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文档简介

1、实验四扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。二、实验仪器压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+4V、土5三、实验原理在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。平时敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当传感器受压后芯片电阻发生变化，电桥将失去平衡，给电桥加一个恒定电压源，电桥将输出与压力对应的电压信号，这样传感器的电阻变化通过电桥转换成压力信号输出。四、实验内容与步骤1.

2、扩散硅压力传感器MPX10已安装在压力传感器模块上，将气室1、2的活塞退到20ml处，并按图4-1接好气路系统。其中P1端为正压力输入、P2端为负压力输入，PX10有4个引出脚，1脚接地、2脚为Uo+、3脚接+5V电源、4脚为Uo-；当P1P2时，输出为正；当P1VP2时，输出为负。二通0三通气压计2气压计1+5V检Y_P22.检查气路系统，动。4V保持不并能T.接入+压表，选择调节X:R21LPl气室2n气室1值2IZ1纟IC别推进气室I、？的两个活塞，对应的气压计有显示压力值、土15吗流稳压电源，模块20V档，打开实验台总电Rw2到适当-开实验台位置并保持不动,用导线源。出端品接控制台上数显直流电2少9Rwi的输入端Ui短路,Rw3Uol+15v然后调节Rw3使直流电压表200mV档显示为零，取下短路导线。5.退回气室1、2的两个活塞，使两个气压计均指在“零”刻度处，将MPx10的输出接到差动放大器的输入端Ui,调节Rwl使直流电压表200mv档显8.保持负压力输入P2压力0.095Mpa不变，减小正压力输入P1的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力达到O.OMpa；填入表4-3。0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力达到O.OMpa；填入表4-4P(KP)Uo2(V)五、实验报告1.根据表4-1、4-2、4-3所得数据

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