洁净室和洁净区的环境控制要求

1、.：.；干净室和干净区的环境控制要求 -美国联邦规范209E发布时间： 2021-12-22 15:56:58 被阅览数： 0 次 来源： 科泰瑞净化 干净室和干净区的环境控制要求-美国联邦规范209E1992年9月11日发布，取代1988年6月5日发布的FED-STD-209E本规范经联邦政府效力总局、联邦供应效力司专员同意，供联邦政府各机构运用。目录1. 范围及局限1.1. 范围1.2. 局限2. 参考文献3. 定义3.1. 悬浮粒子干净分级3.2. 非动态采样3.3. 标定3.4. 干净区3.5. 干净室3.5.1. 空态干净室设备3.5.2. 静态干净室设备3.5.3. 动态干净室设备

2、3.6. 凝结核计数器CNC3.7. 离散粒子计数器DPC3.8. 入口平面3.9. 同轴性3.10. 均动态采样3.11. 监测3.12. 非单向流3.13. 粒子3.14. 粒子浓度3.15. 粒子尺寸3.16. 学生分布3.17. U描画3.18. 超微粒子3.19. 单向流3.20. 置信上限UCL3.21. 鉴定4. 悬浮粒子干净室分级和U描画4.1. 表I中列出的干净度分级4.1.1. 丈量表I中所列粒子尺寸4.1.2. 其它粒子尺寸的丈量4.2. 其它悬浮粒子干净度分级替代确实定原那么4.3. 描画超微粒子浓度的规定U描画4.4. 悬浮粒子浓度的命名4.4.1. 悬浮粒子干净度分

3、级的格式4.4.2. U描画的格式5. 悬浮粒子干净度的鉴定和监测5.1. 悬浮粒子干净度的鉴定5.1.1. 频度5.1.2. 环境测试条件5.1.2.1. 鉴定过程中干净室或干净区的形状5.1.2.2. 环境参数5.1.3. 粒子计数5.1.3.1. 采样点和数量：单向流5.1.3.2. 采样点和数量：非单向流5.1.3.3. 采样点的限定5.1.3.4. 采样量和采样时间5.1.3.4.1. 表I各级别的单一采样方案5.1.3.4.2. 其它级别或粒径的单一采样方案5.1.3.4.3. U描画的单一采样方案5.1.3.4.4. 延续采样方案5.1.4. 数据处置5.2. 悬浮粒子干净度的监

4、测5.2.1. 监测方案5.2.2. 监测用的粒子计数5.3. 丈量悬浮粒子浓度的方法和安装5.3.1. 大于等于5微米的粒子的计数5.3.2. 小于5微米的粒子的计数5.3.3. 超微粒子的计数5.3.4. 粒子计数方法的局限5.3.5. 粒子计数方法的标定5.4. 统计分析5.4.1. 鉴定的验收原那么5.4.2. 决议验收的计算5.4.2.1. 采样点的平均粒子浓度5.4.2.2. 平均值的中值5.4.2.3. 平均值的规范偏向5.4.2.4. 平均值的规范误差5.4.2.5. 置信上限UCL5.4.2.6. 采样计算6. 变卦引荐7. 与参考文献的矛盾8. 涉及的联邦政府机构附录A运用

5、光学显微镜对悬浮粒子进展计数和丈量附录B离散粒子计数器操作法附录C匀速及非匀速采样附录D超微粒子浓度丈量方法附录EFED-STD-209E规范所采用的统计原理推论附录F延续采样：一种鉴定空气干净度的可选方法附录G补充信息的来源注：本翻译尚未包含一切附录1. 范围及局限1.1 范围本文件建立了由悬浮粒子含量来规定空气干净室和干净区的空气干净度的规范分级，并且提供了其他可供选择的分级方式。描画了鉴定空气干净度的方法以及建立空气干净度监测方案的要求。也提供了确定和描画超微粒子浓度的方法U描画法。1.2 局限本文件技术要求不适用于干净室和干净区内运用的设备、物品，除悬浮粒子的大小分级和数量外，本文件对

