薄膜材料制备与技术：绪论_第1页
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文档简介

1、薄膜材料制备与技术课 程 安 排 总学时：36 学时 第一篇 真空技术基础 (10 学时) 第二篇 薄膜的物理气相沉积 (10 学时) 第三篇 薄膜的化学气相沉积 (6 学时) 第四篇 薄膜的生长过程和薄膜结构 (8 学时) 期末考试 2 学时课 程 要 求掌握真空及薄膜的物理基础；对真空获得、真空测量、气体放电、离子溅射、薄膜生长等有较深入的了解；重点掌握真空蒸镀、离子镀、磁控溅射、化学气相沉积、分子束外延等基本工艺；对薄膜材料制备、结构、性能及应用有系统了解。通过本课程的学习，要求学生初步具有薄膜材料的制备与表征能力。参 考 书 目薄膜物理与技术 杨邦朝，王文生编著。电子科学出版社薄膜材料

2、制备原理、技术及应用 唐伟忠著。冶金工艺出版社薄膜技术 王力衡。清华大学出版社薄膜技术 顾培夫。浙江大学出版社真空技术物理基础 张树林。东北工学院出版社真空技术 戴荣道。电子工业出版社真 空 产 业 真空镀膜机ZZ1688-56系列高真空泵装饰镀膜机ZZ-1688V双开门系列装饰镀膜机ZZJ-1600型旋转圆柱靶磁控溅射镀膜机KC-3A光盘镀膜机ZZ-1800K高真空卷绕镀膜机 真空机组机械泵机械泵+扩散泵机组机械泵+罗茨泵机组机械泵+分子泵机组 真空脱气箱真空油雾消除器 真空缓冲罐 真空热处理炉 薄 膜 产 业近年来，随着薄膜技术的飞速发展，薄膜技术的应用已渗透至国民经济科技的各个领域。最为广泛的应用就是半导体产业。随着芯片的特征尺寸缩小至0.13 m，甚至90 nm或45 nm(28 nm)，整个半导体制程工艺就是薄膜制程工艺的集合。因此薄膜材料及相关的技术研究引起了世界各国科学家的关注。薄膜理论包括：薄膜结构理论、薄膜表面界面特性、量子结构和纳米结构方面的理论研究。薄膜材料包括：半导体薄膜、磁性薄膜、超导薄膜、有机薄膜、铁电薄膜和生物工程薄膜。薄膜生长技术包括：薄膜淀积、薄膜外延等技术。薄膜应用包括：信息存储、显

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