上海公司清洁生产预评估报告

1、0 前言*公司介绍：公司成立于 年。是一家 公司被上海市科委认定为高新技术企业，客户包括 企业开展清洁生产的背景：公司自建立以来，一贯积极响应国家节能减排的要求，长期采取各类有效措施，扎扎实实开展节能降耗工作。为贯彻科学发展观，推进清洁生产，发展循环经济，建设资源节约型和环境友好型社会， 40 / 41文档可自由编辑打印1 企业概况1.1 企业基本情况1.1.1企业基本信息企业地址： 占地面积： 企业类型： 所属行业： 法人代表： 主要产品： 企业年总产值： ） 年末职工总数： 技术人员总数： 建厂日期： 投资日期： 联系人： 联系电话及传真： 邮编： 1.2 组织机构为公司的最高权力机构，公

2、司实行董事会领导下的总经理责任制。总经理下设 部门和 办公室，公司目前的环保管理部门为 ，主要职能为： 公司组织机构图如下所示: 图1-1 公司组织机构图参考2 审核准备2.1 审核小组为配合清洁生产审核工作的顺利实施，中航光电子成立了以副总经理朱燕林为组长的清洁生产领导小组和以张建总经理助理为副组长的清洁生产审核工作小组，小组成员涵盖了企业高层、厂务部、采购部、三厂、财务部等部门的负责人，并明确了各自的职责。具体见表2-1及表2-2。表2-1 清洁生产审核领导小组审核领导小组职务姓名部门及职务审核中职责组长领导组织公司清洁生产工作副组长协调各部门清洁生产工作组员协调本部门参加清洁生产审核工作

3、组员协调本部门参加清洁生产审核工作组员协调本部门参加清洁生产审核工作组员协调本部门参加清洁生产审核工作组员协调本部门参加清洁生产审核工作组员协调本部门参加清洁生产审核工作组员协调本部门参加清洁生产审核工作组员协调本部门参加清洁生产审核工作组员协调本部门参加清洁生产审核工作组员协调本部门参加清洁生产审核工作组员协调本部门参加清洁生产审核工作表2-2 清洁生产审核工作小组 审核小组职务姓名部门职务审核中职责组长领导企业清洁生产审核工作、资源保证和审批中/高费方案，参与讨论领导小组的各项工作。干事全过程参与，参与备选方案的产生，推动清洁生产工作，汇总文件资料干事主持清洁生产技术策划，中/高费方案的拟

4、订和实施，组织物料能源平衡测试等，负责推行无低费方案组员协助参与中/高费方案实施，协助、参与无低费方案实施组员物料平衡资料的提供，组员提供水、电统计资料、计量等，参与环境相关资料的提供组员协助参与中/高费方案实施，协助、参与无低费方案实施组员财务统计工作2.2审核工作计划根据清洁生产审核的要求和公司的实际情况，制订了清洁生产审核工作计划。详见表2-3。表2-3 清洁生产审核工作计划表阶段工作内容完成时间责任部门及负责人产 出审核准备1. 取得领导支持2. 组建审核小组3. 制定工作计划4. 开展宣传教育企业领导及审核领导小组1.领导的参与；2.明确审核小组成员职责；3.制定工作计划和开展宣传教

5、育工作，争取厂内广大职工的支持。预审核进行现场调研考察，评价生产情况，确定审核重点，设置清洁生产目标及提出清洁生产方案制造部、总经办及相关部门1.对生产状况和环保状况进行调查和现场考察，得出结论；2.确定审核重点；3.明确清洁生产目标；4. 提出及实施无/低费方案。审核实测物料平衡，建立物料平衡，分析废弃物产生原因，研究提出改进方法，继续实施无低费方案制造部及相关部门1.编制物料平衡图；2.编制审核重点工艺流程图；3.分析废弃物产生原因；4.实施无/低费方案。方案的产生和筛选产生方案并对方案进行研究筛选，核定无低费方案实施效果主管及相关部门1.完成方案征集和汇总；2.编制重点方案的研制说明。3

