光电子微纳制造工艺平台2022年试卷(上半年)及导师确认说明

1、 7武汉光电国家试验室分数光电子微纳制造工艺平台 2022 年试卷名称：超净间根本标准及安全培训考试时间： 2022 年单位：机械科学与工程学院 导师姓名黄永安学生姓名尹 锋 一 单项选择择题60 分化学试剂溅到身上，马上承受喷淋头，用水冲洗 15 分钟。冲洗后，不要擦拭皮肤，必要时前往医院治疗。穿着超净服时，用脚套包住裤腿。超净间内使用圆珠笔。从风淋室进入超净间。5 对超净间内各处的门，轻轻关门。穿着干净鞋或者鞋套进入更衣间。清洗间清洗槽的排气风扇因故障停顿，连续清洗。冲洗容器的稀释液倒入排水槽。手套破损，马上更换。酸、碱及有机溶剂容器的盖子，使用后马上锁紧盖子。超声清洗及其它清洗中，通风柜

2、的门处于半关闭位置。废液待温度降至室温时，倒入收集桶。稀释酸液时，将酸渐渐倒入水中。化学试剂不留神溅到脸上或眼睛里，马上承受 洗眼池，用大量水冲洗 15分钟以上。联系平台领导及工程师帮助马上前往医院就医，同时通知导师。进清洗间，戴防护眼镜或面罩、耐酸碱手套。发生火警时，从安全门跑出超净间，在 A 区北面广场集合，便于清点人数。在工艺设备发生火灾时，假设火苗较小且没有过多烟雾时，同学们可使用2CO 灭火器灭火。密闭房间内，氮气泄漏有窒息威逼。光刻工艺在黄色光条件下进展。20.取得操作许可证，才能独立操作设备超净间级别由低到高依次为：10000 级、1000 级、100 级。进入超净间的个人动作挨

3、次为：2脱一次鞋穿上净化服戴上净化帽洗手戴上口罩手套进风淋室入室；要带入超净间的仪器、工具、硅片和掩模盒，请在更衣室进展清洁。全部的瓶罐，不管有无冲洗过，假设没有贴上危急物质标示贴，只能由 工作人员用水清洗。25.用镊子拿硅片。26.N O为低毒类气体，发生泄漏时，在安全区域佩戴简易防护面罩手套，然2后前往特气室关闭钢瓶阀门及供气面板输出阀门。27.H 为易燃易爆气体，为防止火星，操作时制止使用手机，制止穿化纤服2装，制止穿铁掌皮鞋。同学们不得自行操作此类气体。28.PH 为剧毒性气体，操作时需要戴放毒面具。同学们不得自行操作此类气3体。光刻工艺对环境干净度、温湿度要求高，在百级间进展。金相显

4、微镜、光刻机使用完毕后，在后续没有人使用状况下，肯定要关闭电源，延长光源使用时间。二 推断题40 分手接触手套的外外表。错在千级间内喝水。错一个人在超净间内试验。错在超净间内给磁控溅射机靶材进展打磨工作。错穿皮鞋在更衣间或走廊间走动。错在百级间内缓慢走动。对千级间与技术夹道之间的门总是开着。错垃圾放入字纸篓或垃圾桶，并经常把垃圾袋去除到超净间外。对在超净间内补妆。错化学清洗槽的抽气装置出故障了还连续使用。错戴着超净间内使用过的橡胶手套洗碗。错废液入桶，有机和无机的废液倒入一个桶中。错发生火警时，担忧弄脏超净服，所以先脱掉超净服再逃命。错火势很大，或烟雾过多时，同学们警告四周的人员马上逃命，不管

5、其它任何工作。灭火工作求助 119 专业消防员。对未经平台主任或设备工程师审定，就实施自己的工艺程序。错遇到设备故障时，自己尝试处理。错试验完成时，不通知工程师或助管，自行离开。错化学药品用毕后，在空瓶外贴上安全标示贴，清洗完的空瓶贴上“已清洗”。对19 酸类调和后，马上盖紧存放。错私自带剧毒、易爆炸类物品进入超净间。错没通过安全培训，没有超净间通行证想要进入超净间工作。错无设备操作证书使用设备。错浓硫酸不留神溅到脸上，用大量水冲洗并用毛巾擦脸。错在超净且门关闭的房间内，没有异味，但是感到憋气且脸发红，可能有氮气泄露。应马上离开房间，通知工程师。对非设备治理人员未经允许，不得进入技术夹道动用工

6、艺气瓶及其它装置。对书包带入超净间。错看硅片外表状况时，不戴口罩，鼻子对着硅片出气。错不戴手套做工艺，用手拿基片，用手开闭设备腔体盖子。错稀释浓硫酸，把水沿烧杯壁倒入浓硫酸中。错做工艺时，用戴着的手套外外表在皮肤上挠痒。错离开时，自己的物品放入租用的整理箱。对超净间同一房间内人数应维持二人及以上。对工艺测试设备每天要做清洁，整个超净间每周要做大扫除，各个团队负责自己的包干区卫生。对微纳平台做试验实行预约登记制度，应提前一天预约，要做试验的每位同学都有一张预约 IC 卡。毕业时交给导师传给下一届同学使用。对为了保持光刻间干净度，应保持光刻间的门经常处于关闭状态。对遗留在超净间内的化学药瓶不加标示。错酸碱液混合倾倒。错开展光刻工艺时必需戴手套和口罩。对光刻胶放置在争辩生办公室。错未使用过的药品及材料带入超净间必需经微纳平台领导审核批准。剧毒、易爆炸类物品，原则上严禁带入超净间。对微纳平台试验计费确认说明光电子微纳制造工艺平台：本人系 机械科学与工程学院 学院 尹锋 (姓名)，导师是 黄永安 。即日起至 2022-06-30 日期在光电子微纳制造工艺平台做试验，申请使用 黄永安 教师的工艺测试费，如有变更， 将另行说明。此期间，已预约的试验因故不能做，需要在规定时间内取消，否则