TSV-1300全自动电子束蒸发光学镀膜机

1、TSV-1300全自动电子束蒸发光学镀膜机深圳市龙岗区南联社区方兴科技园C区19栋电话：0传真：6网站：邮箱：TENSTARVACUUM1内容 公司及产品简介TENSTARVACUUM 电子束蒸发镀膜机 主要客户及合作伙伴2公司简介 深圳市天星达真空镀膜设备有限公司成立于2008年，是一家专业从事真空设备制造与研发的国家级高新技术企业。公司目前已拥有五项实用专利技术证书和多项软件著作权登记证书。TENSTARVACUUM3公司简介公司主要产品 电子束蒸发镀膜机 磁控溅射镀膜机 多弧离子镀膜机 PECVD类金刚石薄膜沉积设备 在线四极质谱分析仪 各类非标真空设备HotTENSTARVACUUM4

2、电子束蒸发镀膜机TENSTARVACUUMTSV-1300型全自动光学镀膜机技术参数： 直径1300mm 高度1500mm 极限真空优于1.5 x 10-4 帕 大气至3.0 x 10-3小于15min 烘烤3组18KW 最高350度 晶控 SQC310 (可选配IC6等其他晶控) SR1220mm扇形工件架 2个630扩散泵20000L/s（预留Polycold安装法兰） 70L/s机械泵 + 300L/s罗茨泵 + 30L/s维持泵(可选配) 南京涉谷电子枪5电子束蒸发镀膜机产品主要特点 成熟的生产制造工艺 严格的配件筛选 丰富的可扩展性 完善的自动控制系统 优良的售后服务体系TENSTA

3、RVACUUM6电子束蒸发镀膜机成熟的生产制造工艺 经验丰富的开发、生产团队 成套的各类机械加工设备TENSTARVACUUM 严谨规范的装配流程-装配工艺卡7电子束蒸发镀膜机严格的配件筛选TENSTARVACUUM 所有配件均为国产或进口知名牌，并对配件采用严格把关：欧姆龙PLC、欧姆龙温控表、施耐德低压电器 出厂前反复测试，最少老练三天。筛除早期浴盆失效曲线的可能性，确保设备性能及质量可靠8电子束蒸发镀膜机丰富的可扩展性 设备能广泛适用于在玻璃、塑料和陶瓷基体上沉积各类薄膜，如：增透膜、滤光片、红外截止膜和防水膜等。TENSTARVACUUM 设备标配多位坩埚电子枪，也可根据用户需求扩展环

4、形坩埚、离子源、电阻蒸发和低温捕集泵等来满足不同的生产需求。9电子束蒸发镀膜机氦质谱检漏仪VACUUM四极质谱残气分析（RGA）多元化的检漏方式整机检漏，对所有焊缝及连接密封处进行检漏组件部件检漏零部件焊缝检漏待设备获得较高真空后，对真空室进行残余气体分析，再次检漏，确保设备真空性能达到最佳状态TENSTAR10电子束蒸发镀膜机完善的控制系统TENSTARVACUUM 通过长期对客户现场应用需求的采集，我们开发出了操作简洁，但功能强大的控制系统。【安全互锁】【报警记录】【操作提示】【自动计时】11电子束蒸发镀膜机完善的控制系统TENSTARVACUUM 多样的自动启动机制几乎可以免去整个生成过

5、程的人工干预，从而实现媲美进口设备的“一键生产”。【自动压控】【自动流量】【自动加热】【多段放气】12电子束蒸发镀膜机完善的控制系统TENSTARVACUUM【单独可调】【重复可靠】 12个埚位可以单独设置束斑状态，自动工艺时即使不同特性的材料均能获得平稳的蒸发速率13电子束蒸发镀膜机完善的控制系统TENSTARVACUUM 自动熔料可对光斑轨迹、大小和束流等参数进行灵活设置，包括熔料时否给入氧气等。几乎能满足市面上所有常用材料的自动预熔。【束流可调】【轨迹可调】【埚位可选】【多段预熔】14电子束蒸发镀膜机优良的售后服务体系TENSTARVACUUM 我们塑建了一支训练有素的专业服务团队，为客

6、户提供最满意的服务。 我们为您承诺任何问题2小时内给予答复，珠三角地区24小时内到场维修，国内其他地区不超过72小时。15主要客户及合作伙伴部分企事业单位广州奥益光学东莞科谱达光电中山旌旭光学佛山旭和光电广州盈光机电东莞国联光电兵器工业部洛阳613所长春富瑞光学TENSTARVACUUM深圳比亚迪16部分企事业单位广州晶和光学福州光诚光电深圳钛金利TENSTARVACUUM大中专院校上海复旦大学温州大学哈尔滨商业大学香港理工大学中国科技大学主要客户及合作伙伴17电子束蒸发镀膜机TENSTARVACUUM核心要点真空多元化的真空检漏确保真空系统长期运转稳定可靠电子枪深入研究打火机制 （电子云），疏导和堵截相结合控制系统完善，稳定，可靠，全自动