QC质量改进成果发布资料模板ppt课件

1、XG-C06HR芯片外表工艺质量改良新光精进QC小组发布人：于坤鹏课题类型：改良型1公司概略天津中环新光科技是天津中环电子信息集团的全资子公司，公司坐落于天津市西青微电子工业区。公司由中环集团承接天津市科学技术委员会的二十项艰苦工程之一而成立，于2021年3月底注册。一期工程中环集团投资3000万元人民币，市财政支持1000万人民币；二期工程中环集团投资7000万人民币。公司拥有雄厚的技术实力，技术团队由多名从事LED资料外延的中科院物理研讨所外延专家领衔，带着多名博士、硕士进展外延以及芯片技术的研发和消费。公司采用国际先进的美国进口外延炉(MOCVD设备)消费LED外延片。现主要消费红、橙、

2、黄以及黄绿光等各种规格的AlGaInP四元系2英寸、4英寸LED外延片和芯片。 2主要产品及消费设备3一、团队概略表1小组名称新光精进QC小组成立时间2012年3月本年度注册时间2013年3月小组注册编号XG-QC-130306课题注册时间2013年3月课题注册编号XG-QC-130306课题类型改进型小组人数10人活动时间2013.3-2013.8活动次数2次4姓名职称组内职务组内分工受TQC教育时间于坤鹏助工组长总策划60小时以上张荣勤高工技术顾问技术指导60小时以上白春玲技师组员具体实施50小时以上芮雅强助工组员具体实施50小时以上张金刚助工组员具体实施45小时以上崔娜技师组员具体实施4

3、5小时以上李家征助工组员具体实施45小时以上张茜技师组员具体实施40小时以上谢宝红技师组员具体实施40小时以上崔美筠技师组员具体实施40小时以上表25二、 XG-C06HR外表工艺改良课题引见XG-C06HR芯片特征图片XG-C06HR芯片外表工艺问题的发现芯片宏观和微观图片XG-C06HR芯片是中环新光消费的一款特种红光LED芯片。业内这种芯片的特点是产出率高，打线粘合度强和功率平衡等。而支撑这些独有特点的关键之一就是“外表。外表有划伤或缺失等不良导致产出率低；外表不饱满不圆润会导致客户运用时打线粘合度弱；外表外形不规那么就会导致电流分散不均匀，从而影响输出光功率的平衡性。由于工艺上的缘由，

4、XG-C06HR这款产品制造过程中“表面的种种缺陷直接降低了该产品的产质量量和产出数量。由此产生了本次QC课题。6表3为了使活动顺利进展，团队制定了缜密的活动方案7三、课题的选定过程 要改3.1 选题及选定理由团队才干分析急迫性分析效果性分析重要性分析分析方法是：10个成员投票选出四个要素中三种问题的关键性。8综合以上四种要素，无论从哪个评价工程来看，改善“外表不良都是首当其冲的序号问题点现况说明评价项目总分顺位选定队能力急迫性重要性效果性1载片过程损伤在工件流动过程中，发生断裂和残损等情况，影响产出率。2231822表面不良从图形工艺的开始到产品产出，各个环节都对表面有损伤，每一次损伤都会降

5、低芯片的产出数量。76482513电性不稳成品测试发现部分产品电性不稳定，电压和亮度有较大的波动性，影响同一款产品的稳定性。123173表49四、现状调查序号不良项目不良率百分比累积百分比1电极不良37400K85%85%2外延缺陷1760K4%89%3发光区损伤2200K5%94%4残留胶体1320K3%97%5电极发黑440K1%98%6其他880K2%100%合计44000K100%2021年2月到3月2000片工件产出芯片外表不良统计概略1K等于1000颗芯片表5要改102021年2月到3月100片工件产出芯片电极不良统计概略要改11五、设定课题改善目的图1改善目的值图表数值以1k为单

