JSM-6390LV扫描电子显微镜操作规范

1、图4JSM-6390LV扫描电子显微镜操作规范一、开机.打开SEM总电源电闸（稳压器、UPS电源），打开冷却水总电闸如图1箭头所示打开冷却水电等大约二十分钟后，观察并准认冷却水温度为20C2C把钥鍉插入主电源开关，并转到START,然后松手，这时钥匙自行转到ON,电源供给真空pump系统，启动机器，如图2所显示.图2等大约10秒后，打开个人计算机并运行Windows点击计算机桌面上的JEOL-6390LVMainMenu.如图3所示RecycleBinSEMControlUserInterfaceVersion8.24Cop5mght(C)2005,2007JEOLTECHNICSLTD.Al

2、lRightsReserved.SEMpictureShortcuttoEvacMonHdEOL图3二、SEM样品的放入和更换注意！样品放入和更换时Stage高度大于251.如图4所示执行以下两步操作1步：点击工具栏上的Sample后界面会弹出SpecimenExchange对话框2步：点击对话框中的Ven进行放真空。等界面中的Redy变成Vent时表示放真空0K2.更换样品（注意带手套小心碰伤探头）图 2.1确认放好真空后如图5所示慢慢打开样品室门确认放真空后方可执行该动作。并带好手套2.2将底座反过来看，底座是一边是方的，一边是圆的。在放样品时应由方的这头由里轻轻推。如图6所示图62.3关

3、样品室门及抽真空分别如图7,图8微扶样品室门，并按图8EVAC进行抽真空！三、操纵杆功能介绍（如图9）Z-axisknob:调整目镜至样品的距离，即调整WD（注意：Z=W+样品高度）T-axisknob用于设定观察物之倾斜影像，一定的WD对应于一定的旋转角度X-axisknob:在水平面X方向移动样品，选择观察区域.Y-axisknob:在水平面Y方向移动样品，选择观察区域.R-axisknob:在水平面旋转样品.knob图 四、人工操作按钮图标及功能介绍（如图10）人工操作按钮的功能与GUIOFSEM窗口中的相对应的条目是相同的Fineshift:对观察的区域的微细的移动（高倍率下使用;50

4、00X）Selectscanningmode:A:VIEWswitch:观察整个样品，放大倍率相应于所使用的WD是最小的.B:SCAN1:用于调整图像质量.C:SCAN2:用于选择观察的区域，进行聚焦及明亮对比设定.D:SCAN3:用于选择观区域之后对样品的精细结构的确证，是一种实时扫描.F:SCAN4:用于检查图像的情况，对图像进行精细扫描，只扫描一遍.G:FREEZE:用于冻结图像，对图像进行存贮等操作.Foucsingcontrast/brightnessadjustment.A:Focusing:旋转FOCUS或按下AUTOFOCUS作手动或自动对焦动作.B:Contrast/brig

5、htness:旋转CONT及BRT或按下AUTOSTIG作手动或自动作明亮对比设定.ChangingmagnificationA:MAGNIFICATION:用于调整放大或缩小的倍率.B:INSTMAG:当改按钮处于ON状态时，只能使用目录栏的PresetMag进行倍率调整.Automaticbutton:A:ACB:用于自动调整图像的亮度/对比度.B:AUTOSTIG:用于自动调整图像的象散.C:AUTOFOCUS:用于自动聚焦.SMAGITIONSCANNINGMODE匚FOCUSSCAN2jSCAN3|tJ|viewj|SCAW举例说明：如果当我们在调整过程中发现图片的亮度和对比度无法调

6、整到最佳状态（偏暗），但通过手动调整又不太好找到最佳亮度，这时我们可以点击操作面板上ACB（此时ACB会点亮变绿）。这时我们就通过了自动调整找到了个比较好的状态，如不满意过再手动微调。五、图像观察（如图11所示）1.在GUIOFSEM窗口，点击AccV30kV,弹出对话框，从列表中选择所需的数值并双击，则Acc,V变化之后对话框关闭.一般选择30kV.图112.点击人工控制按钮SpotSize然后上下拖动鼠标右键（用于粗调）或鼠标左键（用于细调）.对于常规观察，一般设置spotsize大约为50;对于高分辨率，设置spotsize的数值小于503.调整Focus（聚焦）,contrast（对比

7、）,brightness（明亮度）,andstigmatism（折光）.3.1点击TEXTICONS中AFD按钮，几秒之后屏幕出现高度聚焦的图像.3.2点击TEXTICONS中ACB按钮，几秒之后屏幕出现具有选择性对比度和亮度的图像.3.3点击TEXTICONS中ASD按钮，几秒之后屏幕出现具有选择性的修正后的折光图像.3.4点击Manualoperationbuttons中的Focus,Brightness,Contrast任何一个按钮，上下拖动鼠标右键（用于粗调）和左键（用于细调）同样也可以调整所选项目.4Imagemovement（图像的移动）在图像演示区域,可以用鼠标移动图像,暂存至图

8、12右侧两个暂存区.在图像演示区域点击鼠标右键,弹出功能目录框,并可执行下列功能:将鼠标移至暂存区，按住右键，点选Snapshot即可.图12ClickCenter:将鼠标放置于Monitor影像上，点击右键选择选择CenterZoomON/OFF可移动checkmark,然后在合适的位置双击鼠标左键，则图像移动置屏幕中央.CenterZoom（中心放大）:CheckCenterZoomON/OFF，然后在任何位置双击鼠标左键，则可以使图像位于屏幕中央并自动以15steps的观察倍数放大.5Settingthemagnification（设置放大倍数）Texticons:点击Mag-用于缩小倍

9、数,Mag+用于放大倍数.Activedatadisplay:点击x100,0000.1um附近，出现对话框.或使用鼠标左键双击Magnification,则当前的Magnification栏目转变成选择的放大栏目，双击所要放大倍数.SettingafocusingcurrentthatcorrespondstotheWD（设置相应于WD的聚焦电流）:点击activedatadisplay中的WD10mm,出现一系列WD数值对话框，双击所要选择的WD数值.6.Selectionofliveimage（实时图像的选择）:A:View:用于浏览整个样品.B:SCAN1:用于调整图像质量.C:SCAN2:用于选择浏览的区域.D:SCAN3:选择浏览区域后,用于确证样品的精细结构,是实时扫描.E:SCAN4:用于核对照片情况，只扫描一遍，分辨率高.F:Displayingthefrozenimage（演示冻结的图像）:点击Freeze,窗口出现一个冻结的画面并显示一系列