6、. 核定无低费方案实施效果方案的确定进行市场调查，对技术、环境及经济情况进行评估，推荐可实施的重点方案总经办及相关部门1.论证方案的技术可行性；2环境可行性分析 3.经济可行性分析；4.确定最佳可行的重点方案方案的实施组织方案实施，对无低费方案效果进行汇总，对中高费方案成果进行验证相关部门1.推荐方案的实施；2.汇总实施方案的环境效益和经济效益。持续清洁生产完善清洁生产组织及管理制度，制定持续清洁生产计划，编写清洁生产审核报告清洁生产主管人员1.成立清洁生产组织机构；2.建立清洁生产管理制度；3.制定持续清洁生产计划。4.编写清洁生产审核报告2.3宣传和教育企业于2010年4月开展了全公司员工

7、的清洁生产普及培训，由环安部主导并编制教材，由清洁生产工作组成员对各部门员工进行了清洁生产的基础培训，进过培训员工对清洁生有了概念性的了解，为进一步的开展工作奠定了基础。公司还将派出一至二名清洁生产审核工作小组成员参加上海市推进清洁生产生产办公室2010年11月举办的内审员培训班。图2-1 公司2010年4月7日专题培训的照片2.3.1全员参与为使全体员工及时了解清洁生产内容，自觉贯彻到实际生产活动中去，公司广泛运用宣传栏及公司的局域网等平面媒介进行宣传，利用各种专题会议、现场培训等形式，让各部门领导和全体员工及时了解什么是清洁生产、怎样进行清洁生产、清洁生产的目的和意义等基本知识。图2-2

8、公司宣传栏布置的清洁生产专题内容2.3.2克服障碍企业开展清洁生产审核的过程中，往往会遇到各种各样的障碍。本轮清洁生产审核得到了公司领导层和员工的大力支持。企业自落户开发区以来，以清洁生产的思路来进行投资及管理，采用先进的生产工艺和设备、推行节能降耗。所以此次开展清洁生产审核工作障碍较小，通过各类宣传教育都能得以解决。公司领导和全体员工都非常认真积极地、自觉地投入到本轮清洁生产审核工作中。3 预审核预审核阶段是发现问题和解决问题的起点，清洁生产审核小组会同审核师对公司全貌进行调查分析，并组成内审组进行现场考察，重点关注清洁生产审核的八个方面，分析和发现清洁生产的潜力和机会。从而确定本轮清洁生产

9、审核的重点，设置清洁生产的目标，提出无/低费方案。3.1 企业生产概况3.1.1企业概况企业发展史： 公司地处 路 号，占地 万平方米，其中绿地面积占总面积的30%。公司总建筑面积约 万平方米，由办公楼、 厂房、 厂房、 厂房、 等组成， 。公司目前有各种用工形式的员工 余人。公司拥有一支 余人的专业技术人员队伍，长期从事 生产，积累了丰富的生产、管理经验。公司在吸收、消化国内外同行先进技术的基础上，积极组织研发力量，投入资金，着力突破高端核心生产工艺，形成了独特的生产工艺，为建立拥有自己的知识产权的工艺技术创造了良好条件。公司高度重视清洁生产和环保管理工作，已于2010年通过了ISO9001

10、：2000质量管理体系认证、 ISO14001：2004环境管理体系认证和OHSAS 18001：1999职业卫生安全管理体系认证。企业今后的发展规划： 成为 行业的领跑者而努力，力争从行业一流迈向行业领先，从优秀迈向卓越，实现公司发展和地方经济的共赢。企业所在地的自然环境和生态环境:位于 区 区的西南面，厂区西 ，东靠 ，北依 ，南侧为市政规划道路和农田。 。公司周边3000米范围内没有居民区、学校等敏感目标。-工业区是 企业平面布置图:厂区由办公楼、 厂房、废水处理厂房和中央变电站等建筑物组成，总建筑面积约为 平方米。 具体平面布置如下：阵列厂房动力厂房废水处理模块模盒厂房办公大楼中央变电

