直拉单晶操作规程

1、直拉单晶操作规程操作规程 一、拆炉1: 准备确认停炉冷却时间达5h,准备好钳子及取晶筐，向炉内充 Ar气， 确认炉内为常压时，副室门打开，关闭壮 流量计启动液压，升 起副室 筒，稳住晶体轻推左旋副室， 晶体筐对准副室筒口， 按下晶快 降速按钮。 将晶体安全降入筐内， 手扶籽晶夹头， 用钳子将细颈处剪 断，手扶夹头， 待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启 动液压升起炉盖。 左旋至副室筒下。2:炉子清扫21 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精，吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢车。2-2依次取岀导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出 , 取出 上保温筒石英堆锅及坍底料，并放入到

2、不锈钢桶内到指定的地 方，锅底 料应写清炉号及炉次。注意： 1：石墨件不能用手接触。2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。 3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。2-3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网，3炉大清炉，每炉管道。注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的现象，所以拆除的地方必须用洒精擦净密封圈并装好。保 证 密封圈的完好。2-4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封 圈 及翻板阀，密封圈并保证密封较进

3、槽无误。25 主炉清扫戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥 发物，吸净加热器托盘，炉底。注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有洒精 的 纸巾把主炉室及密封圈擦拭干净。26 石墨件的清扫吸净导流筒，保温罩，三瓣埸，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭 直至无污物。2-7石墨件的装炉坍杆装好后要拧紧螺丝，坍杆要平稳无跳动。三瓣坍装入后要平稳2-8 检查真空泵油位是否在 2/3处2-9检查真空泵油是否干净装炉1: 准备戴好口罩，帽子，打开石英竭包装，取出石英竭，对光。2: 装料用较小的料 3-5 炬铺平埸底，大块料置于中间，用适当的料固定，小 块料填缝，将母合金全放入中间用料盖

4、住，最后吸净周围料渣。注意： ( 1)小块料，小片料不能掉入加热器上，以防打火。(2) 放料时要轻，不能碰坏石英埸。装料时，周围空气环境要好，尽量不要造成污染。3: 合炉31料装好后，埸转开启 2-3转/ 分，确认无短路的可能，快速降至 埸 下限位，应注意低于平口位置100 mm为宜，以防下限位失灵而造成 损 失，关闭坍转3-2放导流筒后不要与硅材料接触3 3 用酒精纸巾擦干净重锤，确认籽晶型号及晶向后，将籽晶装在夹头上，稍向下拉防止籽晶在等径时下坠，将籽晶升入炉筒内合炉， 并关闭 液压泵。4:抽空抽空前检查冷却水压力不低于1.5 kg,确认泵无异常，所有操作过程无遗 漏的程序。按主室泵按钮

5、2-3次运转 1-2分钟，确认无异常，慢 慢打开 排气球阀， 先打开 1/3程度至压力表降到一半时， 打开全部， 开始抽出。 其次测量表数字下慢时，打开 AR 流量计，使 AR 气以 30L/ 分的速度 流 入炉内， 5分钟关闭，反复操作，使炉内真空抽至 4帕以下为止。 关闭 球阀，检查泄漏，以 5分钟不大于 1 帕为合格，准备加热。 注意：真空 不到4帕以下不加热，一般抽出需20人40 mm抽出时为取 下的晶体刻号， 填写锅底料号日期，清扫炉台卫生。溶料1：打开 AR 流量开关，使炉内压力为 800帕左右2：打开加热开关，按以下时段升温时间： Omin30min60min30KW 60KW

6、90KW3:化料过程中注意观察炉内情况，观察电流电压是否正常，若有搭桥现象，要保持更大的功率，使其熔化，有异常要采取措施。 4：料塌后要稍加锅位，锅转打到 1 转, 注意液面与导流筒保持一定 的距 离，化硅完了，降低功率，到引晶功率，坍升到引晶埸位，温度 稳定， 将欧陆表切入“自动”。5：给定埸转5r/min晶转 8r/min6r/min10r/min8r/min12r/min降下籽晶测试一下温度，校准单晶生长控制器的各参数引晶放肩转肩1: 引晶调整欧陆表温度至引晶温度，先把晶转打开， 晶 8r/min; 10r/min; 12r/min 降籽晶与熔硅接触，发现有光圈出来把锅转调至给定埸 转5

7、r/min ; 6r/min ; 8r/min发现有四条棱出现方可引晶。（或者 ：3niin 后根据光圈情况调整温度，合适时方 可 引晶，不合适时， lOmin 后引晶。） 12打开晶开电源，晶升计长清零，开始引晶初始晶升拉速 1-1.5 mm/min, 温度合适后，拉速1. 5-6 mm/min,引晶30 mm后一般拉速2、6 mm/min, 细颈直径3、4 mm为宜，细颈长度120人150 mm以上，视细颈直 径而定。 目的使位错全部消失。注：找温度要有耐心， 不要反复调节温度缩晶断， 要重新接触好光圈 , 方 可缩晶。2：放肩缩细颈结束后，将拉速调整到 0. 4 mm/min 进行放肩。

8、降欧陆 SP 以 降低温度放平肩随时用测经仪测量直径大小。3：转肩距目标直径5血左右时，将晶升调至1.5A2. 8 mm之间转肩。转肩时 拉速不应过快，根据转肩情况，慢慢降拉速到设定的拉速（1. 15）, 降低计长清温度，把坍身 ;埸跟比;埸升电源打开 ; sl/cl 曲线打入自动，同时 零，埸位清零。调整伊尔根光圈，压入光圈 1/3 之内（规定的目标直径），调整温度与拉速。准备投入自动控制收尾等径1: 等径转眉完成后，对拉晶状态进行 lOmin 后观察，确认正常后切入自动，认真仔细做好各 项 拉晶记录。隔 30min 记录一次，等径部分用计算机控制器输入参数进行控制，这 些 数据根据能够的种

9、类，直径及装料量不同，有差异，拉晶变更时， 进行 修正。2:等径断棱根据残留料的量确定控制方法以 6 寸投料 55 炬为例，等径大于260 mm以上收尾，炉内冷却5小时后取出，等径小于260 mm需做熔处 理从第一次上拉开始到最后一次转肩结束时间超过48H,需要做吊料处理时，请示相关领导。注意：熔时晶体不易降入太多，防止晶体与石英堆坍相碰撞，防止夹 头 松动造成拉晶影响 ; 液面与晶体熔断后，再降晶时，若杂质或不熔时 要 进行拉出一点料处理。3:收尾当晶体达到预定程序或埸内料太少时退出自控进行收尾。 根据收尾情况，慢慢地降下，随动调整收尾晶升，收尾长度应 为晶体直径大小，收尾过程中多观察杜绝断