6、悬浮粒子的物理、化学、放射性或生命特征将不作描画。在悬浮粒子浓度与有生命的悬浮粒子量之间没有确定的关系。为了监测及控制其他方式的污染，除了对干净空气供应要监测全部粒子污染物并满足所确定的限值外，还须有其他专门要求。2. 参考文献2.1. Box,George E. P.,Hunter,William G.,J.stuart编著，John Wileg&Sons出版，New York (1982).2.2. Hinds, W. C.编著，John Wileg&Sons出版，New York (1982).2.3. FED-STD-376，引荐运用国际单位制SI，在国际单位与美国惯用单位相抵触时，国

7、际单位制优先。3. 定义3.1.悬浮粒子的干净度分级 干净度是由每立方米每立方英尺空气中所含有最大允许微粒子数量来确定的，其分级明确见表I，其测定见5.4节中的概率方法。国际单位制中分级称号是由每立方米空气中含有0.5m或更大微粒的最大允许数之常用对数来表示的，而英制单位美国惯用分级称号那么取自每立方英尺空气中含有0.5m或更大微粒的最大允许数。3.2.非动态采样 在挪动空气流的平均速度不同于空气进入取样器入口平均速度的采样形状下，由于粒子惯性，非动态采样会使样品中的粒子浓度不同于所采样空气中的粒子浓度。3.3.标定 将准确度未知的丈量规范或仪器与另一准确度知的丈量规范或仪器相比较，用来检测、

8、修正、报告或经过调整来消除准确度未知的规范或仪器在准确度上的偏向。3.4.干净区指其内悬浮粒子浓度被控制在某一特定的干净等级内的某一限定空间。3.5.干净室 制其内悬浮粒子浓度被控制的房间，它可包含一个或多个干净区。3.5.1.空态干净室设备 指已建成并预备投运的干净室，其中一切效力设备均已接通并到达功能要求，但室内没有消费设备和操作人员。3.5.2.静态干净室设备 指已建成并安装好一切效力设备及消费设备，可以或正在运转的干净室，但室内无操作人员。3.5.3.动态干净室设备 指正常运转的干净室，亦即室内一切效力设备、消费设备及任务人员正在正常运转时的干净室。3.6. 凝结核计数器CNC 一种用

9、于对大于或等于0.01m的小悬浮微粒计数的仪器，它借助于光学方法来丈量由蒸气凝结在微粒子上而构成的液滴。3.7. 离散粒子计数器DPC 一种可以分辩离散粒子的仪器，它类似于光学粒子计数器和凝结核计数器。3.8. 入口平面 指垂直于单向气流的平面，这个平面就在于我们感兴趣的区域无特别阐明即特指任务区的上升气流内，且这个平面与垂直于这个气流方向的干净区横断面具有一样的面积。3.9. 同轴性 指采样器入口的气流方向与被采样单向气流的方向一样的采样形状。3.10. 均动态采样 指在同轴采样形状下，进入采样器入口气流的平均度与所测单向气流的平均速度一样的形状。3.11. 监测 指在干净室或干净区内对悬浮

10、粒子浓度及其他相关情况的例行测定。3.12. 非单向流 指与单向流定义不符的气流，以前称为“乱流或“非层流。3.13. 粒子 普通尺寸为0.0011000m的固体、液体或固液混合物质。3.14. 粒子浓度 单位体积空气中所含有的离散粒子的数量。3.15. 粒子尺寸运用显微镜察看时，在察看平面上看到的粒子视在最大线性长度，或由自动仪器测得的粒子的当量直径。当量直径是指对感受器详细和被测粒子一样反映的知特性的参考球体直径。3.16. 学生分布 分布函数为：t=样本均值-总体均值/样本均值的规范误差 该式是从正态高斯分布抽样得到的，临界值表可从统计学教科书中找到见2.1节3.17. U描画 指超微粒