11、站3号门1号门2号门第二期用地颛 兴 路联 农 路东南西北华 宁路图3-1 公司平面布置图3.1.2 企业生产现状3.1.2.1主要产品产量和产值公司的主要产品为 企业近三年产品产量及产值汇总表表3-1 企业近三年产品产量及产值汇总表产品名称近三年年产量（片）200 8 年2009 年20010年产量 产值（万元）产量 产值（万元）产量 产值（万元）备注： 3.1.2.2各生产车间情况公司的全套生产线全部从 引进， 生产管理的现状：公司严格按照法律法规的相关要求，建立了覆盖公司运行各个方面的管理制度，公司的管理手册总的明确了公司各部门的职责，同时制定了各项规定来保证公司制造生产、财务运营、人事

12、管理等方面的正常有序开展。其中有生产运行控制规定对生产运行过程实施控制，确保受控条件下，进行生产运行活动；对于工作人员在洁净房内的工作有洁净房劳动、工艺纪律规定来规范；对于重要的动力和环保设备有专人24小时值班以及设备运行与维护管理规定来保证设备平稳运行。所有规定和规格书都需经相关部门会签后正式发行和执行，并在公司内部网上建立了文控中心，方便各相关部门随时查阅。公司高度重视清洁生产和环保管理工作，已于2010年通过了ISO9001：2000质量管理体系认证、ISO14001：2004环境管理体系认证和OHSAS 18001：1999职业卫生安全管理体系认证。公司的环境管理体系能正常有序地运行。

13、对生产管理的改进意见：公司有些工艺和设备进行了技术改造或工艺变更，但相对应的一些管理规定和规格书还未及时更改。公司的整合、厂务、环安等相关部门已认识到这一情况，正在着手对这些管理规定和规格书进行改版以保证生产、设备运行正常有序。 图3-2 生产工艺布置平面图3.1.2.3生产工艺流程说明1）阵列 阵列工程是使用专用玻璃基板，在充分清洁后在其清洁干净的表面上通过化学气相沉积（CVD）的方法形成半导体膜或隔离膜，通过溅射镀膜的方法形成金属膜。然后对栅极、漏极岛、接触、像素逐一进行形成感光性有机膜的涂敷、曝光、显影并在湿法刻蚀、干法刻蚀后形成杂孔或接触孔，剥离掉多余的涂敷胶体，经热处理把半导体特性作

14、均一化处理后即作成阵列玻璃基板。模块工程驱动用TCP和信号基板连接组装老化检查成盒工程阵列基板 彩色滤光片配向膜封装形成 散布垫料液晶滴下真空粘贴检查贴偏光板盒分割图3-3主要工艺流程图阵列工程投入玻璃清洗CVD 溅射涂 胶曝 光显 影剥 离检查退火湿法刻蚀、干法刻蚀2）成盒 成盒工程是阵列基板和彩色滤光片经清洗，表面经配向处理，阵列基板经封装形成和滴入液晶，彩色滤光片作散布垫料后两基板在真空中粘合、固化，即成盒。再根据下游厂家的需求进行盒分割，再贴上偏光片，加入电信号作图像检查后即成为LCD面板。3）模块 模块工程实际上是一个TFT-LCD的装配工艺流程，向LCD面板连接驱动芯片和信号基板，

15、组装背光源和防护罩，在加温状态下作老化处理，在作最后电气特性检查后即成为LCD模块。此模块可提供给下游厂家使用。3.1.3 企业近三年原辅材料和能源资源消耗3.1.3.1生产的原辅材料生产的主要原辅材料有 表3-2 主要原辅料年用量表序号材料名称单位年用量20082009201012345789101112131415*说明：（对原辅材料消耗的说明）对主要原辅材料的消耗和产量的关联分析比对：图3-4 异丙醇近三年使用量比对图（单位：升）3.1.3.2能源资源的消耗公司生产主要消耗电和天然气，资源主要消耗水。表3-3 近三年能源资源消耗汇总序号能源资源品种单位用量2008年2009年2010年1

16、电万度2天然气万m33水万吨4蒸汽百万千焦5折合标煤吨6万元产值综合能耗吨标煤/万元7单位产品能耗吨标煤/万片107.0799.145295.05说明：企业生产主要消耗的能源有电力、蒸汽、天然气三种。其中，电力由春申变电站、金都变电站和闵北变电站四条线路供电；蒸汽由外部管网购入，其供气压力为0.81.2MPa,温度为180290；天然气由大众燃气公司通过天然气管网送入，各种能源消耗比例见图3-5。图3-5 能源消耗比例图由图可见，企业的主要用能为电力，占总用能的88%，其次为外购蒸汽，占总能耗的10%，天然气最少为2%。 供水系统如图3-6所示，城市管网给水通过生产消防水池和生活蓄水池给各部门

