《传感器和检测工作技术应用》

1、1 绪论传感器 感觉，感知 （Sensor、Transducer）人类有五大感觉器官，即眼、耳、鼻、舌、皮肤。通过这些感觉器官感知外界信息。机器系统中，传感器是各种机械和电子设备的感觉器官。能感知光、色、温度、压力、声音、湿度、气味及辐射等。2一、人机系统的机能对应关系外界信息感 官人 脑肢 体人 体 系 统传感器计算机执行器机 器 系 统Sensor、Transducer“机电五官”3性能凌驾于人的感官之上：（1）测量人体无法感知的量（3）测量范围宽、精确高、可靠性好（2）恶劣环境下工作 温度传感器：-196 1800 压力传感器：0.01psi 10000psi 精度：0.1% 0.01%

2、 可靠度：8 9 级4信息处理电信电话科技测试设备控制交通控制输电系统机床机器人家用电器照相机汽车飞机船舶气象海洋环境污染医疗防火光能利用热能利用土木建筑农林机械能利用货币金融食品11155110103473659816127783431 3147111707693612621242014需要量传感器技术对国民经济的发展起着重要的作用。二、主要应用5例0-1：化工产品自动生产过程1、自动检测与自动控制系统石油、化工、电力、钢铁、机械等加工工业设备推动力液体或气体检测压力或压强进料自动称重按比例混合反应容器内液体成品半成品在生产线上传输自动控制传输速度自动控制容器液位测定容器中的压力体积自动称重

3、分装计数62、汽车与传感器传统： 行驶速度、距离、发动机旋转速度、燃料剩余量安全：安全气囊系统、防盗装置、防滑控制系统、防抱 死装置、电子变速控制装置、汽车“黑匣子”环保：排气循环装置、电子燃料喷射装置72. “汽车导航用传感器”,传感器世界,1997年1期3. “汽车安全系统及其传感器”,传感器世界, 1997年2期参考文献：1. “汽车安全保障传感器市场”，传感器世界， 2001年1期83、传感器在机器人上的应用单能机器人：生产用的自动机械式（加工、组装、检验） 检测臂的位置和角度传感器红旗轿车焊装生产线隧道凿岩机器人94、传感器与家用电器 自动电饭锅、吸尘器、空调器、电子热水器、风干器、

4、电熨斗、电风扇、洗衣机、洗碗机、照相机、电冰箱、电视机、录像机、家庭影院家庭自动化蓝图：10智能机器人：判断能力视觉传感器、触觉传感器足球机器人迎宾机器人11泰坦尼克中用于水下探测的“邓肯”号机器人12 2003年9月，全球现场直播埃及金字塔世界最古老石棺的考古挖掘进程，可能揭开古埃及金字塔内部结构之谜。 “不论是谁骚扰了法老的安宁，死神之翼将在它的头上降临。”小机器人挑战法老咒语，代替科学家勇探胡夫金字塔内部秘道。“金字塔漫游者”，511，地面探测雷达、超声波传感器（测石头厚度）。135、传感器在医疗及人体医学上的应用医用电子学医用传感器：人体内部温度、血液、 呼吸流量、 肿瘤、心音、 腔内

5、压力、心脑电波6、传感器与航空及航天飞行器：控制在预定轨道上速度、加速度、飞行距离测量陀螺仪、阳光传感器、星光传感器、地磁传感器周围环境、内部设备监控、本身状态147、传感器与环境保护环境监测仪器15温湿度、露点探头、CO2探头、大气压力传感器湿度传感器湿度传感器168、传感器与遥感技术飞机及航天飞行器：近紫外线、可见光、 远红外线、微波船舶：超声波传感器微波红外接收传感器红外线分布差异矿藏埋藏地区地 面179、传感器在军事技术领域的应用美国高级将领与著名学者访谈录陈伯江“信息时代的军事革命” 美国参联会副主席欧文斯上将 “改变那种认为军事力量主要是军舰、坦克和飞机的概念，把我们的注意力放在思

6、考信息和电信技术所能提供的军事力量上来。这场军事革命标志着一种转变，即从重视军舰、坦克和飞机，转为重视诸如传感器这类东西的作用。” “陆军、海军、空军都将只不过是历史的产物你也许将成立一个把所有的传感器放在一起的军种（可称之为传感器军）用于观察战场”18三、地位及发展状况 传感器是信息采集系统的首要部件，计算机的“五官”，如果没有传感器对原始信息进行精确、可靠的捕获和转换，一切测量和控制都是不可能实现的。1、现代测量与自动控制的首要环节2、衡量国家综合实力的重要标志 传感器与传感器技术的发展水平是衡量一个国家综合实力的重要标志，也是判断一个国家科学技术现代化程度与生产水平高低的重要依据。193