11、子的最大允许浓度每立方米空气中粒子数，U描画可适当地用作为置信上限、现场平均值的上限或是同样作为现场平均值与置信上限。U描画不受悬浮粒子干净级别的限制，它适用于单个干净等级的悬浮粒子也可用于多个干净等级相混合的悬浮粒子。3.18. 超微粒子 指尺寸范围大约从0.02m到附录D中描画的离散粒子计数器DPC的测定值上限之间的粒子，超微粒子在计算上是经过计数器效率与附录D中的粒子尺寸之比来确定的。3.19. 单向流 指通常具有平行的气流线以单一方向运动并匀速经过其横断面的气流。以前称为“层流。3.20. 置信上限UCL 假设均值是从正态高斯分布中抽样得到的，而按给定值信度本规范中取95%下计算所得的

12、估计上限将大于实践均值，那么称这一均值估计上限为置信上限。3.21. 鉴定 指在干净室或干净区内按悬浮粒子干净度分布界限、U描画或其他有关规定，确定空气的干净度的过程。4. 悬浮粒子干净室分级和U描画 空气干净度的鉴定按本规范第5节运用一个特别限定的分级系统。 本部分确定了空气干净度的分级规范，每一干净度等级对悬浮粒子尺寸范围和浓度均有限定见表I。同时，为了确定基于粒子尺寸变化的规范分级和其它替代的非规范分级，也制定了规定。此外，还提供了运用超微粒子浓度U描画描画空气干净度的根本原理。 给定的公用名词系统适宜描画一切干净度分级和U描画。4.1. 表I中列出的干净度分级 悬浮粒子干净度分级列于表

13、I中，空气干净度的鉴定那么经过对表I中的一种或多种粒子尺寸或其它规定粒子尺寸的测定来完成，详述如下：4.1.1. 丈量表I中所列粒子尺寸 经过丈量表I中的某一级别所列的一种或多种粒子尺寸来完成鉴定，并运用4.4.1.中所述的格式书写报告。假设测得的粒子浓度是按4.5节的统计分析确定的，并在表I所列对应级规定的任一粒子浓度的界限内，那么以为悬浮粒子干净度满足该级。4.1.2. 其它粒子尺寸的丈量 也可经过测定表I中所列之外的其他粒子的尺寸来完成鉴定，并按以下限制条件来进展：其他粒径或尺寸选择必需在表I所标明级别的尺寸范围内。假设测得的粒子浓度是按5.4节的统计分析确定的，并且每一选定的其他粒子的

14、粒径都不超越表I中给出的下一级较大粒径的界限，那么以为悬浮粒子干净度满足该级。4.2. 其它悬浮粒子干净度分级替代确实定原那么 在特殊用途的情况下也可以定义不同于表I中所列干净度分级的其他级别如M2.2级、M4.3级及M6.4级56007000级。与表I中所列的干净度等级一样，其他等级的分级称号确定也是建立在对0.5m及以上粒子浓度的界限上。其他尺寸粒子的浓度界限可在表I中按相邻的干净度级别浓度界限同样的比例得到，此界限也可以经过表I脚注内的近似方程式计算出来。同样，对于干净度等级超越M1或1级的情况。粒子尺寸不同于0.5m的粒子浓度界限与M1或1级的浓度界限具有一样的比例。表I 悬浮粒子干净

15、度分级 对每一分级称号均给出了其分级界限，此界限指出的特定悬浮粒子浓度单位体积粒子数均大于等于表中所列出的粒子尺寸。分级称号分级界限0.1m0.2m0.3m0.5m5.0m单位体积单位体积单位体积单位体积单位体积SI英制M3Ft3M3Ft3M3Ft3M3Ft3M3Ft3M113509.9175.72.1430.90.87510.00.283-M1.51424035.02657.5010693.0035.31.00-M2350099.175721.43098.751002.83-M2.51012400350265075.0106030.035310.0-M33500099175702143090

16、87.5100028.3-M3.5100-26500750106003003530100-M4-7570021403090087510000283-M4.51000-3530010002477.00M5-100000283061817.5M5.510000-35300010000247070.0M6-1000000283006180175M6.5100000-353000010000024700700M7-10000000283000618001750表I所示干净度分级界限只为分级定义的目的而确定，在任何特殊情况下不表示由此所建立的粒径尺寸分布。中间级别的浓度界限可近似经过下式计算：离子数/m