17、供水，在综合动力站有造纯水系统，给阵列厂房与成盒/模块厂房提供纯水清洗，废水进入废水处理设施处理后排出。图3-6 供水系统图主要供水设备见表3-4,主要包括4台原水泵、4台过滤水泵、5台RO水泵（反渗透水泵）、4台DI水泵（纯水泵）及其它制纯水设备。表3-4 主要供水设备项目设备名称规格、参数、容量所属部门12345678910111213各部门用新水比例见下图（因循环水循环利用，循环水未计入其中），阵列工程部用水比例最多，主要用于基板清洗。图3-7 各部门用新水比例对近三年生产产量和能、资源消耗的关联进行分析比对：表3-5近三年生产产量与能源资源消耗比对表单位2007 年2008 年2009

18、 年产量片电万度天然气万m3水万吨蒸汽百万千焦折合标煤吨万元产值综合能耗吨标煤/万元单位产品能耗吨标煤/万片3.1.4主要设备一览表公司的主要设备如下表： 表3-6 主要用能设备一览表序号设备名称型号规格功率（kw）台数投运时间123456789企业没有国家明令需淘汰的设备。对公司用能状况的分析：公司用电量最大的设备是冷冻机和空压机，用电量占到了总用电量的30%，由厂务部负责日常运行管理，有节能改造的潜能。冷冻机组位于动力栋1楼，其中2500USRT（1250USRT*2）冷冻机4组，1250USRT（单独）2台，共计10台冷冻机。目前冷冻机系统送水温度10，回水温度16，所提供的冷冻水主要用

19、于洁净房内的空调系统以调节洁净房内的温湿度，夏季最大用量时8台冷冻机运行已足够，其余台冷冻机作为备机来对应如设备维保检修，制冷量需求突然增大等异常情况。冷冻机组的维修保养目前由特灵空调系统（江苏）有限公司上海分公司负责承担。空压机组位于动力栋2楼，根据产出压缩空气压力的不同分为DA/HA系统和HHA系统。共计13台空压机，其中DA/HA系统依靠水冷无油离心式空压机5台、水冷无油螺杆式空压机3台，提供最高0.79Mpa最大50000Nm3/hr的压缩空气。压缩空气经空气罐稳压后、再经6台无热干燥机除湿，最后经过高效过滤器除去微粒后分成DA、HA两路系统，DA系统供气给A/C栋设备，大宗气体分析仪

20、，原气风机进气阀，气浮槽；HA系统供气给A/C栋设备控制仪表、气动阀， A/C栋纯水终端控制仪表、气动阀，造排水控制仪表，气动阀药品控制仪表、气动阀等。HHA（高高压空气）系统是依靠水冷无油螺杆式空压机5台将外界空气压缩，经由空气罐、干燥器、过滤器，成为压力在0.91MPa，露点为-40的洁净无油的空气，通过管道供给到A栋爆光机。空压机组的维修保养由阿特拉斯科普柯（上海）贸易有限公司负责承担。表3-6 主要用能设备一览表中其余设备都是洁净房内所用的生产设备，由设备所在的部门（阵列、成盒）负责运行管理。对设备管理现状的评价企业设备管理由一整套的管理体系支撑，从设备选型采购安装调试至验收通过可以按

21、照设备的采购规格书、验收规格书进行，设备的操作有具体的操作SOP，设备的运行与维护可参照设备运行与维护管理规定进行，每年会针对具体的设备制定维养计划，每月会对设备的变动情况进行统计分析并制定相应的对策。3.2产污环节分析3.2.1 阵列车间产污环节阵列工艺流程有对玻璃基板表面的清洗、溅射涂金属膜、涂光刻胶、曝光、显影、湿法刻蚀、化学气相沉积（CVD）、剥离等工序，形成栅极、漏极岛、接触、像素等过程，形成的阵列基板供成盒工艺使用。(1) 清洗清洗是TFT生产过程中非常重要的一道生产环节，围绕玻璃面板进行。有玻璃基板清洗、溅射涂金属膜后的清洗、化学气相沉积(CVD)后的清洗、剥离时清洗。对玻璃面板

