高纯气体管路施工规范

1、PAGE 30PAGE 26 特殊气体管路施工规范特殊气体体管路暨暨高洁净净度管路路施工规范范目录无尘室作作业安全全规范pipiing insstalllattionn 管路路架设弯管作业业规范熔接规范范测试规范范工安规范范监工人员员工地监监工准则则作业标准准程序1.无尘尘室作业业安全规规范1-1.一般清清洁区工工作条件件(厂务机机房).进入工工作区前前，鞋子子必须清清理干净净。.最好每每天擦拭拭有类似似金属碎碎屑等东东西的地地方。.有规则则的存放放材料。.禁止于于工作区区内吸烟烟、吃东东西、喝喝饮料。.所有工工作区必必须有垃垃圾筒，收集废废料等东东西。.材料人人员进出出必须清清洁一次次。.所

2、有人人员及设设备每周周必须清清洁一次次。.产生污污染的工工作必须须个隔离离。(喷漆、磨砂轮轮机等)1-2.非常干干净区工工作条件件(洁净室室地下回回风区).必须换换穿专用用的鞋子子或鞋套套。.使用真真空吸尘尘器清除除脏东西西。.有规则则的存放放材料。.禁止于于工作区区内吸烟烟、吃东东西、喝喝饮料。.所有使使用过的的材料、残余剩剩料等必必须每日日清除。.所有工工作区内内必须有有密封式式垃圾筒筒，收集集废料等等东西。.材料人人员进出出必须管管制。.所有人人员及设设备每周周必须清清洁一次次。.产生污污染的工工作必须须隔离(如喷漆漆、磨砂砂轮机等等)。.进出工工作区内内的全部部材料必必须清理理干净，才

3、可进进入。.所有工工作区必必须换穿穿干净工工作服。.工作区区的管线线设备禁禁止勾攀攀、践踏踏、吊挂挂东西。1-3.绝对干干净区工工作条件件(洁净室室生产区区).必须换换穿无尘尘专用的的鞋子或或鞋套。.使用中中央系统统真空或或特别过过滤装置置的手提提真空吸吸尘器清清除作业业时产生生的金属属等粉屑屑。.有规则则的存放放使用材材料。.禁止于于工作区区内吸烟烟、吃东东西、喝喝饮料。.所有使使用过的的材料、残余剩剩料等必必须每日日清除。.所工作作区内须须有密封封式垃圾圾筒，收收集废料料东西。.材料人人员进出出必须管管制。.所有工工作人员员及业主主人员每每日必须须清洁干干净。.产生污污染的工工作必须须于进

4、入入无尘室室前完成成。.进入工工作区内内的全部部材料和和工具必必须用水水清洗干干净，才才可进入入。.除入无无尘室应应换穿无无尘依及及尼龙手手套外，余均应应穿着干干净之工工作服。.禁止木木质或瓦瓦愣纸材材料所做做的纸箱箱进入无无尘室。.禁止触触碰任何何液体和和你不知知道的任任何器物物。.含有油油品的工工具禁止止携入。1-4.清净室室施工安安全规则则.指定专专人办理理安全事事宜。.勿雇用用童工。.工作区区域内禁禁止抽烟烟。.必须准准备安全全眼镜。.在清洁洁室须戴戴安全帽帽，特别别是有震震动时。.任何时时间内，均不得得堵塞通通道及出出入口。.在工作作区域工工作，必必须保持持干净；如有产产生垃圾圾，必

5、须须随时准准备垃圾圾袋，于每日收收工时携携出清净净室。.如有意意外发生生，须立立刻告知知监工。.特殊危危险工作作区，须须有安全全围篱及及警告标标志。.地板开开口处，须有安安全围篱篱及警告告标志，以防止止人员掉掉入。.须备有有灭火器器以防火火灾。.灭火器器仅可使使用泡沫沫灭火器器，不可可使用干干粉灭火火器。.工作架架在超出出地面22M以上上时，须须使用鹰鹰架，人人员须系系安全带带(索)。.鹰架、楼梯及及工具，须保持持良好状状况。.在超出出地面22M以上上时，工工具须放放置工具具袋(箱)内。.同时有有两组人人员在不不同高度度工作时时，须有有良好之之连系。.工作区区域内须须有良好好照明设设备。.所有

