PVD与NCVM区别与制程介绍课件

1、PVD 與 NCVM 製程介紹 一、PVD 原理介紹 二、NCVM 介紹 三、PVD 與 NCVM 常見的不良項目 四、注意事項PVD 與 NCVM 製程介紹課程內容： A.何謂 PVD？ PVD(Physical Vapor Deposition)物理氣相沉積法，顧名思義此種薄膜形成的方式乃利用外力(能量) ，使靶材(Target = Al)由固體變成氣體，慢慢堆積在物體(Substrate = PC Key)表面，形成均勻的薄膜。 此薄膜本質上透過物理性變化，所以製程前後靶材性質變無改變，依據公司案例，我們將鋁靶變成鋁膜，製程前後仍然是鋁。一、PVD 原理介紹B. PVD 的種類PVD 製

2、程一般常見三種方法：1.蒸鍍(Evaporation)2.濺鍍(Sputtering)3.離子鍍(Ion-Plating)一.PVD 原理介紹B.1 蒸鍍EvaporationHeaterVacuum chamberMaterialSubstrateCloud一.PVD 原理介紹B.2 濺鍍Coating Atoms/MoleculeTargetArgonGasCathode (-)Secondary ElectronsAnode (+)SubstratePlasma一.PVD 原理介紹B.3 離子鍍靶 材離子源離子束基板一.PVD 原理介紹Ti+N2TiN(x)C. 圓桶型蒸鍍機介紹一.PV

3、D 原理介紹爐式機台C. 立式圓桶型蒸鍍機介紹 靶材掛架掛架掛架掛架掛架掛架掛架掛架 靶材掛架掛架掛架掛架掛架掛架掛架掛架上視圖一.PVD 原理介紹C. 圓桶型蒸鍍機介紹靶材被鍍物靶材被鍍物切面圖一.PVD 原理介紹D. In-Line Sputtering 介紹一.PVD 原理介紹連續式機台D. In-Line Sputtering 介紹SputteringChamberBufferChamberUnloadingChamberBufferChamberLoadingChamberOutInLoULHiBuSpSpHiBuPlaInOut一.PVD 原理介紹E.蒸鍍與濺鍍比較一.PVD 原理

4、介紹G. Sputtering 應用1.外觀膜：金屬、非金屬、多層膜2.光學膜：抗反射、全反射、光柵3.功能膜：IR or UV 隔絕、光學開關、EMI4.透明導電膜：ITO5.顯示器：OLED6.其他一.PVD 原理介紹A. What is NCVM NCVM (Non-Conductive Vacuum Metalize)顧名思義，為一種非導電的真空金屬化鍍膜製程，或稱為非導電PVD製程，由於一般PVD製程所用的金屬為優良導體，因此PVD金屬化都是導電的，NCVM採用特殊金屬，因此可做出具有金屬光澤同時具備非導電性質的薄膜。二、NCVM 介紹B. Why need NCVM 手機訊號(RF

5、)收發時，若訊號碰到導體，則會受干擾造成訊號變差，甚至訊號無法穿透而無法作用，因此PVD製程會使訊號穿過按鍵時產生干擾。由於PVD製程能使塑膠表面變成金屬外觀，因此受客戶青睞，為了此外觀需求，於是我們開發NCVM製程，讓按鍵具有PVD金屬外觀，同時又不導電，一舉兩得。二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別a.功能特性NCVM不導電，不會阻礙訊號b.製程流程相同（Primer鍍膜H/C）c.Primer 需求因靶材而異d.PVD靶材差異顏色差異膜厚差異透光差異 二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別a.製程流程相同 二、NCVM 介紹PVD製程PrimerPVDL/EUV (co

6、lor)UV H/CNCVM製程PrimerPVDL/EUV (color)UV H/CC. NCVM與PVD的差別b.Primer 需求 PVD使用的靶材為鋁(Al)，NCVM使用的靶材為錫(Sn)或銦(In)，因此Primer材料必須思考與不同金屬靶材的接著性，避免因接著不足而產生百格脫落問題。就靶材來說，鋁靶的接著效果是最穩定的。二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異 .種類差異：PVD常使用鋁(Al) 、鎳(Ni) 、鉻(Cr) 、不鏽鋼(SUS) 。NCVM使用靶材錫(Sn) 、 銦(In)、硅鋁(SiAl) 。二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別

7、c.PVD靶材差異 .膜厚差異：PVD從很透光到不透光都可以 。NCVM從很透光到半透光，現況無法做到不透光。二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異 .顏色差異：PVD鋁顏色為銀白色PVD鎳顏色為銀色帶淡黃色PVD鉻顏色為銀色帶一點點黑(與電鍍顏色相似)PVD不鏽鋼顏色為銀色帶咖啡色NCVM錫顏色為銀色帶黑(比PVD鉻深一點)NCVM銦顏色為銀色帶一點點黑(與PVD鉻相似)NCVM矽鋁顏色為銀黑色(比NCVM錫更深)二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異 二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異 .正面噴塗配色差異：P

8、VD顏色比較淺，偏銀白色，因此外觀可以做淺色有色金屬的外觀，例如：淺紅金屬色、亮橘金屬色，要做深色比較困難，會產生色差顏色分布不均勻，例如：黑色金屬色、深藍黑金屬色等。二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異 .正面噴塗配色差異：NCVM顏色比較深，因此外觀可以做深色有色金屬的外觀，例如：黑色金屬色、深藍黑金屬色等。做淺色有色金屬色會做不出來，例如：淺紅金屬色、亮橘金屬色，因為淺色塗料在深色金屬上，其顏色也會透底色而變深。二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異(UV1調色) 二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異 .背

9、面印刷配色差異：背面印刷製程的顏色取決於PVD或NCVM的靶材本身顏色，因此顏色的選擇性較少，若無字體，則可將PC素材注塑成有顏色，在背面PVD之後，就會有有色金屬的質感。二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異 .透光差異：NCVM由於鍍膜層會透光，因此做正面噴塗時會有表面透光的問題，造成L/E字體在背光源打開時的對比變差。二、NCVM 介紹C. NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異 . NC與透光關係：二、NCVM 介紹PVD 打光效果佳NCVM 打光效果差C. NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異 .簡易圖示：二、NCVM 介紹薄厚NCVM區半透光區不透光區顏色相同PVDNCVMNCVM區非NCVM區A.百格 NGB.正面&側面透光 NGC.色差(變黑,變黃) NGD.亮霧不均(白霧) NGE. 針孔 NGF. 顆粒雜質G. 積墨、橘皮三、PVD 與 NCVM常見的不良項目1.素材禁止使用離模劑2.素材要烘烤消除應力3.烘烤過程膠圈要去除4.嚴禁觸摸 Key 面，需有保護蓋5.噴塗