22、清洗是完全清除玻璃面板表面的尘埃颗粒、有机物残留薄膜和吸附在表面的金属离子。最主要的清洗方式是将玻璃面板沉浸在液体槽内逆流清洗。由于TFT-LCD生产对污染控制的要求非常严格，因而通常使用特殊过滤和纯化的半导体级化学试剂、有机溶剂和纯水等作为清洗剂。在所有的清洗液中，纯水的用量最多，其次为IPA(异丙醇)，再次为稀TMAH(四甲基氢氧化氨)。异丙醇清洗液部分挥发以废气形式排出，部分作为废液排出回收，部分排放到废水中；纯水、四甲基氢氧化铵清洗液部分挥发以废气形式排出，其余排放到废水中。(2) 溅射在玻璃基板上以蒸汽形式沉积金属膜作为电路的内引线和半导体薄膜，沉积的方法为溅射。本项目TFT-LCD

23、生产采用Cr靶材、ITO靶材、Al靶材作为溅射的材料。部分多余的沉积金属在后道工序刻蚀和清洗后被带到废水里。(3) 涂胶、曝光、显影涂胶、曝光、显影是光刻过程的内容。涂胶是在玻璃基板表面均匀涂上光刻胶的过程；曝光是使用光刻机，并透过光掩膜版对涂胶的玻璃基板进行光照，使部分光刻胶得到光照，另外部分光刻胶得不到光照，从而改变光刻胶性质；显影是对曝光后的光刻胶进行去除，使光刻胶上形成了沟槽。为涂复光刻胶，需要用70%的单甲基醚丙二醇 (PGME)和30%的 丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)作稀释剂，用2.38%的四甲基氢氧化铵作显影液。在光刻过程中将会产生有机废气、碱性废气、碱性废水、稀释剂废液等。(

24、4) 化学气相沉积(CVD)在一定的温度下通过无机气体进行化学反应在玻璃基板上沉积氧化硅、氮化硅和多晶硅的过程，形成晶体管薄膜。无机气体有硅烷(SiH4)，磷化氢(PH3)，氢气(H2)，氨(NH3)，六氟化硫(SF6)等。硅烷中的硅部分沉积在玻璃基板上，部分硅烷和其他气体一起最终以有害废气形式排出。(5) 湿法刻蚀和干法刻蚀湿法刻蚀是酸作刻蚀剂通过化学反应的方法对基材腐蚀的过程，对不同的去除物质使用不同的材料。本项目使用的有Al刻蚀液， Cr刻蚀液，ITO刻蚀液。废Al刻蚀液作为废液，其他废刻蚀液排入到废水里，挥发部分成为废气。干法刻蚀(DE)是在等离子气态氛围中选择性腐蚀基材的过程，刻蚀气

25、体通常含有氟等离子体和或碳等离子体，因此刻蚀气体使用的有SF6、HCl气体。这些气体最终以废气形式排出。(6) 剥离剥离的过程是使用剥离液把玻璃基板上多余的光刻胶剥离的过程，并用异丙醇漂洗。剥离液采用70%的二甲基亚砜 (DMSO)和30%2-氨基乙醇(MEA)。剥离液大部分作为废液，少部分排入到废水和挥发到废气中，废异丙醇作为废液回收，因剥离过程操作温度在60-70，使后工序的异丙醇清洗温度也有40-50，从而使易挥发的异丙醇有相当一部分进入到废气中。3.2.2 成盒车间产污环节由阵列工艺来的玻璃基板经表面清洗、烧结配向膜、基板磨擦、成框(盒)后滴入液晶、边框烧结，此时在大张玻璃上已形成多个