6、使使用之电电缆及电电线，须须有良好好绝缘。.电缆及及电线须须连结良良好，不不可以电电线直接接插入插插座。.保险丝丝须确时时使用，不可以以钢丝替替代。.电缆及及电线须须正确使使用，不不可过载载。.如已送送电之电电力供应应盘，须须标示警警告标志志高压压危险。.所有圆圆柱型物物品须直直立，并并以链条条或绳索索固定。.切勿于于地板面面滚动圆圆柱型物物品。.如须移移动圆柱柱型物品品，须使使用特殊殊格架举举。.易燃物物品如无无人照料料，不可可置放于于工作区区域内。.化学物物品如有有泄漏，必须马马上处理理。.易燃物物品须放放置于有有盖容器器内。.任何阀阀、开关关插座、电源插插座，不不可随意意开、关关、拔除除

7、(机台管管线)。.任何配配管配线线、材料料，非经经过监工工人员同同意，不不可擅自自任意更更改。22.Piipinng iinsttalllatiion管管路架设设在无尘室室或简易易洁净室室执行高高洁净度度配管工工作时，必须遵遵循下列列的规定定。2-1.现场工工作规定定携入材料必须须置于特特定的贮贮藏间，在工地地现场或或在材料料间要提提供暂时时性的简简易洁净净室，所所有材料料要存放放整齐。在存放放材料时时，有电电子抛光光的管件件必须和和未经电电子抛光光的管件件分开。在尚未未使用管管件之前前都不要要将塑料料封套打打开直到到现埸要要使用时时方可打打开，并并且不要要将材料料直接放放在地上上。切管切管时

8、，使用的的自动切切割机或或手动切切管器必必须是专专门为半半导体厂厂工作所所设计的的。切管管器的刀刀片与管管件成垂垂直方向向，当使使用自动动切割机机时，放放刀片的的深度要要能使管管壁尚有有薄薄的的一层未未切断，藉以防防止切割割时的碎碎屑进入入管内。倒角原则上，在使用用倒角机机(TUUBE SIZZE用)或锉刀刀(PIIPE SIZZE用)时，小小心地移移开切割割面。如如果切割割面歪斜斜未成垂垂直，焊焊口松驰驰或管子子弯曲等等状况发发生时，这种管管路是不不合规定定，必须须重新切切割及配配置。当当倒角时时，在管管的另一一端必须须用高洁洁净度的的氮气冲冲吹(氮气要要经0.02uum的过过滤器过过滤)。

9、N2冲吹吹将管内的的微粒冲冲吹出来来。工作后的的清洁检视切割割机的洁洁净度，保持机机具不受受油污，如果仍仍然看得得见有油油污或切切割的碎碎屑残余余，按照照下列的的方法清清洁之。用GN22冲吹使用的NN2必须须经-880或更低低的露点点，经00.022um的的过滤器器干燥。预制工作作(在简易易洁净室室cleean boooth)在现场的的焊接工工作降至至最低量量是必需需的。配配管区必必须在有有洁净气气的地方方，在工工作时维维持风扇扇正常运运转，于于早、中中、晚用用O2查看看器检查查O2的浓浓度。点焊点焊使用用TIGG焊接，点焊的的点数按按照下列列规定。(CAJJON的的焊机必必需保证证管子确确实

10、牢固固，从完完成的观观点来看看，最好好不要使使用手动动的TIIG焊接接，因此此点焊被被省略)。3/4” 到15AA到80AA：344点。冲吹气体体(Baack seaal ggas)使用氩气气，露点点-800或更低低，氧含含量在00.1pppm以以下，微微粒(00.1uum以上上)含量为为零。冲吹用管管套连接冲吹吹气体管管路与架架设管路路，使用用(Baack seaal jjig)如图(一一)所示Backk seea jjig (Baack seaal ggas)图(一) (参考用用)架设程序序(图二)将工作管管路两端端套上管管套，连连接冲吹吹气体及及阀氩气冲吹吹(预先冲冲吹1分钟以以上)点焊

