洁净室(区)悬浮粒子测定操作规程(共6页)

1、 6/6洁净室（区）悬浮粒子测试操作规程 QA-O-002QA-O-002 洁净室（区）悬浮粒子测试操作规程 7/7上海 标准文件类别：操作标准质量管理起草人： 日期： 年 月 日颁发部门：质量技术部审核人： 日期： 年 月 日编码：QA-O-002批准人： 日期： 年 月 日标题：洁净室（区）悬浮粒子测试操作规程分发部门：总经理室，质量技术部，生产制造部及各车间，行政部（存档）生效日期： 年 月 日总页数： NUMPAGES 7页分发号：变更记载：修订号 原批准日期 原生效日期变更摘要：洁净室（区）悬浮粒子(lz)测试操作规程1 目的(md)建立洁净区悬浮粒子检测(jin c)标准操作程序,

2、确保我公司的洁净车间生产环境负相应的洁净室标准。2 范围公司洁净区的悬浮粒子检测。3 责任质量部对本SOP的实施负责。4 程序4.1 洁净区悬浮粒子检测采用计数浓度法，即通过测定洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（或洁净区）的悬浮粒子洁净度等级。在所有卫生区并在无人状况（静态）下进行计数测定。在空气进口处，应在无人工作的情况下进行粒子计数。在平面图上标明取样点以便常规取样。4.2 仪器：悬浮粒子计数器：此计数器可测量直径为0.5m浓度为106个/m3的尘埃粒子，进样速率为1m3/分。4.3 监测原理：空气中的悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与粒

3、子的表面积成正比。4.4 悬浮粒子计数器使用要点：4.4.1 使用仪器时应严格按照(nzho)仪器说明书操作。4.4.2 仪器开机，预热(y r)至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。4.4.3 采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始(kish)连续读数。4.4.4 采样管必须干净，严禁渗漏。4.4.5 采样管的长度，不得大于1.5m。4.4.6 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。4.4.7 必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定。以保证测试数据的可靠性。4.5 测试规则4.5.1 取样点和取样频率：取样点和频率取决于验证结果。4.5.2 测

4、试条件4.5.2.1 洁净室（或洁净区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在1826，相对湿度控制在4565之间为宜）。4.5.2.2 压差:空气洁净度级别不同的洁净室（或洁净区）之间的压差应大于5Pa，空气洁净度级别要求高的洁净室（或洁净区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（或洁净区）一般呈相对正压。4.5.2 测试状态4.5.2.1 静态测试：洁净室（或洁净区）净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，洁净室（或洁净区）内没有生产人员的情况下进行测试。静态测试时，室内测试人员不得多于2人。4.5.2.2 动态测试：洁净室（或洁净区）已处于正常生产状态下进行测试。

5、4.5.2.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。4.5.3 警戒指标（静态测试）表1洁净区最大粒子数m30.5m5m100,000级10000级100级3,500,000350,000350020,00020000所产生粒子不影响最终产品(chnpn)的生产（如粉未的处理），可允许超出标准，在这操作完成10分钟后，粒子水平必须照此洁净(jijng)区允许数控制。4.5.4 测试(csh)时间4.5.4.1 对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。4.5.4.2 对非单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。4.5.5 悬浮粒子计数4.

6、5.5.1 采样点数目及其布置4.5.5.1.1 最少采样点数目悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目可以查表2确定。表2 最少采样点数目面积 m2洁净度级别1001000001010202040401001002002004004009t分布系数6.312.922.352.132.021.941.901.86-注：当采样点多于9点时，不需要计算UCL4.7 结果评定：判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述两个条件。4.7.1 每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于(dngy)规定的级别界限，即Ai级别(jbi)界限。4.7.2 全部采样(ci yn)点的粒子浓度平均值均值的95置信上限必须低于或等于表4中所列的级别界限，即UCL级别界限。4.8 应取措施标准当连续三次样品测试结果超过警戒指标或单个样品的结果特别高时，应着手采取措施。4.9 记录使用装订的标有页数的记录本记录样品的标记、取样日期和试验结果。所有记录必须有日期和检验员签名，并且交QC实验室负责人会签。记录本应保存至最后一次记录后3年。内容总结（1）洁净室（区）悬浮粒子测试操作规程1 目的建立洁净区悬浮粒子检测标准操作程序,确保我公司的洁净车间生产环境负相应的洁净室标准（2）4.4.6 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温