26、液晶显示屏单体，再根据不同尺寸切割、贴偏光片，液晶显示屏单体完成。在成盒工艺中排放的废气主要有有机废气、剥离废气和碱性废气；废水有有机废水、碱性废水、剥离废水和含SS废水；固体废物有废异丙醇和碎玻璃。3.2.3 模块车间产污环节模块工艺流程实际上是一个TFT-LCD的装配工艺流程，由成盒工艺来的液晶显示屏单体经过安装电子零件、框板和背光源，最终成为TFT-LCD的产品。在模块工艺流程中，没有废气和废水排放，固体废物偶尔有废电子零件产生。下图是生产工艺流程和废物产生的框图。清洗溅射后涂敷、曝光、显影刻蚀、脱膜、清洗化学气相沉积脱膜后清洗检查后入库基板清洗配向膜印刷、烧结、摩擦后清洗Seal_Ag

27、涂布、粘合固化切割、偏光板贴复TCP安装安装板框、背光源检查后入库废水废水废水、废气、固废废水、废气、固废废水、废气废水、废气、固废废水、废气、固废废水、废气固废固废固废阵列工程成盒工程模块工程循环图3-8 工艺流程框图和废物产生示意图3.3污染物治理措施公司高度重视清洁生产和环保管理工作，已建立环境管理体系，并于2010年ISO14001：2004环境管理体系认证和OHSAS 18001：1999职业卫生安全管理体系认证。公司的环保管理部门为环安部和厂务部，环境管理体系能有序运行。表3-7企业执行的环境标准：废气大气污染物综合排放标准GB16297-1996废水污水排入城镇下水道水质标准（D

28、B31/445-2009）噪声工业企业厂界噪声排放标准GB12348-90III类标准3.3.1废气污染治理措施 (1) 有机废气的处理对含有有机物如异丙醇等的有机废气，采用浓缩、燃烧的方法进行处理，浓缩转子中的吸附材料为疏水性沸石，浓缩倍数10-15倍，燃料采用天然气。一般燃烧温度为700，把其中大多数有机污染物经燃烧后变为CO2和水，因此，污染物总处理效率可以达到9095%。装置有活性炭吸附、再生、溶剂废液回收、排风等装置组成。采用的净化技术是目前IT行业普遍采用的比较先进，且技术比较成熟，目前上海中芯国际、台积电等大型IT企业均采用该方法处理该类排气量大、浓度低、污染物危险大的有机废气。

29、要使排放气体能够较好地转化为无害的CO2和水，控制适当的燃烧温度和气体燃烧停留时间是保证有害气体充分氧化、无害化的基本保证，一般经该设施处理后，有机废气95%以上能转化为无害的CO2和水，从而减少对环境的污染影响。(2) 酸碱废气生产过程中排出的含酸废气(包括剥离废气)采用喷淋洗涤塔处理，利用稀NaOH/NaClO溶液作为中和吸收液来净化酸雾，对含NH3的碱性废气，则采用NaClO作吸收剂进行喷淋洗涤处理，达标后从排气筒排放。喷淋废液排向工业废水处理池处理。酸性废气和碱性废气这两种废气净化工艺是成熟的, 这是沿用多年的净化技术，处理后能达到排放要求。 (3) 有害废气的处理在化学气相沉积（CV

30、D）和干法刻蚀（DE）过程中因使用SiH4、PH3、H2、NH3、SF6等特殊气体，这些气体对人体有毒，需要进行无害化处理。采用燃烧氧化和湿式洗涤塔的方式进行处理，塔内排出的碱性废液和氧化剂废液排向废水处理池处理。从处理过程看，有毒废气净化工艺是成熟的，目前上海的其他IT制造企业基本也采用相同的方法处理有毒废气。(4) 粉尘废气的处理粉尘废气来自阵列过程对玻璃基板的研磨工序，含有微量SiO2颗粒物，采用过滤网除尘后尾气返回车间。在过滤网的孔径选择合适的情况下，滤网的除尘效率一般可以达到99%以上。各种废气处理方法见表3-8，废气处理流程示意图见图3-5。表3-8 公司对废气污染物的治理方法内容

31、实际运行采取的措施酸性、剥离废气酸性废气洗涤塔喷淋中和, 剥离废气先进行冷凝碱性废气碱性废气洗涤塔喷淋中和有机废气有机废气冷凝浓缩、燃烧处理特殊气体（CVD、DE）特殊气体燃烧、湿式洗涤NaOH湿式洗涤燃烧氧化特殊废气排入环境空气NaClO吸收洗涤塔碱性废气排入环境空气燃烧脱臭装置浓缩装置有机废气排入环境空气图3-5 废气污染物治理工艺流程NaOH/NaClO吸收洗涤塔冷凝排入环境空气酸性和剥离废气冷凝3.3.2废气污染物治理效果上海市仪表电子工业环境监测站对废气各排放口的监测结果见下表。表3-9废气处理装置处理效果和排放情况名称废气类型污染物名称治理方法排放浓度（mg/m3）排放速率(kg/