6、位，1k等于一千颗12六、要因解析6.1工艺流程简介匀胶显影贴膜合金刻蚀曝光去胶切割镜检图2136.2缘由分析电极不良净服穿戴不整齐贴膜机划伤电极镜检呵斥划伤取放片方法有问题匀胶台转速异常导致胶膜不均吹干方法不合理入职培训没做好工件运输方式错误导致电极划伤试剂溶液有质量问题导致过刻蚀光刻胶质量问题导致掩胶零落气压轴偏离导致粘胶掩模板损伤导致电极损伤温湿度不平衡导致电极零落治具不干净导致电极污染压紧面板过硬导致曝光不均图3未按照规范作业指点作业146.3要因确认序号可能的末端因素调查确认标准要求负责人完成时间1净服穿戴不整齐1，回放2013年2-3月间的通道录像，是否在进入车间时已经穿戴整齐；

7、2，回放2013年2-3月间的车间录像，员工是否穿着整洁，戴口罩，戴手套。进入车间钱穿戴整齐，进入工艺间工作时戴口罩和手套，人体裸露面积小于0.025于坤鹏2013年4月2日2入职培训没做好1，调查各相关站别员工入职培训记录和上岗前测评成绩； 2，重新测评相关站别员工是否符合上岗条件。1，相关岗位人员入职前进行相关培训并且测评成绩合格； 2，实时测评成绩合格于坤鹏2013年4月4日3未按照标准作业指导作业对照各站*站工艺指导书普查各工艺站工作过程。工艺契合度系数a=（工艺动作/工艺要求）90%张金刚2013年4月5日4贴膜机划伤电极回查贴膜后检查记录，检查贴膜机表面是否有破损污染等情况。记录达

8、到98%面积电极合格，贴膜机表面无任何磨损和污染芮雅强2013年4月5日5匀胶台转速异常导致胶膜不均测试匀胶太转速是否按照工艺要求逐步稳定在特定值上。电机启动后5秒内达到4000转/分钟，持续4000转/分钟50秒，最后5秒内降至0转/秒崔娜2013年4月6日15序号可能的末端因素调查确认标准要求负责人完成时间6掩模板损伤导致电极损伤检查掩模板在10倍显微镜视场下有多少缺陷10倍显微镜，每个视场下总电极缺陷个数平均小于2个崔娜2013年4月7日7压紧面板过硬导致曝光不均匀保证工件不被压断的情况下将托盘最大限度与工件压紧，观察工件与光刻板之间是否有缝隙没有任何缝隙白春玲2013年4月8日8气压轴

9、偏离导致粘胶测试气压轴八个固定端子是否平齐八个端子高度差小于0.02毫米白春玲2013年4月9日9光刻胶质量问题导致掩胶脱落抽取现场光刻胶样本，去相关部门检验粘度=30mPa*s谢宝红2013年4月11日10显影液问题导致显影不完全用现场显影液制备若干硅片试验片，统计不良单片不良颗粒数小于1000颗于坤鹏2013年4月11日11工件运输方式错误导致工件电极划伤检查工件在传输过程中的载体，看是否有对电极接触性的划伤无划伤李家征2013年4月12日16序号可能的末端因素调查确认标准要求负责人完成时间6掩模板损伤导致电极损伤检查掩模板在10倍显微镜视场下有多少缺陷10倍显微镜，每个视场下总电极缺陷个

10、数平均小于2个崔娜2013年4月7日12吹干方法不合理导致电极变黑检查吹干工艺，看是否有些操作步骤会损伤到工件或吹干过程中有污染残留损伤仅限于定位端电极损伤小于500颗，无任何污染残留崔美筠2013年4月12日13取放片方法有问题检查取片时是否损伤电极或污染电极无损伤，无污染李家征2013年4月13日14镜检造成电极不良及损失检查镜检操作有无对电极的划伤和损失无划伤，无损失谢宝红2013年4月14日15治具不干净导致电极污染检查现场所有在用和备用治具，干净无污染张茜2013年4月15日16温湿度不均衡导致电极脱落调用2013年2-3月温湿度记录，检查是否均符合温湿度标准温度223，相对湿度30

