tests)第7页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四NEBB介绍 美国国家环境平衡局实际上

6、是一个创办于1971年的民营机构，它得到美国暖通制冷空调工程师协会（ASHRAE）美国环境科学与技术学会（IEST）北美照明工程协会（IESNA）半导体设备与材料（SEMI）等众多美国协会、学会的支持。 至2005年底，它在世界上已拥有32个分社和6 百多个持证的检测团队。分布在美国各州、加拿大、欧洲和德国、英国、丹麦、法国、澳大利亚、以色列、约旦及亚洲的韩国、新加坡、香港、马来西亚、泰国等地。第8页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四第9页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四第10页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四洁净室的性能监

7、测一、国际标准ISO 14644-2的规定 证明始终符合洁净室级别的测试时间间隔测试参数最长时间间隔测试程序悬浮粒子 ISO 5级6个月ISO 14644-1附件B:(1999年) ISO 5级12个月ISO 14644-1附件B:(1999年)气流量a与风速12个月ISO 14644-3:-B.4款压差b12个月ISO 14644-3:-B.5款注：这些测试可按照规定的ISO等级在动态或静态条件下进行。a. 气流量可用风速或风量测量方法测得。b. 这项测试不适用于非全封闭的洁净区。第11页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四二、国家标准GB50073-2001的规定 空气

8、洁净度等级认证的测试要求空气洁净度等级最长时间间隔（月）测试方法56512静压差和风速（风量）认证的测试要求测试项目最长时间间隔（月）测试方法风速或风量 注12静压差 注12第12页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四洁净室测试时所处的状态洁净室测试状态推荐表测试项目单向流非单向流混合流风量与均匀度风速与均匀度1,2,31,2,31,2,3OPT1,2,3OPT过滤器检漏1,21,21,2尘粒数1,2,31,2,31,2,3正压1,2,31,2,31,2,3平行度1,2N/AOPT（1,2 only）气密性（围护结构）1,21,21,2自净N/A1,21,2尘粒沉降1,2,

9、31,2,31,2,3照度1,OPT(2,3)1,OPT(2,3)1,OPT(2,3)噪音1,2,31,2,31,2,3温度均匀性湿度均匀性1,2,3OPT1,2,3OPT1,2,3OPT第13页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四 其测试的目的无外乎是按照国际标准 ISO 14644 - 1，对洁净室或洁净设备进行检验（Certify）或验证（Verify）,或是按照国际标准 ISO14644 - 2 对洁净室的运行状态进行的定期监测（periodic measurement）。空气中悬浮粒子的测试第14页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四 测试前应

10、验证洁净室或洁净区的各方面设施都是完整的，而且运行是正常的，符合设计的技术性能要求。测试的准备工作预测试工作一般包括：1. 气流量或风速测试2. 空气压差测试3. 隔离结构气密性测试4. 安装好的过滤器检漏测试第15页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四洁净室检测时的最少采样点均按下式决定： 式中 NL 最少采样点数（四舍五入为整数）洁净室或洁净区的面积，以平米计。采样点的位置及数量第16页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四国内标准对空气中悬浮粒子采样的规定面积GB 50073-2001ISO 14644JGJ71-90 洁净室施工及验收规范100级及

11、高于100级1000级10000级100000级 6 大于要求的比值，如果检漏探管的Wp改为7cm，则此时，Wp/Dp = 7/1.35 = 5.2 6 符合要求。可考虑采用 Wp = 7cm, Dp = 1.4cm的探管，此时探管入口风速为=48.2（cm/s）或0.482m/s接近于检测空气的流速。例题第34页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四a. 采用3cm3cm方形探头进行横断面扫描时，其 速度不应超过5cm/s，而矩形探头最大面积扫 描速率不应超过15cm2 /s。b. 以前述矩形探头计算所得入口净尺为 7cm1.4cm尺寸为例，其有效入流面积为 9.8cm2。

12、如果沿扫描方向每秒进行2cm则扫描 速率为7cm2cm=14cm2/s 15 cm2/s，符合 上述要求，那么610610的高效空气过滤器从 左至右扫描一行所需时间约为35秒，整个过 滤器往复逐行扫描（共需9次）所需时间为 935s=315s，即 4 分半钟时间。检漏探头扫描速度第35页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四检测点应距离被测表面 2030mm，测头以 520mm/s 的速度移动， 通常认定高效空气过滤器泄漏的标准是光度计读值超过上 风向浓度的 10-4 ，即 0.001%。检测方法 扫描方法示意A高效过滤器；B粒子计数器检测口第36页，共52页，2022年，5

13、月20日，10点43分，星期四 采用发生器气溶胶产生的测试的平均当量中值径应 在 0.1m至0.5m之间。 气溶胶平均当量中值径尺寸应恰好选择在所用离散 粒子计数器最敏感的粒径的中间尺寸点。 在上风向通常要配置离散粒子计数器采样稀释装 置，以保证采样气溶胶浓度不至高到超过离散粒子 计数器允许浓度。使用离散粒子计数器扫描检漏的要求与方法第37页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四要满足探头入口风速与所检测过滤器出风风速相近的原则。（V+30%） Vs (V-10%) 式中 V是现场过滤器出风风速，m/s Vs是检漏采样探头入口风速，m/s检漏采样探头尺寸第38页，共52页，2

14、022年，5月20日，10点43分，星期四检漏的扫描速率和采样时间式中： Sr为检漏探头扫描速度，m/s Fs为离散粒子计数器的标准采样空气量，m3/s Dp为与扫描方向平行的探头尺寸，cm Cc 为被测高效空气过滤器上风向气溶胶浓度，cm-3 Ps 为被测过滤器最易穿透粒径（MPPS）的最大允许整 体穿透率（the maximum allowable integral MPPS penetration） K 表示被测过滤器的最大允许泄漏（PL）可能比Ps大多 少的某个因数，根据用户与承包商或供应商的协议。第39页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四第40页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四第41页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四第42页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四第43页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四第44页，共52页，2022年，5月20日，10点43分，星期四第45页，共52页，2022年，5月20日，10点4