仪器操作步骤电子显微镜

1、电子显微镜电子显微镜（electron microscope），又名：电镜。显微镜目前主要有两大类：一类是按电子光学原理用使样品成像的显微镜，此即为常见的显微镜；一类是用为光源，显示标本超微结构的显微镜，分为透射电子显微镜和扫描电子显微镜等。电子显微镜常用的有透射电镜（TEM:TransmisElectron Microscopy，亦称投射式电子显微镜）和扫描电子显微镜（SEM:scanning electron microscope）。与光镜相比电镜用代替了可见光，用电磁透镜代替了光学透镜并使用荧光屏将肉眼不可见成像。与光镜相比电镜用代替了可见光，用电磁透镜代替了光学透镜并使用荧光屏将肉眼不

2、可见成像。电镜的组成电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。电镜的发展历史1931 年，德国的克和，用极放电电子源和三个电子透镜改装了一台高压示波器，并获得了放大十几倍的图象，证实了电子显微镜放大成像的可能性。 1932 年，经过的改进，电子显微镜的分辨能力达到了 50 纳米(人眼的分辨本领仅约为 0.1 毫米)，约为当时光学显微镜分辨本领的十倍，于是电子显微镜开始受到人们的重视。到了二十世纪 40 年代， 的 用消像散器补偿电子透镜的旋转不对称性，使电子显微镜的分辨本领有了新的突破，逐步达到了现代水平。 ，1958 年研制成功透射式电子显微镜，其分辨本领为 3 纳米，1979 年又制成

3、分辨本领为 0.3 纳米的大型电子显微镜。镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等，这些通常是自上而下地装配成一个柱体。电子透镜：用来聚焦电子，是电子显微镜镜筒中最重要的。一般使用的是磁透镜，有时也有使用静电透镜的。它用一个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场使电子轨迹向轴线弯曲形成聚焦，其作用与光学显微镜中的光学透镜（凸透镜）使光束聚焦的作用是一样的，所以称为电子透镜。光学透镜的焦点是固定的，而电子透镜的焦点可以被调节，因此电子显微镜不象光学显微镜那样有可以移动的透镜系统。 现代电子显微镜大多采用电磁透镜，由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。电子源：是一个电子

4、的阴极，栅极，一个环状加速电子的阳极的。阴极和阳极之间的电压差必须非常高，一般在数千伏到 3 百万伏之间。它能发射并形成速度均匀的，所以加速电压的稳定度要求不低于万分之一。样品架：样品可以稳定地放在样品架上。此外往往还有可以用来改变样品（如移动、转动、加热、降温、拉长等）的装置。探测器：用来收集电子的信号或次级信号。真空装置：用以保障显微镜内的真空状态，这样电子在其路径上不会被吸收或偏向，由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等，并通过抽气管道与镜筒相联接。电源柜：由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。电镜的种类电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显

5、微镜和发射式电子显微镜等。透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构；扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌，也能与 X 射线衍射仪或电子能谱仪相结合，电子微探针， 用于物质成分分析；发射式电子显微镜用于发射电子表面的研究。透射电子显微镜因样品后，再用电子透镜成像放大而得名。它的光路与光学显微镜相仿， 可以直接获得一个样本的投影。 通过改变物镜的透镜系统人们可以直接放大物镜的焦点的像。由此人们可以获得电子衍射像。使用这个像可以分析样本的晶体结构。在这种电子显微镜中，图像细节的对比度是由样品的原子对的散射形成的。由于电子需要穿过样本，因此样本必须非常薄。组成样本的原子

6、的原子量、加速电子的电压和所希望获得的分辨率决定样本的厚度。样本的厚度可以从数纳米到数微米不等。原子量越高、电压越低，样本就必须越薄。样品较薄或密度较低的部分，散射较少，这样就有较多的电子通过物镜光栏，参与成像，在图像中显得较亮。反之，样品中较厚或较密的部分，在图像中则显得较暗。如果样品太厚或过密，则像的对比度就会，甚至会因吸收的能量而被损伤或破坏。透射式电子显微镜镜筒的顶部是电子枪，电子由钨丝热阴极发射出、通过第一，第二两个聚光镜使聚焦。通过样品后由物镜成像于中间镜上，再通过中间镜和投影镜逐级放大，成像于荧光屏或照相干版上。中间镜主要通过对励磁电流的调节，放大倍数可从几十倍连续地变化到几十万

7、倍；改变中间镜的焦距，即可在同一样品的微小部位上得到电子显微像和电子衍射图像。为了能研究较厚的金属切片样品，法国杜电子光学研制出加速电压为 3500 千伏的压电子显微镜。在能量过滤透过式电子显微镜(EFTEM:Energy Flitered TransimisElectronMicroscopy)中人们测量电子通过样本时的速度改变。由此可以推测出样本的化学组成，比如化学元素在样本内的分布。扫描电子显微镜的不穿过样品，仅以尽量聚焦在样本的一小块地方，然后一行一行地扫描样本。入射的电子导致样本表面被激发出次级电子。显微镜观察的是这些每个点散射出来的电子，放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子，通过放

8、大后调制显像管的强度，从而改变显像管荧光屏上的亮度。显像管的偏转电子显微镜与光学显微镜性能的比较分辨能力是电子显微镜的重要指标，电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻线圈与样品表面上的 保持同步扫描，这样显像管的荧光屏就显示出样品表面的形貌图像，这与工业电视机的工作原理相类似。由于这样的显微镜中电子不必透射样本，因此其电子加速的电压不必非常高。扫描式电子显微镜的分辨率主要决定于样品表面上 的直径。放大倍数是显像管上扫描幅度与样品上扫描幅度之比，可从几十倍连续地变化到几十万倍。扫描式电子显微镜不需要很薄的样品；图像有很强的 感；能利用 与物质相互作用而产生的次级电子、吸收电子和 X 射线等信息分

9、析物质成分。扫描式电子显微镜的电子枪和聚光镜与透射式电子显微镜的大致相同，但是为了使 更细，在聚光镜下又增加了物镜和消像散器，在物镜 还装有两组互相垂直的扫描线圈。物镜下面的样品室内装有可以移动、转动和倾斜的样品台。场发射扫描电子显微镜（ FESEM）是一种比较简单的扫描电子显微镜，它观察样本上因强电场导致的场发射所散发出来的电子。假如观察的是透过样本的扫描电子的话，那么这种显微镜被称为扫描透射电子显微镜（STEM:Scanning Transmis Electron Microscopy ）。电镜的用途透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构；扫描式电子显微镜主要用

10、于观察固体表面的形貌，也能与 X 射线衍射仪或电子能谱仪相结合， 电子为探针，用于物质成分分析；发射式电子显微镜用于自发射电子表面的研究。两点的最小间距来表示，它与透过样品的入射锥角和波长有关。可见光的波长约为 300700 纳米，而的波长与加速电压有关。依据波粒二象性原理，高速的电子的波长比可见光的波长短，而显微镜的分辨率受其使用的波长的限制，因此电子显微镜的分辨率（约 0.2 纳米）远高学显微镜的分辨率（约 200 纳米）。当加速电压为 50 100 千伏时，波长约为 0.0053 0.0037 纳米。由于的波长远远小于可见光的波长，所以即使的锥角仅为光学显微镜的 1，电子显微镜的分辨本领仍远远优学显微镜。光学显微镜的最大放大倍率约为 2000 倍， 而现