32、h)排放标准浓度（mg/m3）速率(kg/h)阵列栋有机废气非甲烷总烃浓缩、燃烧12020.6碱性废气氨气喷淋洗涤8.7酸性废气氯气650.18氮氧化物2401.64氯化氢1000.53氟化物90.21剥离废气非甲烷总烃浓缩、燃烧12020.6CVD湿式除害废气氮氧化物喷淋洗涤2401.64二氧化硫5505.37氟化物90.21氨气8.7DE湿式除害废气氮氧化物2401.64二氧化硫5505.37氟化物90.21氨气8.7成盒栋剥离废气非甲烷总烃浓缩、燃烧12020.6有机废气非甲烷总烃12020.6碱性废气氨气8.7由表可见，各车间生产过程中产生的各类污染物经相关的方法处理后处理效果明显，各

33、污染物均能达到国家相关污染物的排放标准要求，而且远均低于标准限值。表3-10废气排放口近三年监测数据对比表名称废气类型污染物名称2010年2009年2008年排放标准浓度速率浓度速率浓度速率浓度（mg/m3）速率(kg/h)阵列栋有机废气非甲烷总烃78.91.641063.33964.4312020.6碱性废气氨气0.110.002020.250.0040.2230.00398.7酸性废气氯气4.580.110.120.00310.230.0061650.18氮氧化物5.950.1366.20.169.340.2492401.64氯化氢17.70.4440.20.00510.0770.0021

34、1000.53氟化物0.80.020.640.0160.07710.0020690.21剥离废气非甲烷总烃1.460.02743.350.0494550.8912020.6CVD湿式除害废气氮氧化物2.360.01164.20.02713.40.08942401.64二氧化硫2.580.01730.0910.000531.360.009085505.37氟化物1.730.008530.2120.001172.080.013990.21氨气0.10.0005070.120.000660.30.0028.7DE湿式除害废气氮氧化物2.230.003431.20.00294.20.01142401.

35、64二氧化硫4.460.007320.310.000750.560.00155505.37氟化物2.220.003411.20.00290.9380.0025590.21氨气1.130.001740.360.000870.280.000768.7成盒栋剥离废气非甲烷总烃2.060.005513.350.04949.320.10812020.6有机废气非甲烷总烃17.40.1957.940.131111.7512020.6碱性废气氨气3.30.01580.6180.003470.40.00498.7从对比表中可以看出公司近三年各项废气监测项目均低于大气污染物综合排放标准的要求，且数据稳定波动不大

36、。这表明，现有的废气处理方法是可行的，效果是明显的，公司各废气处理系统运行管理措施是有效的。3.3.3废水污染治理措施生产废水可分为有机废水废水、剥离高浓废水、含氟酸性废水、重金属含铬废水、研磨废水以及纯水再生废水。这些废水依托公司现有的处理设施进行处理。1) 含氟酸性废水含氟酸性废水中含有HF和磷酸盐，采用凝聚沉淀脱氮凝聚活性碳吸附法进行处理。经过上述流程处理，废水中的F和磷的去除率可以达到98%以上。2) 重金属含铬废水含铬废水通过还原混凝凝聚的方法处理。经调节pH，将Cr+6还原为低价Cr，同时根据低价铬的物化性能，在一定酸碱度的条件下形成沉淀物，同时加入凝聚剂，加速沉淀物颗粒的长大和沉

