氩气净化机使用说明书

1、氩气净化机使用说明书产品名称：催化再生式氩气净化机规格型号：CZA-4C成都中科普瑞净化设备有限公司 TOC o 1-5 h z 设备正面图3 HYPERLINK l bookmark27 o Current Document 设备用途和特点3工作原理.43.1净化机的工作流程图4部件说明4主要技术指标5原料气体要求5纯气技术指标54.3设备技术参数5设备安装5操作方法.6吸附塔选择6开机6停机6再生6注意事项.7 HYPERLINK l bookmark86 o Current Document 气体净化机的故障和排除.8CZA-4C电器原理图9设备正面图催化塔温控I吸附塔温控II吸附塔温控

2、电流BBI路再生II路再生总电源催化加热设备用途和特点CZA-4C型氩气净化机能把普通纯氩净化后得到高纯氩。高纯氩气广泛应用于电子、冶金、 机械、化工、原子能和光谱仪等产业部门和科学研究中，为其提供高纯度的工作气体。本机特 点如下：1）催化剂活性高，因此工作温度低，净化后的气体纯度高。2）双式结构，一组工作另一组再生备用，故能长期连续供气。3）采用本机纯气吹扫的再生流程，再生不用氢，故不需专用机房，安全性好。4）CZA-4C克服了老产品偶尔会产生“假断偶保护”使再生不能进行的缺点。5）CZA-4C对再生具有半自动功能，操作比老产品更简单。工作原理净化机的工作流程图部件说明AVF01原气进阀,C

3、01催化塔,SVF01工作切换阀,QVF01 I再生气出阀,QVF02 II再生气出阀,C02 I吸附塔,C03 II吸附塔,SR01 I塔高效过滤器，SR02 II塔高效过滤器，PI01 I塔压力表，PI02 II塔压力表,FI01再生气流速计,TFV01再生气调节阀（装在机内），ZVF01 I路止逆阀,ZVF02 II路止逆阀，SVF02再生切换阀,AVF02纯气出阀。原料氩气经原气进阀AVF01进入催化塔C01,原气中的O2等杂质与催化塔中的高效催化剂 （在250C左右）作用，转变成能被吸附塔吸附的物质。在I路工作的情况下，氩气经工作切 换阀SVF01进人吸附塔I C02 （室温），史0

4、、CO2等杂质被吸附剂吸附后，经高效过滤器SR01 除去尘埃，然后经再生切换阀SVF02、纯气出阀AVF02流出系统，即可输出高纯气体。在I吸附塔C02工作的同时，可以对II吸附塔C03进行再生，按下II路再生按钮，系统会 自动对II吸附塔进行加热，并自动打开相关阀门，纯气就会经对加热的II吸附塔逆向吹扫，把 脱附的杂质排出机外，达到再生的目的。当I吸附塔吸附杂质较多时，只需将工作切换阀SVF01 转到II吸附塔工作，将再生切换阀SVF02转到I吸附塔再生状态，即可对I吸附塔进行再生， 即可实现系统的连续稳定运行。主要技术指标原料气体要求本机原料氩气纯度N99.9%；允许氧含量400PPm，水

5、500PPm （即露点低于一25C）， 其他杂质100PPmo纯气技术指标纯气的最大输出能力4Nm3 / h纯气中杂质含量：O21PPm露点-70C， 即 HO2PPm2CO+CO20.1PPmS的氧化物0.01PPm尘埃粒子：N0.3 m的固体颗粒物3.5个/升（达到电子级水平）。设备技术参数工作压力0.8Mpa催化塔工作温度210280C吸附塔工作温度室温；吸附塔再生温度380420C再生用氩气用量0.6 L/min电源：电压220V，工作时0.6kw；再生时1.6kw外型尺寸：440mm X 560mm X 1220mm设备重量：120Kg设备安装1）把本机的原气进口与气源，纯气出口与用

6、气设备用不锈钢管（或紫铜管）分别连接起来，并检查不漏。注意，连接处一定要加紫铜垫（已随机配备），才能保证不漏。2）把催化塔温控设定在250r，吸附温控设定在400r,（出厂时己设定好，用户可再检查 一下）。3）请检查电源插座的相线、零线与本净化机插头的相线（L）、零线（N）是否一致。如果不 一致，请改接一致后方可插入电源插座开机，否则会有烧坏净化机的危险。操作方法吸附塔选择由于系统配备有两个吸附塔，采用一用一备的模式设计，使用时需要选择一个未失效的吸 附塔工作。同时将工作切换阀SVF01、再生切换阀SVF02同时逆时针旋转到位，即选择I路吸附塔（C02） 工作，此时II路吸附塔（C03）处于再