7、、现代信息产业的三大支柱 通讯技术、计算机技术、传感器技术 既是现代信息产业的源头，又是信息社会赖以存在和发展的物质与技术基础。 如果没有高度保真和性能可靠的传感器，没有先进的传感器技术，信息的准确获得与精密检测就成了一句空话，通讯技术和计算机技术也就成了无源之水，无本之木，现代测量与自动化技术随之变成水中之月、镜中之花。204、各国政府高度重视 日本科学技术厅把传感器技术列为六大核心技术（计算机、通讯、激光、半导体、超导和传感器）之一。日本政府还在21世纪技术预测中将传感器列为首位。 美国白宫将“传感器及信号处理”列为对国家安全和经济发展有重要影响的关键技术之一。 西欧各国在制定“尤里卡”发

8、展计划中，把传感器技术作为优先发展的重点技术。 我国政府在“863计划”及重点科技攻关项目中，均把传感器列在重要位置。21四、发展方向新理论的探讨、新技术的应用、新材料和新工艺的研究2、确保传感器的可靠性，延长其使用寿命1、努力实现传感器的新特性检测范围宽、高灵敏度、高精度、响应速度快、 互换性好3、提高集成化和功能化程度信息处理功能一体化：敏感元件、电路、执行机构传感器功能和信息处理功能一体化224、微型化微机电系统 MEMS（Microelectro-mechanical System） 轮廓尺寸在毫米量级、元件尺寸在微米量级、可运动的微型机电装置。微型集成传感器：力、压力、加速度、化学传

9、感器集成电路：微型的齿轮、电机、泵、阀门、 悬臂梁、光学镜片 执行机构 借助集成电路的制造技术来制造机械装置23“MEMS技术的现状和发展趋势”,传感器技术， 2001年1期参考文献：“MEMS 压力传感器的革命性新技术”,传 感器世界，1997年3期“基于MEMS技术的PCR生物芯片的研究”,传感 器技术，2001年6期“微机械加工硅电容式加速度传感器”,传感器技术，2001年1期245、新型功能材料的开发各种新型传感器孕育在新材料之中半导体材料和新工艺的发展：半导体传感器压电半导体材料发展：压电集成传感器高分子压电薄膜的出现：机器人触觉传感器3. “传感器网络的过去与未来”,传感器世界，1

10、997年7期参考文献：“形状记忆执行材料研究进展”,传感器世界，2001年4期2. “机器人用传感器材料的进展”,传感器世界，2001年6期25高桥清（日），“展望21世纪新技术革命中的传感器”,传感器技术，2001年第1期人类文明史与传感器26五、课程及教材2、关于教材参考书及资料1、课程特点：理论性、综合性、实践性很强的学科 内容离散 知识密集程度高 设计与实践 黄贤武 郑筱霞 电子科技大学出版社 1999-5 郁有文 西安电子科技大学出版社 2001273、期末成绩 期末成绩=平时成绩+实验成绩+期末试卷成绩 实验项目、成绩 （预习报告、操作、实验报告）28检测技术的理论基础1. 测量概

11、论 2. 测量数据的估计和处理 291、测量概论一、测量 测量是以确定被测量的值或获取测量结果为目的的一系列操作。 所以, 测量也就是将被测量与同种性质的标准量进行比较， 确定被测量对标准量的倍数。它可由下式表示： 式中：x被测量值； u标准量，即测量单位； n比值（纯数），含有测量误差。30 由测量所获得的被测量的量值叫测量结果，测量结果可用一定的数值表示，也可以用一条曲线或某种图形表示，但无论其表现形式如何， 测量结果应包括数值和测量单位。 测量结果仅仅是被测量的最佳估计值，并非真值，所以还应给出测量结果的质量， 即测量结果的可信程度。这个可信程度用测量不确定度表示，测量不确定度表征测量值

12、的分散程度。因此测量结果的完整表述应包括估计值、 测量单位及测量不确定度。 31二、测量方法 对于测量方法，从不同角度，有不同的分类方法。 根据获得测量值的方法可分为直接测量、间接测量和组合测量； 根据测量方式可分为偏差式测量、零位式测量与微差式测量； 根据测量条件不同可分为等精度测量与不等精度测量； 根据被测量变化快慢可分为静态测量与动态测量； 根据测量敏感元件是否与被测介质接触可分为接触式测量与非接触式测量； 根据测量系统是否向被测对象施加能量可分为主动式测量与被动式测量等。 32 1. 直接测量、 间接测量与组合测量 在使用仪表或传感器进行测量时，测得值直接与标准量进行比较，不需要经过任

