扩散培训资料

1、CT扩散工艺培训工艺介绍：1.1扩散炉气流平面图图一为CT扩散炉简易平面图图二为通过扩散炉气体流动方向1.2扩散原理：1.2.1化学反应方程式：POCl3在高温下（600）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下：；生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下：；PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。因此通入过量O2 ，使PCl5进一步分解为我们所需要的物质，其反应式如下：。1.2.2 磷扩散过程：首先在硅片表面形成一层磷硅玻璃，如下图所示：然后经过一系列的高温推进后，杂质再重新分布，形成一层薄的N型硅，如

2、下图所示：1.3 扩散工艺控制：温度影响扩散方块电阻的温度有Deposition温度；Drive-in 的温度；时间影响扩散方块电阻的时间有Deposition时间；Drive-in 的时间；浓度 影响扩散方块电阻的浓度有小氮流量，影响方阻的均匀性有小氮流量和大氮流量；源温主要是指三氯氧磷的温度，三氯氧磷的饱和蒸汽压随源温的变化而变化，最终决定通往扩散炉的磷源流量；小氮流量 小氮流量的决定了所携带磷源的大小，最终直接影响方块电阻的大小；扩散炉内的压力 扩散炉内的气压会影响扩散均匀性；1.4 典型工艺StepTime【min】Temp【】N2 【slm】N2-POCL3【sccm】O2 【slm

3、】Speed【cm/min】Start7805Laod boat10780-800543Heat up12Ramp up5Stabilise Temperature3790-8105Diffusion15790-81051300-1500300-400Drive in13845-8604-53Cool down and purge483030Unload boat1075015431.5 不同方阻磷浓度曲线分布图：1.6 工艺结果表面有一层磷硅玻璃；磷掺杂形成发射极；方块电阻大小由馆内温度和气体浓度决定；作业步骤：2.1 正常生产：2.1.1 激活石英舟，验证舟的ID，类型，状态和承载位置，如

4、下图所示：2.1.2 选择炉管，石英舟的位置，承载模式和舟的状态，如下图所示：2.1.3 检验工艺选择及信息概要，如下图所示：2.2 特定生产：2.2.1 激活舟并定义硅片承载模式，如下图所示：2.2.2 检验舟的ID，类型，承载位置及状态：2.2.3 工艺选择及信息概要：2.3 结束特定作业：2.3.1 勾选set boat to inactive after unloading 2.3.2 点击卸片按钮2.4 删除作业信息：勾选delete load information of this boat 2.5 重新开始项目解决好J&R操作错误后的步骤：2.5.1 确认J&R与CMI上的错误信

5、息；2.5.2 删除失败的作业项目；2.5.3 手动把舟移动到存储架2-7上；2.5.4 重新加载作业信息，设置舟当前的位置；2.5.5 重新开始自动运行；2.5.6 如果有其它作业项目即将结束，CMI会先完成，然后再重新开始原来重新加载的项目；三、记录分析及工艺编辑：3.1 记录分析：3.1.1 打开Protgraf 软件，如下图标所示：3.1.2 用Protgraf分析，点击如下图标：3.1.3 选择要分析的管号和时间段：3.1.4 选择需要列表输出或者图形显示的项目：3.1.5 记录分析3.1.6 重要事件记录：3.1.7 列表显示：3.1.8 事件显示：3.1.9 图形显示：3.2 工

6、艺编辑：3.2.1 工艺调整：3.2.1.1打开程序，点击桌面CCC-RM图标3.2.1.2第二步：选择左上角第二个菜单栏，输入密码，60653.2.1.3打开工艺控制菜单后，在右边菜单栏内选定，需要调整的工艺号：3.2.1.4选定后，点击右边菜单栏下的“check out ”键，将工艺导出：3.2.1.5点击中间菜单栏下的“”，待更改工艺即出现以下界面的左栏，点击向右箭头，将工艺导导至修改栏，点击“Edit”，开始工艺修改：3.2.1.6工艺更改好后，点击“save”保存：3.2.1.7点击向右箭头，放回：3.2.1.8回到工艺界面，选定工艺，点击中间栏下部的“check in”，将工艺放回

7、至程序库：3.2.2 复制工艺：在生产过程中，有可能出现工艺出错，无法修改，甚至无法调出的情况，可以将其他炉管同一系列工艺进行复制，然后修改，再将新复制的工艺倒回程序库即可。具体见下，选定需要复制的工艺按上面的操作一直到第六步，然后选择“Copy”，即出现以下界面，对工艺命名，完毕后点击OK即出现新工艺。需要注意的是，命名尽量不要超过8个字节：3.2.2.1复制：3.2.2.2将不需要更改的工艺按上面的方式放回程序库：3.2.2.3将需要新建工艺按照需求修改后保存，见下图，再按上面的方式放回程序库：3.2.3 添加一个工艺到炉管：3.2.3.1 打开工艺组织界面；3.2.3.2 在右边的pool里选择我们需要的工艺；3.2.3.3 在左边选择我们需要的机台；3.2.3.4 用前头“符号将工艺传送到机台。3.2.4 从机台里移走一个工艺：3.2.4.1 打开工艺组织界面；3.2.4.2 在左边选择相应的机台和工艺；3.2.4.3 用“”将工艺从机台移走；3.2.5 工艺对比：3.2.5.