11、氩气冲吹吹焊接(自自动焊接接)氩气冲吹吹风(收尾冲冲吹1分钟以以上) GArr GArr图(二)装封(在在Cleean boooth内内进行)完成焊接接之后，在管内内充满AAr气，而且用用无尘的的塑料纸纸在末端端包裹两两层。如如果末端端的阀已已经连接接好了，把阀也也用塑料料纸裹起起来。2-2.现场施施工预制管件件连结连结在CCleaan bbootth 装封好好的管件件现场焊接接现埸焊接接的人员员必须有有受过高高洁净度度配管技技术检定定通过。焊接工工作 (ii) (iii) GGAr GArr (iiii) GArr GGAr(iv) GGAr GArr原封至现现埸。先拆卸一一端封套套，并连连

12、接Baack seaal ggas。拆卸要焊焊接端封封套，并并冲吹干干净。连接后将将一端之之Bacck sseall gaas拆掉掉使成出出气端，并开始始焊接。管路维持持条件即使焊接接结束，也要维维持小量量的N22或Ar在管管内冲吹吹以防止止空气流流入管内内。无论论如何也也要想办办法把管管内的空空气及微微粒弄出出来，如如果无法法继续冲冲吹。焊机电源源供给电源源的电压压的变动动，对于于管路焊焊接的质质量影响响甚巨。使用自自动焊接接机的电电源必需需使用特特定的整整流器。容许的的电压波波动ACC 1000V10%，AC 2000V10%，在焊焊接进行行时电压压警报器器一直监监视着电电压，如如果电压压

13、超过可可容许的的范围时时，警报报器就会会发出声声音。2-3.其他注注意事项项下述的工工作是在在架设高高洁净度度的管路路时必需需要执行行的。控制氩气气冲吹用压力计计或液位位计察看看尚余有有多少氩氩气。看流量计计的刻度度检查冲冲吹气体体的容量量。使用采样样品阀从从钢瓶或或气体来来源收集集氩气，测量氩氩气纯度度确定露露点是在在-800以下，残余氧氧气低于于0.11ppmm，微粒粒含量为为0 (0.11um以以上的微微粒)。在工作处处测量架架设管路路末端的的氩气纯纯度，确确定露点点在-770以下残残余氧气气低于22ppmm，测量量地点必必须在监监工及焊焊接都同同意的地地方。前4项规规定的工工作前在在每

14、天开开始工作作由监工工或工作作人员执执行以控控制质量量符合要要求。若气体容容量未达达标准，通知监监工，暂暂停工作作，但是是冲吹必必须持续续进行，或使用用预留的的LN22，当要要使用预预留LNN2时，必定要要做分析析供给气气体纯度度的工作作。简易洁净净室(CCleaan bbootth)的的洁净度度的控制制在Cleean boooth内内测量焊焊接处的的微粒数数量(00.1uum以上上)不能超超过1000个/c.f，claass 100000是是用作贮贮藏用，claass 10000是组组装用。在正常使使用中测测量微粒粒的工作作一天至至少进行行1次。洁净衣物物的管制制在Cleean boooth

15、内内使用的的洁净衣衣、洁净净鞋、洁洁净手套套及其他他设备必必需在使使用前检检查其洁洁净度。使用的洁洁净衣物物等，必必需一个个星期清清洗一次次，不论论有否弄弄脏。洁净室依据洁净净室人员员管制规规定的管管制细则则，所有有的工作作人员皆皆需致力力于工作作在一个个高洁净净空气环环境中。焊接状况况的检查查(由个人人或监工工)当自动焊焊接机的的工作条条件改变变时，必必须确定定焊接数数据与工工作条件件一致。钨棒的保保养及管管制要时时注注意钨棒棒是否变变形。磨钨棒的的工作必必须是由由监工认认可之专专业人员员使用特特定的设设备来执执行。样品制作作及焊接接条件的的检查(焊接者者或监工工)每日早上上在上工工前要制制