11、%-70%于坤鹏2013年4月16日17要因确认一净服穿戴不整齐调用进厂摄像扫描记录，检查净服、防尘鞋、人体裸露面积、口罩、手套能否到达进厂区规范，不符合规范的能否有ALARM,假设有ALARM能否及时制止并处置为OK。图表显示监控严密全部净服穿戴整洁18要因确认二入职培训没做好根本素质挑选进厂教育方向性岗位培训岗位分配颁发上岗资质上岗任务一级挑选经过二级挑选经过考试合格简历符合1，平安教育2，员工守那么3，质量观念4，岗位认知5，职业安康1，匀胶站规范作业2，曝光站规范作业3，贴膜站规范作业4，镜检站规范作业全体员工具备上岗资历测试项目最高成绩最低成绩匀胶10099曝光10097贴膜1009

12、8镜检1009819要因确认三未按照规范作业指点作业调查各工艺站任务过程与做对照按照工艺流程逐个签字确认，与作业指点书要求契合度99.8%除员工操作手法有细微差别外，其他部分全部按照规范作业指点书来操作20要因确认四贴膜机划伤电极回查贴膜后检查记录，检查贴膜机外表能否有破损污染等情况。大部分工件都有较严重划伤贴膜机外表镀层较严重磨损缺贴膜机图片要因21要因确认五匀胶台转速异常导致胶膜不均三个阶段的参数均处于正常动摇形状22要因确认六视场序列残缺个数污染个数丢失个数开裂个数正常个数1587674246910713310867347281172555415716111046697123767287

13、698709481167110339976检查掩模板缺陷掩模板28%缺陷要因23要因确认七压紧面板过硬缺一个图硬接触导致两个面板之间微小缝隙无法调平，从而发生了一侧挤压力过大导致的粘胶，粘胶使电极残缺要因24要因确认八检测气压轴能否偏离八个端子高度差低于0.02mm，表示气压轴没有偏离，运转良好气压轴任务原理是：采用八个端子之间的相互制约作用，到达微调气压轴程度的效果，八个端子间高度差小于0.02mm阐明程度良好，从而判别不会呵斥曝光粘胶等不良，保证电极完好。25要因确认九，十试剂质量问题导致光刻不良第三方机构出示的质量检验合格报告化学药品试剂合格非要因26要因确认十一工件运输方式错误导致划伤

14、缺单个外延划伤图划伤面积到达了5.7%要因27要因确认十二吹干方法问题导致电极变黑手动氮气吹干28要因确认二入职培训没做好29要因确认二入职培训没做好30要因确认二入职培训没做好31要因确认二入职培训没做好32七、活动方案活动步骤项目负责人活动时间参加人员8月9月10月11月P数据收集a全员要因分析bb把握重要要因c全员对策思考d全员D对策实施eeC效果确认ffA标准化和管理的固化g全员成果评价h全员反省及今后计划i全员制定方案常用的QC工具： 调查表 简易图表 系统图 矩阵图 PDPC法 矢线图 优选法 正交实验法33八、方案实施序号要因措施目标责任人完成日期1234 对即将采取的对策与措施

15、从可行性、经济性、效益性等方面进展严厉评价与挑选，以确定最正确实施方案、实施周期和相对应担任人34八、方案实施措施实施1措施实施2 实施过程中如出现残留问题或出现的新问题，要重新进展要因分析制定对策并实施按PDCA循环35九、效果确认改善后数据搜集效果确认常用的QC工具： 调查表 简易图表 陈列图 直方图 控制图 分布图采取了一系列的措施之后，经过图表、数据的统计，一目了然。36九、效果确认改善目的的达成情况改善前改善后 阐明： 经过图表的运用，改善前后的情况一目了然。37九、效果确认有形效果改善前/后比较38九、效果确认无形效果改善前/后比较评 价自我评价顾问评价着眼点前后前后员工士气手法运用熟练改善能力提升品质意识提升积极性团队协调性合 计确 认每一项总分值为5分39十、规范化问题点原有标准新