17、3=10M(0.5/d)2.2式中M为国际单位SI制中分级的特定数字称号，d是粒子尺寸单位为微米。或 离子数ft3=Nc(0.5/d)2.2式中Nc为英制单位中分级的特定数字称号，d是粒子尺寸单位为微米。命名和描画干净度分级时引荐运用国标单位SI制的称号和单位，但英制美国惯用单位也可运用。当用国际制单位表示时，分级的特定数字称号是由每立方米空气中含有的0.5m及以上粒子的最大允许数之常用对数值以10为底，尾数取整到第一位小数得到的，当用英制美国惯用单位表示时，分级的特定数字称号那么由每立方英尺空气中所含有的大于或等于0.5m粒子的最大允许值得到的。(a) 对于干净度分级小于M4.5级1000级

18、的其他级别，其浓度可经过丈量以下粒子尺寸范围内的粒子来确定，按规定此粒子尺寸范围即可是大于或等于0.5m又可是大于或等于5m或二种均可。(b) 对于干净度分级大于M4.5级1000级又小于3.5级100级的其他级别，其确定可以经过丈量以下粒子尺寸范围内的一种或多种得到的，按规定此粒子尺寸范围可以是大于或等于0.2m、大于或等于0.3m、大于或等于0.5m。(c) 对于干净度分级小于M3.5级100级的其他级别，其确定可以经过丈量以下粒子尺寸范围内的一种或多种得到的，按规定此粒子尺寸范围可以是大于或等于0.1m、大于或等于0.2m、大于或等于0.3m及大于或等于0.5m。4.3. 描画超微粒子浓

19、度的规定U描画 按规定，U描画用来表示超粒子浓度时可按3.17节的规定。U描画可用来补充干净度分级的定义，也可单独运用。U描画的格式将在4.4.2节中阐明。4.4. 悬浮粒子浓度的命名4.4.1.悬浮粒子干净度分级的格式 各干净度分级可运用“X级在Y微米的格式来表示，此时X代表悬浮粒子干净度分级的特定数自称号，Y代表粒子尺寸或与规定浓度分级界限相对应的粒子尺寸。 例如：“M2.5级在0.3m和0.5m即指每立方米空气中含有0.3m以上的粒子不超越1060个，0.5m以上的粒子不超越353个。 “100级在0.5m即指每立方英尺空气中含有0.5m以上的粒子不超越100个。 4.4.2.U描画的格

20、式 U描画可单独运用或作为悬浮粒子干净度分级确定的补充。由于超微粒子的下限曾经为运用的设备所决议，所以对U描画不用规定粒子尺寸参见3.18节及附录D。 U描画可运用格式“UX来表示。这里X为每立方米空气中超微粒子的最大允许浓度。 例如“U20表示每立方米空气中超微粒子不超越20个。“M1.5级在0.3m,U(2000)那么表示每立方米空气中0.3m粒子不超越106个，超微粒子不超越2000个。5. 悬浮粒子干净度的鉴定和监测5.1. 悬浮粒子干净度的鉴定 根据4节定义，鉴定是确定一个干净室或干净区内的空气能否满足悬浮粒子干净度分级界限或U描画或二者均满足的过程。应在5.115.14节中所述的条

21、件下，经过对悬浮粒子浓度的丈量来完成鉴定。粒子尺寸或为鉴定而进展丈量的粒子尺寸该当按规定运用4.4节中所描画的近似格式表示。5.1.1. 频度 鉴定测试应在初试以后按一定间隔或其他规定定期进展。5.1.2. 环境测试条件 干净度分级的鉴定应在包括以下规定的操作条件下经过丈量粒子浓度来完成。5.1.2.1. 鉴定过程中干净室或干净区的形状 鉴定过程中干净室或干净区的形状应标明“空态、“静态、“动态或其他规定形状。5.1.2.2. 环境参数 应该记录在鉴定过程中与干净室和干净区有关的丈量及察看的实践环境参数，此类参数可以包括但不仅限于此空气流速、换气次数、室内气压、补充新风量、单向流平行度、空气扰