16、作数个个同样大大小的样样品。监工切开开样品，检查管管内部焊焊接情况况，用目目视确定定焊接的的地方没没有不规规则的孔孔、裂缝缝、气孔孔或没有有完全焊焊透等缺缺点存在在。若有焊接接缺陷发发现时，检查焊焊接条件件、更换换钨棒、检查冲冲吹气体体纯度、质量及及冲吹的的方法，直到结结果令人人满意，方可进进行配管管工作。样品及焊焊接数据据必须同同时保存存。2-4.要求机器携入入及架设设从侧边带带入机器器要在事事先申请请同意路路线，并并且使用用的拖车车放在特特定的地地方。在水泥地地板上使使用铁锚锚类之固固定机器器。经纵、横横的方向向确定无无误后，固定机机器。机器必须须在地板板的防尘尘油漆涂涂上之前前装上。管路

17、标记记至少每55M要有有标签贴贴在管路路上，标标明气体名称称流向开/关显显示除了球阀阀外，所所有的阀阀都要有有开/关的标标示。3.弯管管作业规规范3-1.说明本项说明明Gass Syysteem作成成时，如如何使用用手工具具PIPPE BBENDDER来来进行弯弯曲作业业。主要对象象SUS 3166 BAA管，外外径1/4” (6.35)使用工工具R11 NOO.3994 LLEVEER型TUBBE BBENDDER 。3-2.配管图图看法与与管长之之决定配管图尺尺寸是表表示配管管中心之之尺寸或或中心配配管末端端之长之之谓。 “a” “a”通常在配配管分岐岐点实施施熔接很很多，兹兹以下图图表示

18、之之。至中心点点之长度度约 +3 mmm (1/44” OOD)(则3.115 mmm 3mmm)约 +55 mmm (33/8” ODD)使用TUUBE BENNDERR 来来加以弯弯曲之中中心点大大约弯曲曲15RR与直角角弯曲比比较，配配管全长长变短，亦即图图面上所所配尺寸寸相加长长度比实实际配管管长度长长。180度度弯曲(R弯曲曲),每一一弯曲，其SEET BBACKK为14.6 mmm 其计算算如下： 50 990 330 1200管长=(50+30+90+1200)-114.66-6.4=2269 mm 11/4” ODD又3/88”时R弯曲Seet BBackk为23.6 mmm依

19、上图原原理可得得(50+30+90+1200)-223.66-100.5=2555.9 mm 3/8” OD0755度范围围角度弯弯苗，其其Sett Baack为为0例如: 755度其管长=(500+533.944+400)-66.4=1377.5其长度差差即所谓谓Sett Baack ，在1/4” OD配配管，每每一弯曲曲可短小小6.44 mmm (66.355mm)下面有有1/44” 、3/88” 各各种埸合合之Seet BBackk之表。弯曲次数数Set Bacck1/4”3/8”1/8”16.4 mm10.55mm6.0mmm212.7721.0012319.1131.5518425.

20、4442.0024531.8863.0030638.1163.0036744.5573.5542850.8884.0048例: 必要要管长=(500+700+800)-112.77=1887.333 mmm 22次弯曲曲Sett Baack因此准备备1877.3 mm长长度配管管就可进进入作业业。3-3.配管切切割配管切割割使用TTubee Cuutteer (Pippe CCuttter)工具RIIDGIID NNO.1105，配管开开始切割割时，必必须前后后旋转334次次半周，使配管管轴部方方向不致致造成直直角，沟沟才开始始进行。配管之之切断处处，事先先用红笔笔做记号号。切割深度度一次切切

