LCD薄化工艺介绍及不良案例分析

1、玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析1 1 /15 /15LCD薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析2 2 /15 /15内内 容容1.化学薄化设备介绍2.化学薄化工艺介绍3.主要不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析3 3 /15 /15一、化学薄化设备介绍设备组成：Loader单元 预清洗单元蚀刻单元 清洗单元干燥单元 Unloader单元 洗气装置 供酸装置温度控制器 HF酸浓度计玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析4 4 /15 /15化学薄化设备实图玻璃

2、薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析5 5 /15 /15二、化学薄化工艺介绍1.反应时间与玻璃质量损失的关系（注：图表中所研究玻璃为石英玻璃）图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析6 6 /15 /152.反应速率与反应温度的关系图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析7 7 /15 /153.反应速率与HF酸浓度的关系图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析8 8 /15 /

3、152525时不同浓度时不同浓度HFHF酸中各组分的浓度酸中各组分的浓度(mol/l)(mol/l)HFtHFtCompositionComposition H+ H+ HF2-HF2- (HF)2(HF)2 F-F- HFHF1.41.40.02820.02820.01810.01810.46860.46860.01010.01010.41660.41662.792.790.03960.03960.02890.02891.04911.04910.01080.01080.62330.62335.585.580.05580.05580.04460.04462.28032.28030.01130.

4、01130.9190.9198.48.40.06840.06840.05690.05693.5633.5630.01150.01151.14881.148811.2311.230.0790.0790.06730.06734.87044.87040.01170.01171.34311.343122.522.50.11150.11150.09960.099610.173910.17390.01190.01191.94121.9412说明反应速率与(HF)2的浓度有很大的相关性，是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的HF键比HF分子中的HF键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。玻璃薄化

5、工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析9 9 /15 /15三、主要薄化不良案例分析1.不可擦拭脏污脏污区域正常区域可判定不可擦拭脏污在蚀刻过程中产生可判定不可擦拭脏污在蚀刻过程中产生玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析1010 /15 /15结论：薄化前的玻璃表面品质直接决定薄化后玻璃表面品质为什么局部蚀刻速率不一致为什么局部蚀刻速率不一致为什么不是所有玻璃表面都是玻为什么不是所有玻璃表面都是玻璃成分璃成分为什么胶类物质未被清除为什么胶类物质未被清除为什么局部表面不平整为什么局部表面不平整为什么产生不可擦拭脏污为什么产生不可擦拭脏污因为玻璃表面不是所有区

6、域都是玻璃成分因为玻璃被蚀刻时局部蚀刻速率不一致因为玻璃薄化时局部表面不平整清除不彻底、脏污漏擦拭薄化前玻璃表面有胶类物质未被清除玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析1111 /15 /15测量系统环境材料工艺方法设备人检查方法检查工具温度照度湿度胶的黏度无尘布去污性能X3无尘布更换频度X2擦拭方法X1工作技能识别脏污能力清洁度工具产生脏污产生脏污接触位置酒精浓度X4接触次数玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析1212 /15 /152.2.薄化表面不匀薄化表面不匀薄化表面不匀产生原因：薄化表面不匀产生原因：1.Conveyer故障处理故障必须先

7、停止蚀刻液供应，必将造成玻璃表面药液残留，继续与玻璃进行蚀刻速率不一致的反应。形成水波纹状表面不匀2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）瀑布流平台由于蚀刻后反应物堆积造成分叉，玻璃传送至分叉位置时蚀刻速率降低造成局部不平整。3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）Nozzle堵塞造成玻璃局部蚀刻液更新不及时，间接降低药液浓度，从而降低蚀刻速率，形成表面不匀。玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析1313 /15 /15薄化表面不匀对显示的影响薄化表面不匀对显示的影响光线透过玻璃表面，在表面不匀处形成折射，造成光的垂直分量减弱，与周围正常相比产生亮度的差异。玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析1414 /15 /15薄化表面不匀改善方向（以瀑布流蚀刻方式为例）薄化表面不匀改善方向（以瀑布流蚀刻方式为例）1.对循环药液储罐增加过滤装置，防止蚀刻产物堆积在瀑布流平台，造成