13、何运算，直接得到被测量的数值，这种测量方法称为直接测量。 被测量与测得值之间关系可用下式表示：y=x 式中： y被测量的值； x直接测得值。 磁电式电流表测量电路的某一支路电流，弹簧管压力表测量压力等，都属于直接测量。直接测量的优点是测量过程简单而又迅速， 缺点是测量精度不容易达到很高。33 间接测量：在使用仪表或传感器进行测量时，首先对与被测量有确定函数关系的几个量进行直接测量，将直接测得值代入函数关系式， 经过计算得到所需要的结果。间接测量与直接测量不同，被测量y是一个测得值x或几个测得值x1，x2， xn的函数，即 y=f(x)或y=f(x1,x2, ,xn) 被测量y不能直接测量求得，

14、必须有测得值x或xi（i=1，2， n）及与被测量y的函数关系确定。如直接测量电压值U和电阻值R， 根据式P=U2/R求电功率P即为间接测量的实例。间接测量手续较多， 花费时间较长，一般用在直接测量不方便， 或者缺乏直接测量手段的场合。 34 若被测量必须经过求解联立方程组求得，如有若干个被测量y1，y2，ym，直接测得值为x1, x2, , xn, 把被测量与测得值之间的函数关系列成方程组，即 方程组中方程的个数n要大于被测量y的个数m，用最小二乘法求出被测量的数值，这种测量方法称为组合测量。组合测量是一种特殊的精密测量方法，操作手续复杂，花费时间长，多适用于科学实验或特殊场合。 35 2.

15、 偏差式测量、 零位式测量与微差式测量 偏差式测量：用仪表指针的位移（即偏差）决定被测量的量值。应用这种方法测量时，仪表刻度事先用标准器具分度。在测量时，输入被测量按照仪表指针在标尺上的示值， 决定被测量的数值。偏差式测量, 其测量过程简单、迅速， 但测量结果的精度较低。 零位式测量：用指零仪表的零位反映测量系统的平衡状态，在测量系统平衡时，用已知的标准量决定被测量的量值。在零位测量时，已知标准量直接与被测量相比较，已知标准量应连续可调，指零仪表指零时，被测量与已知标准量相等。例如天平测量物体的质量、电位差计测量电压等都属于零位式测量。 零位式测量的优点是可以获得比较高的测量精度，但测量过程比

16、较复杂，费时较长，不适用于测量变化迅速的信号。 36 微差式测量是综合了偏差式测量与零位式测量的优点而提出的一种测量方法。它将被测量与已知的标准量相比较，取得差值后，再用偏差法测得此差值。应用这种方法测量时，不需要调整标准量，而只需测量两者的差值。设：N为标准量，x为被测量，为二者之差，则x=N+。由于N是标准量，其误差很小，且N，因此可选用高灵敏度的偏差式仪表测量，即使测量的精度不高，但因x，故总的测量精度仍很高。微差式测量的优点是反应快，而且测量精度高，特别适用于在线控制参数的测量。 37 3. 等精度测量与不等精度测量 等精度测量在整个测量过程中，若影响和决定误差大小的全部因素（条件）始

17、终保持不变，如由同一个测量者，用同一台仪器，用同样的方法， 在同样的环境条件下，对同一被测量进行多次重复测量。在实际中，极难做到影响和决定误差大小的全部因素（条件）始终保持不变，所以一般情况下只是近似认为是等精度测量。 有时在科学研究或高精度测量中，往往在不同的测量条件下， 用不同精度的仪表，不同的测量方法，不同的测量次数以及不同的测量者进行测量和对比，这种测量称为不等精度测量。 384. 静态测量与动态测量 被测量在测量过程中认为是固定不变的，对这种被测量进行的测量称为静态测量。静态测量不需要考虑时间因素对测量的影响。 若被测量在测量过程中是随时间不断变化的，对这种被测量进行的测量称为动态测

18、量。 39三 测量系统 1. 测量系统构成 测量系统应具有对被测对象的特征量进行检测、传输、处理及显示等功能，一个测量系统是传感器、变送器（变换器）和其它变换装置等的有机组合。下图表示测量系统组成结构框图。 测量系统组成框图 40 传感器是感受被测量（物理量、化学量、生物量等）的大小， 并输出相对应的可用输出信号（一般多为电量）的器件或装置。 变送器将传感器输出的信号变换成便于传输和处理的信号， 大多数变送器的输出信号是统一的标准信号（目前多为420 mA直流电流），信号标准是系统各环节之间的通信协议。 当测量系统的几个功能环节独立地分隔开时，必须由一个地方向另一个地方传输信号，传输环节就是完成这种传输功能的。传输通道