7、生准备状态；同时将工作切换阀SVF01、再生切换阀SVF02同时顺时针旋转到位，即选择II路吸附塔（C03） 工作，此时I路吸附塔（C02）处于再生准备状态。开机加热催化塔：打开总电源SA1和催化加热开关SA2,加热催化塔。通气：当催化塔的温度上升到工作温度，选择好吸附塔后，就可打开钢瓶总阀，原气进阀 AVF01，待压力上升到所需工作压力后，再打开纯气出阀AVF02,就可向用气点输出高纯气体。停机由于停机期间需要保持机内处于正压状态，故停机时需调节原气压力，使机内充以0.4 0.6MPa的氩气，然后依次关断纯气出阀AVF02、原气进阀AVF01、气源总阀和电源SA2、SA1 等。再生当I吸附塔

8、经较长时间工作，吸附杂质接近饱和，但又还未完全饱和失效时，就应转换到 II吸附塔工作，并对I吸附塔再生。操作方法如下：按下I路再生按钮SB1，系统就会自动打开I再生气出阀QVF01和接通I吸附塔再生加热 温控电源，I塔会自动升温到设定的再生温度400r并恒温。再生时间一般约需8-10小时（出 厂时己设定好）。当再生时间达到后，本机会自动停止再生。再生后的吸附塔需要冷却到室温 后才能再次用于净化工作。如果认为再生效果不好，可加长再生时间到24小时。再生时间可 以自行设定（打开左侧门，在电器盒左侧操作）。再生流速出厂时已调整到黄线处，随着时间的推移，该流速可能会发生变化，在再生期间， 用户可以观察

9、流速计FI01，如果偏移较大，就需要重新调节再生气调节阀TVF01，确保流速稳 定在黄线附近，该阀在机内，打开右边门就可以调节。当I吸附塔工作时，按下II路再生按钮SB2,就可对II吸附塔进行再生。注意事项1）催化塔未达到工作温度，切勿打开原气进阀AVF01，否则会引起气体不纯。2）本净化机采用一用一备设计，只能对备用塔进行再生，切勿对工作塔进行再生，否则会引 起气体严重不纯。3）一定要及时切换工作切换阀SVF01、再生切换阀SVF02。要求在工作吸附塔还未完全饱和 失效之前就要切换到备用塔工作，并对快要失效的塔进行再生。至于每个塔工作多长时间 就需要再生，这与原气的杂质含量有关，由用户根据本

10、地区气源情况，及使用中总结的经 验来确定。4）压力表只有再生时处于零，其它状态都要求高于0.2MPa的压力，如果有一路压力为零， 而该路又没有处于再生状态，请打开有关阀门对其充气并注意进行气密性观察。5）再生期间，再生用氩气都需要有一定的流速，流速要达到黄线附近，如果流速计流速低于 黄线，可以调节相应的调节阀使其流量达到黄线以上。6）工作切换阀SVF01、再生切换阀SVF02 一定要同时顺时针或同时逆时针旋转，切忌交叉旋 转，否则会引起气体的严重不纯。7）不论是由何种误操作引起的气体不纯，都可用反复再生的方法把纯度提高。举例如下：第 一天（上午）选I路系统工作，则对II路系统进行再生，再生8-

11、10小时后，本机自动结 束再生冷却过夜。第二天（上午）11路系统己冷却到60C时，转换到II路系统工作，对I路系统再生。一般这样反复再生一两次就可使纯度达到要求。8）若反复再生仍不能提高纯度，可能有以下两种原因。原料气中的杂质含量太高，超过了 本机的允许量。请更换原气。催化剂耗尽，需停机检查。打开纯气阀，把机内的气体放 空，当压力降为零后，打开催化塔上盖，用一根干净的铁丝探知催化剂还剩多少，若低于 1/2时须加入新的催化剂。一般前两三年都不需要添加催化剂9）再生时再生吸附塔的压力一定要降为零，如果不为零可能是再生气出阀没打开，应检修此阀。气体净化机的故障和排除序号故障检查排除措施1电流为0，温度不升查保险丝是否断查电炉的加热丝和接头是否断查温控仪（XMT）是否坏。