21、割过深深会使切切口未能能成立真真圆，慢慢慢进行行，而把把手旋转转角度保保持约330度就就可。切割完毕毕，管内内面产生生突屑会会致使内内径缩小小，须用用铣面CCuttter清清除。最后用铣铣面Cuutteer将突突屑、粉粉屑清除除。3-4.配管弯弯曲作业业应注意意之原则则配管开始始弯曲作作业应注注意原则则比较图面面上两端端、由短短方面先先开始弯弯曲，将将较短尺尺寸配管管上作记记号、此此部份应应放在BBendder左左侧Seet之。时时检查查Bennderr之状态态是否会会造成管管子受伤伤或变形形。两端一方方弯曲1180度度(R弯曲曲)时，必必须从1180度度弯曲方方向作业业。这个个时候RR弯曲尺

22、尺寸在配配管上做做记号，而将此此处置在在Bennderr左侧予予以Seet之。3-5.尺寸固固定(划线器器划线方方法)从配管量量尺寸用用普通量量尺就可可，再用用红铅笔笔作记号号。已施于弯弯曲一次次的配管管，则使使用T型特别别量尺，由配管管中心划划线。实施900度以内内弯曲后后再做第第二次弯弯曲划尺尺寸，依依下列方方法实行行。3-6.熔接部部份注意意事项使用Arrgonn Arrc分岐岐部份，使用专专用冶具具，并使使用Boord板板开孔。开孔后配配管内部部产生突突起屑，粉屑用用Reaamerr工具清清除。施行多数数弯曲作作业其中中有熔接接分岐时时，弯曲曲作业中中途须要要有开孔孔或清除除粉屑的的作

23、业，因为等等到弯曲曲作业完完成后已已经没有有方法通通进开孔孔或清除除粉屑作作业之工工具。44.熔接接规范4-1.电源a.使用用Tessterr确认电电压b.使用用2200V的场场合要确确认结线线。c.使用用1100V电源源时，为为保护配配线，要要使用附附有漏电电Breeakeer之插插座。d.接地地线要用用熔接机机单独使使用者。4-2.氩气Argoon ggas纯纯度达999.9999以以上才予予使用。原则上使使用液化化Arggon Gass 。熔接时氧氧化膜无无法去除除时要检检查Gaas及输输气管路路。4-3.钨Tunngstten研磨时不不能偏颇颇。产生熔接接联珠或或蛇行是是钨研偏偏所致，

24、要重磨磨。研磨磨时使用用研磨专专用机。Tapeer角度度请参考考下记图图面。 2.5。 11mm 0.22 11.6mmm 0.3熔接产生生Gapp时，用Gapp Gaaugee来修正正。4-4.同心圆圆之确认认确认piipe规规格及材材料，然然后参考考Datta表设设定之。Set直直管接住住熔接机机头用VVis调调整。Set短短管用同同心圆打打圆圈确确认之。不是同心心圆时，先考虑虑是否熔熔接机头头之焊接接头有歪歪曲就要要更换HHeadd。4-5.熔接条条件确认认使用Baack Seaaledd Gaas ，Purrge 30分分程度，清除之之流量为为5 ll/miin。使用Daate表表确认

25、AArc Gass Seealeed GGas流流量，并并记入DDataa表。4-6.Tesst熔接接使用对焊焊熔接物物做样品品熔接，制作CCut Sammplee。熔接面联联结、熔熔接程度度、氧化化膜产生生程度都都须确认认。确认后，无问题题才正式式进行熔熔接。为防止表表面氧化化用喷枪枪Ar Gaas。熔接作业业重要事事项a.防止止中心点点偏移：钨与熔熔接面位位置。钨之研磨磨角度未未出来。b.熔接接联珠不不均：切切割面990度未未出来。切割面有有突起物物。钨的消秏秏。c.防止止熔化不不足：尽尽可能观观察熔接接时之熔熔接内面面。d.防止止过熔低低陷：利利用控制制内压之之专用治治具。e.防止止膨胀