22、度、温度、湿度或露点、室内振动，此外，室内人员及设备活动情况也应注明。5.1.3. 粒子计数 鉴定干净室和干净区的干净度按适当的粒子计数法或5.3节中所述方法或按其他规定的方法进展，适当的采样地点和采样方案应该从以下阐明中选择。5.1.3.1. 采样点和数量：单向流 对单向流，采样点应在整个干净区的入口平面上均匀分布，干净区内受设备限制或有特殊规定的除外。对单向流干净区的鉴定所要求的最小采样点数量应为以下a、(b)中的小者。 a、国际单位SI制：A/2.32 这里A是指入口平面的面积单位为平方米。 英制单位美国惯用：A/25 这里A是指入口平面的面积单位为平方英尺。 b、国际单位SI制：A*6

23、410M0.5 这里A是指入口平面的面积单位为平方米,M是表I中所列国际单位制干净度分级的特定数字称号。英制单位美国惯用：A/Nc0.5 这里A是指入口平面的面积单位为平方英尺，M是表I中所列国际单位制干净度分级的特定数字称号。 采样点数量通常取整到下一个高位整数。5.1.3.2.采样点和数量：非单向流对非单向流，采样点应在干净区程度方向均布，但特殊规定的可在垂直方向布置，干净区内受设备限制的除外。 对非单向流干净区的鉴定所要求的最小采样点数量应等于： 国际单位SI制：A*64/10M0.5 这里A是指干净区的地面面积单位为平方米，M是表I中所列国际单位SI制干净度分级的特定数字称号。 英制美

24、国惯用：A/Nc0.5这里A是指干净区的地面面积单位为平方米，Nc是表I中所列英制单位干净度分级的特定数字称号。 采样点熟练通常取整到下一个高位整数。5.1.3.3.采样点的限定 任何干净区的采样点不少于2个，除在干净区内受设备限制外，采样点应在干净区域内均匀分布，每一个采样点至少采样一次见5.1.3.1节或5.1.3.2节，每个采样点采样可多于一次，且不同的采样点可有不同的采样次数。但每个干净区内总采样次数不少于5次。 在适当的时候，采样位置多于所要求的最少采样点的采样将添加平均数和其置信上限均值的准确度。5.1.3.4.采样量和采样时间 采样的空气量和采样时间根据以下适当的节段确定。5.1

25、.3.4.1.表I各级别的单一采样方案 假设对每一个规定的粒子尺寸，粒子浓度均在该干净度分级的界限内，那么对每一个采样点每一次采样的被测空气量必需是最少可测到20个粒子的有效空气量。 下面的公式提供了一个被采样的最小空气量的平均计算公式，此公式可作为表I中所列的每单位体积粒子数量的相关附属部分。 V=20个粒子/表I中的分级界限粒子数量/体积 空气的采样体积应不少于0.00283m30.1立方英尺，此外，采样体积的计算结果不得取整。 较大的采样体积将会减少各采样值之间的差别，但采样体积不能大到使采样时间变得不真实践。采样体积不用在一切采样点都一样。但是粒子浓度应以每立方米立方英尺空气中的粒子数

26、量记录报告，而与采样体积无关。采样体积也应记录。在采样体积大于最小采样体积时将提高采样平均数与其置信上限均值的准确度。 采样时间可经过采样体积除以采样速率来计算得到。5.1.3.4.2.其它级别或粒径的单一采样方案 按4.2节规定，为了鉴定空气能否满足其他干净度分级界限所需的最小采样体积，必需根据5.1.3.4节所述的方法，由表I中所列的相邻干净度分级的采样体积所决议。 按4.2节所述，对其他粒子尺寸丈量的鉴定所需的最小采样体积，必需根据5.1.3.4.1节所述的方法，由表I中所列的相邻干净度分级的采样体积所决议。 采样时间可经过采样体积除以采样速率来计算得到。 对有关采样体积的其他思索，同样

27、适用于上述情况，详见5.1.3.4.1节所述。5.1.3.4.3.U描画的单一采样方案 鉴定超微粒子浓度所需的采样体积是在规定U描画条件下可测得最少20个粒子的有效空气体积，最小体积立方米由20/U(x)计算得到，计算结果无须取整，但任何条件下都不得小于0.00283立方米。 采样时间可经过采样体积除以采样速率来计算得到。5.1.3.4.4.延续采样方案 鉴定干净度等级在M2.5级及以上10级以上的空气的另一种方法是运用附录F中所述的延续采样方法延续采样是鉴定干净度等级在M2.5级及以上的空气的一种可选方法，延续采样的优点是它有能够显著地减少每一个采样点的采样体积，同时也减少采样时间。5.1.

28、4. 数据处置 5.2 悬浮粒子干净度的监测 鉴定之后，假设有规定，那么应在运转期间对干净室或干净区内悬浮粒子的干净度进展监测。为了阐明悬浮粒子干净度的变化趋向，对5.1.2.2节中所列的其他环境参数也可按规定进展监测。5.2.1. 监测方案 监测方案应根据悬浮粒子干净度级别和消费过程及产品维护对污染控制的需求程度来制定，监测方案应规定监测频度、操作条件、粒子记数方法、采样点及其数量、采样体积及其数据处置方法。5.2.2. 监测用的粒子计数 按规定，监测方案中的粒子记数应采用5.3节的一种方法进展，粒子浓度的丈量应在整个干净区内，或在干净度要求特别关键的地方，或者在测定鉴定测试中发现粒子浓度较

29、高的地方进展。5.3. 丈量悬浮粒子浓度的方法和安装丈量悬浮粒子浓度的方法和安装应根据粒子尺寸和要求的粒径来选择，除了有其他规定的，下面的方法适用于鉴定空气中悬浮粒子的干净度和U描画，同样也适用于空气干净度的监测。假设证明其他的粒子记数方法或设备以及其他的方法和设备的组合的准确度和反复性等于或优于以下方法和设备的，那么也可以采用。用来确定悬浮粒子浓度的设备应按规定根据制造厂家的阐明正确维护并定期效验。5.3.1. 大于等于5微米的粒子的计数 对于大于等于5m的粒子，其浓度确定应运用附录A中的方法运用光学显微镜对悬浮粒子进展计数和丈量。 另外，假设下面所述的样本搜集、传送和丈量过程都满足规定要求

30、，那么可以运用离散粒子记数器。根据附录B中的方法离散粒子记数器操作法，对于大于5m的粒子，离散粒子计数器的计数效率是可确定的。离散粒子记数器只需在大于5m的粒子计数时才干运用。 无论运用何种方法，取样口尺寸、取样速率及取样口定位的选择应允许匀速采样搜集。匀速采样是应优先采用的，但是假设匀速采样不能实现时，采样偏向的估算可经过运用附录C匀速及非匀速采样中的方法得到。即使在采样器入口直接面对流入气流同轴采样的时候，假设入口气流速度不同于采样器附近的气流速度，也将人为地呵斥在入口处周围的粒子浓度的添加或减少。其公式也适用于计算此种非均匀采样在察看丈量粒子浓度时所带来的影响参见例2.2和附录C。对于大

31、于等于0.5m的粒子，当这种人为呵斥的浓度增减小于5%时，可以忽略不计。但对于大于等于5m的粒子，当预见到这种人为呵斥的浓度变化超越5%时，那么应记录这一突变的增减量，在同悬浮粒子干净度分级界限比较前，必需校正这一数值。5.3.2. 小于等于5微米的粒子的计数小于等于5微米粒子的浓度根据附录B中的方法运用离散粒子计数器来确定。粒径大小数据应按用规范粒子标定的当量直径记录。前面提到见5.3.1节对小于等于0.5微米的粒子,由非均匀采样产生的偏向小于5%，但是对大于等于5微米的粒子那么会产生显著的偏向。假设要对粒子尺寸在0.5m到5m范围内的一种或多种粒子进展鉴定，那么由非均匀采样产生的偏向那么会