26、熔熔接作业业前，再再确认熔熔接条件件。f.熔接接技术者者，熔接接完了后后，确认认熔接部部份。氧化膜除除去作业业基准氧化膜除除去，使使用Sttainnlesss BBrussh SScottch Bruush。使用Sttainn Brrighht除去去作业后后，充分分用纯水水洗净。水洗后，用氮气气清除再再用IPPA洗净净。进行除去去作业时时，配管管末端用用盲Caap套住住。除去作业业完成后后，其外外部用氮氮气清除除尘埃。收尾工程程，配管管内部用用氮气清清除。清除用氮氮气，通通过0.05uum以上上，具有有除去性性能之CCeraamicc或Staainllesss Fiilteer，并并在8kkg

27、/ccm2的氮气气压力下下将管内内清除。5.测试试规范今依据各各项执行行顺序可可分为七七大部份份:第一部份份外观之之检验。第二部份份为管路路的气密密试验。第三部份份为管路路流程的的检查。第四部份份为HEE测试。第五部份份为微粒粒子测试试、PAARTIICLEE。第六部份份为露点点测试。第七部份份含氧量量测试。5-1.外观检检验:半导体于于管线组组装成后后,须做管管路之外外观检验验,其检验验项目为为:所有管线线是否依依设计排排列施工工,并予标标示气体体种类。所有使用用之材料料是否符符合规定定之材料料。管线之焊焊接是否否有角度度不正、倾斜、歪曲。管线是否否有污物物残留。管线是否否有凹陷陷、龟裂裂等

28、不良良缺陷。5-2.管路气气密试验验:在气密试试验中,所采用用测试方方法均是是采用通通入高于于各管路路正常使使用压力力的1.1倍气气体或11.5倍倍水的压压力于管管路中,再观察察已安装装好之压压力计,判断其其是否有有漏气现现象。但但有些的的管路受受限于二二段式的的压力调调节计,需另安安装压力力计,并由管管路末端端处灌压压方式。当气密试试验中,任一管管路有了了漏气现现象。就就必须进进行查漏漏步骤。一般而言言,在管路路的查漏漏均均是是采用ssnooop对漏漏气管路路所有接接点作泡泡沬测试试(fooamiing tesstinng),其可侦侦测漏气气率约为为1*110-44 attm ccc/sse

29、c。但是有一一点必须须注意是是当压力力计上有有明显变变化时其其漏气已已达1*10-4 aatm cc/secc的标准准以上,故使用用snooop查查漏是相相当可靠靠。当然然能有更更精密仪仪器测是是最好的的方式；但是精精密测漏漏仪器使使用较为为不便,若对宽宽广空间间当然没没有问题题，但对对狭窄及及较高地地点便不不能安装装,所以目目前为止止查漏必必须有系系统规划划执行,否再有有精密仪仪器也找找不出漏漏气处,就以GNN2管路路查漏为为例,就可证证明确实实是如此此。5-3.压压力及气气密之检检验方法法使用0.01uu m过过滤器过过滤的氮氮气或厂厂内PNN2系统统做压力力测试。压力测试试时所需需压力大

30、大小及加加压时间间,设计值值如附表表所示。测试项目目规定气体体测试压力力测试时间间气体测试试N210kgg/cmm2(或依业业主规定定)30分钟钟.管路充充入规定定的压力力气体后后,检查所所有被联联接和焊焊接的部部份,并用试试漏液做做探漏,维持管管内充有有压力并并做记录录。记录任何何被发现现的异常常点。记录使用用中的压压力表读读得有关关数据。从完成压压力测试试开始做做气密测测试,设计值值、时间间如附表表测试项目目规定气体体测试压力力测试时间间气体测试试N28kg/cm22(或依业业主规定定)24小时时做次测试试时,首先计计值充入入管线中中以100分钟或或更久些些,然后才才开始做做记录,以避免免

31、产生误误差。做气密记记录测试试时,必须使使用读出出型压力力计做数数据记录录。在规规定的压压力和规规定的保保持时间间后,管在线线的压力力没有显显示下降降,亦即从从试压开开始测试试的压力力和完成成测试时时的室温温亦不同同时,无论如如,必须使使下列式式子做温温度系数数的校正正,来决定定测试完完成时,压力表表所获得得之数值值能保持持在开始始时所记记录的998%以以上,则此测测试值被被认可为为通过测测试。最后压力力值= 测测完压力力/测完温温度 *110098%始测压力力/始测温温度9).未未接受试试压部份份,如安全全阀、控控制阀、压力计计等,均应接接受气密密试验。气密试验验的压力力以不超超过该组组件的

32、最最大许可可操作压压为限。5-44.气体体管路流流程检查查此项目之之测试依依下列步步骤为之之:将所有气气体管路路的末端端阀打开开。列出(各各种特殊殊气体管管路应到到远的末末端阀的的归纳表表)关闭所所试特殊殊气体管管路的末末端阀。由所欲测测特殊气气体以NN2充压压该管路路至一定定压力,并观察察五分钟钟,视压力力计是否否有下降降现象。若压力计计无下降降,即代表表管路无无错接现现象。若若无下降降现象打打开欲测测特气体体管路末末端阀,判断压压力计是是否会下下降至零零,若降至至零代表表压力计计无问题题。5-5.测漏检检验特殊气体体配管,管做完完上述测测试后将将管路抽抽真空,以HE气做做测漏率率的测试试。

33、本公司使使用为BBALZZER HLTT 1660 HHELIIUM LEAAKDEETECCTORR设备。本公司设设备测漏漏率可达达到-11*100-111 attm.ccc/ssec。测试标准准1*110-88 MAABR L/SS2*10-9 aatm.cc/secc Inn booardd或业主主规定。本公司有有支持设设备相同同机型的的提供厂厂商汉疆股股份有限限公司。操作说明明及注意意事项在开机前前,应先平平稳放置置不得倾倾斜。开机后,不得随随意移动动。关机后,必须听听到VEENT气气声或33-5分分钟后,方可移移动或重重新启动动。在开机前前,须确定定电压是是否正确确(1110V/22

34、00V)电压频率率选择于于60HHZ。本机系属属于精密密电子仪仪器,故必须须使用有有接地的的插头。5-6.微氧分分析测试程序序注意事项选用气体体 a.使用气气体氧分分纯度必必须500PPBB以下或或经过纯化器滤滤过氮气气或同等等纯度之之气体。测试设备备热机 a.微微氧分析析仪开机机后,必须热热机200分钟才才可衔接管路测测试。清净管路路 a.将将测试管管路或盘盘面进气气孔接上上气源。 b.将将测试管管路盘面面上,所有阀阀件全部部打开。 c.使使用设计计压力之之气源来来Purrge所所要测试试之管路。 d.此此Purrge程程序需维维持300分钟以以上。 a.气气体于接接上设备备前必须须将衔接接

35、测试管管路Puurgee 55分钟。 NO b.经经过Puurgee的衔接接测试管管路,衔接上上微氧分分析测试仪后后,打开微微氧分析析仪后,打开微微氧分析析仪电源进行测测试。 c.测测试时依依微氧分分析仪测测试数值值的状况况,同时进进行测试与与Purrge直直到测试试值达到到标准数数值(550 PPPB)以下,才合格格。 YESS结束 aa.需测测试姞果果记录于于微氧分分析测试试记录表表,以作日后追溯溯与识别别用的。5-7.水份分分析测试程序序注意事项选用气体体 aa.使用用气体氧氧分纯度度必须550PPPB以下下或经过纯化器器滤过氮氮气或同同等纯度度之气体体。清净管路路 a.将将测试管管路或