32、随粒子尺寸的增大而添加，此时需求对非均匀采样进展校正。5.3.3. 超微粒子的计数 超微粒子浓度由附录D中的方法超微粒子浓度丈量方法来确定。5.3.4 . 粒子计数方法的局限 在同一采样点运用离散粒子计数器进展空气采样计数时，不同设计构造或任务原理的计数器会产生不同的数据，甚至刚刚经过标定的一样设计的仪器对同样的空气进展采样时，也会产生较大的差别。所以在比较不同仪器的丈量结果时应留意这一点。 运用离散粒子计数器时，不得超越制造厂家所规定的粒子浓度或粒子尺寸的上限。 由于光学显微镜计数和丈量的粒子尺寸是基于粒子的视觉最大线性尺寸，而离散粒子计数器所测得的粒子尺寸是基于对比规范粒子直径的当量直径。

33、所以由这两种方法测得的粒子浓度数据是不同的，因此不能混同运用。5.3.5. 粒子计数方法的标定 一切的仪器应按规定，用知的参考规范，经过允许的程序进展标定。标定应包括但不仅限于此流速和粒径等，在鉴定中的每一次粒径丈量都应进展有关粒径方面的标定。5.4. 统计分析 为鉴定空气悬浮粒子干净度界限或U描画所进展的悬浮粒子浓度数据的搜集和统计分析应按下面要求进展。该统计分析仅与随机误差缺乏精细度有关而非随机性误差偏向，如错误标定。 此规范中的统计方法原理在附录E中给出。5.4.1. 鉴定的验收原那么 在每一个采样点测出的粒子浓度平均值落在或优于干净度分级界限或U描画的时候，那么干净室或干净区内空气满足

34、悬浮粒子干净度分级的验收原那么。此外，假设现场采样点总数少于10个，这些平均值的均值之95%置信上限必需落在或优于干净度分级界限或U描画。5.4.2. 决议验收的计算5.4.2.1.采样点的平均粒子浓度 在某采样点处，粒子浓度的平均值A为该采样点初各次采样的粒子浓度Ci之和，除以该点的采样次数N，或如式5-1所示。只需在采样一次时，平均粒子浓度才与所测出的粒子浓度一样。 A =C1+C2+CN/N 式5-15.4.2.2.平均值的中值 平均值的中值M为单个平均值Ai之和除以采样点数L，如式5-2所示。一切采样点的权数一样，不思索各采样点的采样次数多少。 M =A1+A2+AL/L 式5-25.

35、4.2.3.平均值的规范偏向 平均值的规范偏向SD等于各单个平均值与中值的差的平方和Ai-M2，除以采样点数L减去1的商的平方根，如式5-3所示。 SD =(A1-M)2+(A2-M)2+(AL-M)21/2 式5-35.4.2.4.平均值的规范误差 平均值均值的规范误差SE等于规范偏向SD除以采样点数的平方根，如式5-4所示。 SD=SD/L1/2 式5-45.4.2.5.置信上限 平均值之均值M的95%置信上限由M加上适当的置信上限UCL系数见表II与规范误差的乘积来确定，如式5-5所示。UCL=M+UCL系数+SE 式5-5表II 95%置信上限的置信系数采样系数L234567899*9

36、5%置信系数6.312.922.352.132.021.941.901.86NA*当采样点数超越9时，置信上限的计算已不再要求见5.4节。5.4.2.6.采样计算 采样计算由附录E给出。6. 变卦引荐 当某联邦机构以为此规范不能满足其根本需求需求时，应写明对本规范的变卦需求并附以适当的证明寄至联邦政府效力总局，证明中应指出哪部分不能满足根本需求。提议可寄至效力总局GSA、商品贸易中心GPCC、联邦供应效力处FSSED、联邦供应效力公司工程处FSED，819Talor街，Fort Worth,TX76102。效力总局将采取适当行动并通知提议机构。7. 与参考文献的矛盾 当本规范中提及的技术要求与所参考的文献中的要求发生矛盾时，应采用本规范中的要求。但应将此矛盾的性质一式二份提交联邦政府效力总局、商品贸易中心、联邦供应效力司工程处、819Talor街，Fort Worth,TX76102。8. 涉及的联邦政府机构 商务部 国防部，国防助理秘书办公室 陆军 海军 空军 能