36、盘盘面进气气孔接上上气源,将测试管路或或盘面所所有,所有阀阀件全部部打开。 b.使使用设计计压力气气源来PPurgge测试试之盘面面管路。 c.此此Purrge程程序需维维持300分钟以以上。 aa.气体体管路于于衔接水水份分析析仪SEENSOOR前,必 NOO 须将将衔接测测试管路路Purrge55分钟,让衔接接测试管路内内之水份份随Puurgee气体流流出。测试 b.并联气气体管路路之出气气口至水水份分析析仪 SEENSOOR样品品取样进进气口。 (注注意:气体管管路之出出气口衔衔接水份份分析仪仪 YYES SEENSOOR时,Puurgee气体必必须在流流通的状状况下,且水水份分析析仪必

37、须须在开机机的状况况下) cc.测试试时依水水份分析析仪测试试数值的的状况,同时进行测试试与Puurgee直到水水份分析析仪测试试值达到标准准数值(10PPPB)以下。结束 a.需将测测试结果果记录于于水份分分析测试试记录表表上,以作作日后追追溯与识识别用。6.工安安规范一般守则则请于施工工前五天天向工安安部申请请施工许许可。不可将逃逃指示灯灯及紧急急照明灯灯取下使使用。工作中不不可穿拖拖鞋、高高跟鞋及及赤脚。遇停电时时，不得得乱跑或或喧嚷，应先立立于原地地不动；再依规规定方法法离开现现埸。地上溅有有油渍应应立即除除去。电器开关关、消防防设施附附近不可可摆放物物品。攀爬过程程中禁止止践踏管管线

38、以免免管线破破裂。工作时要要配戴个个人必须须之安全全防护具具，并选选择最安安全之工工作方法法。各项作业业应依循循标准作作业程序序，不可可擅自更更改作业业程序。对于施工工环境认认知不足足或工作作执行有有困难、疑问时时应先请请示工程程监督单单位。施工许可可/动火许许可单应应留置工工作现场场随时备备查。进入厂区区工作应应配戴工工作证进入无尘尘室内应应依工程程监督单单位穿戴戴洁净服服，在FFAB一一楼应穿穿鞋套。6-1.吊装作作业注意意事项工作区域域应标示示禁止人人员通过过，并有有专人在在现场指指挥作业业。吊挂作业业人员应应具法定定合格执执照。作业前应应对吊索索、吊炼炼、吊环环、吊钩钩等进行行检查，确

39、定正正常方可可开始作作业。起吊物不不得越过过人员上上方。起吊物不不可超过过负载。吊钩应尽尽量移挂挂于起重重物重心心之上。不可以单单索吊等等不稳定定方法起起吊。起吊长形形物或不不安定物物料时，应使用用导引索索，并以以安全的的方法操操作。6-2.高空作作业注意意事项高处作业业应使用用安全带带、安全全索、安安全鞋、安全帽帽及其它它必需之之安全防防护具。高处作业业应防止止工具、材料落落下伤人人。不可将两两架梯连连接当长长梯使用用。上下梯子子应面向向梯子，以双手手扶梯。梯子应避避免置于于入口，否则门门应加锁锁。金属梯不不可靠近近电气设设施以防防止漏电电。使用架空空板、鹰鹰架及梯梯子应先先检查确确定安全全

40、后方可可使用。遇有大雨雨等恶劣劣天候应应停止工工作。施工区域域应作标标示，并并注意地地面行人人安全。6-3.动火作作业注意意事项需于施工工前三天天向工安安部申请请动火许许可。应于施工工现场备备妥灭火火器方可可正式动动火。搬运电焊焊机应切切断电源源。在高处电电焊时应应设置防防制他人人从下方方通过。不得在易易燃易爆爆物附进进近从事事电焊作作业。在潮湿地地点从事事电焊作作业时，应穿着着绝缘良良好之安安全鞋。应穿着防防护衣、手套及及护目镜镜。搬运气体体钢瓶应应将瓶阀阀关闭，并用铁铁链条系系牢，严严禁弃置置地面。按照正常常程操作作，防止止回火现现象。所有动火火作须已已具厂商商动火作作业令核核可后始始可施工工。电焊机应应接地，但不得得搭接在在机械设设备、栏栏杆或铁铁梯上。严禁在高高压气体体容器上上打火。电焊