37、淀，可以有效地降低废水中总Cr和Cr+6浓度。这是经典的常用方法，技术成熟，去除效率较高。3) 剥离高浓废水剥离高浓废水主要污染物为二甲基亚砜、2-氨基乙醇和异丙醇等。其CODcr浓度极高。采用生物处理的方法进行治理。治理之后，尚不达标的CODcr将采用活性碳吸附的方法作进一步处理。该股废水有机物浓度相当高，且废水B/C比相当高，采用生物处理有较好的处理效果，最后通过活性碳吸附方法，进一步处理废水中残余的有机污染物，可以实现达标排放。4) 有机废水、有机溶剂排水有机废水、有机溶剂排水因含有四甲基氢氧化铵、异丙醇，其污染物主要是CODcr、BOD5和NH3-N，且浓度非常高，采用硝化、脱氮的方法

38、进行治理，若治理之后，不达标的CODcr和BOD5将采用活性碳吸附的方法作进一步治理。该股废水提供了脱氮所需的大量的氢源，有利于生物脱氮。直接采用生物脱氮处理方案。同时该股废水硝化阶段与其他废水混合，已有效降低了有机污染物浓度，最后废水通过活性碳吸附，可以有效地保证排水达到排放标准要求。5) 研磨废水/碱性废水和纯水RO排水研磨废水、碱性废水和纯水RO排水，主要污染物为SS和酸碱度，采取凝聚沉淀和调节pH的方法进行处理。本水处理工艺是常规的，经过上述流程处理，废水中的SS去除率可以达到90%以上。各类废水污染治理措施归纳见表3-11。表3-11公司废水污染物治理措施废水类型治理方法重金属废水还

39、原、絮凝沉淀含氟废水反应、絮凝沉淀有机废水、溶剂废水硝化、反硝化、活性炭吸附剥离浓厚废水曝气、沉淀含固研磨废水絮凝、沉淀碱废水pH调节3.3.4废水污染物治理效果2010年3月上海市仪表电子工业环境监测站对各类废水排放口的监测结果见表3-12。表3-12公司现有废水处理装置处理效果和结果监测点位置监测项目污染物浓度(mg/l)处理效率（%）排放标准(mg/l)进口出口重金属废水处理系统六价铬100.00499.96%0.5总铬14.30.0199.93%1.5氨氮44.2/氟废水处理系统氟化物11.91.389.08%活性污泥处理系统 (剥离高浓度废水槽)化学需氧量71747.393.40%五

40、日生化需氧量19712.893.50%硝化脱氮系统有机溶剂废水槽化学需氧量31.76.4879.56%五日生化需氧量8.551.8078.95%生产废水处理系统总出口化学需氧量25.9/500五日生化需氧量7.05/300pH值6.81/69悬浮物32/400石油类0.1/20氟化物0.379/20六价铬0.108/0.5总铬0.116/1.5氨氮2.62/40由表可见，各类废水经过不同的处理方法后，各类污染物去除效果明显，重金属废水中的六价铬、总铬浓度在车间排放口达标；其他各类污染物经预处理后再集中处理后在公司总排放口均能达到上海市污水排入城镇下水道水质标准的要求。表3-13废水总排口近三年

41、监测数据对比表监测点位置监测项目污染物浓度(mg/l)排放标准(mg/l)2010年2009年2008年生产废水处理系统总出口化学需氧量51.147.154.9500五日生化需氧量13.6223300pH值7.047.477.2869悬浮物3626128400石油类0.1310.960.75520氟化物0.6466.292.0720六价铬0.0860.0040.040.5总铬0.0870.0040.0561.5氨氮13.716.114.240从对比表中可以看出公司近三年各项废水监测项目排放浓度均低于上海市污水排入城镇下水道水质标准的要求，且数据稳定，波动不大。这表明现有的废水污染物处理方法是可

42、行的，效果是明显的，公司各污水处理系统运行管理措施是有效的。3.3.5 噪声防治措施公司的生产设备基本不产生噪声，噪声主要来自送排风机、冷冻机、空气压缩机等辅助动力设备。各设备产生的噪声源强见下表。表3-14噪声源及源强和降噪措施 单位：dB(A)污染源治理前声级治理措施治理后声级冷冻机70 利用厂房的建筑隔声厂房外：60空压机8095 利用空压机房、动力厂房的双重建筑隔声厂房外：65空调系统7075利用厂房技术夹层、厂房的双重建筑隔声厂房外：50风机70采用铁质密封隔声罩降噪机外：60表3-15为上海市仪表电子工业环境监测站于2008年至2010年三年在公司噪声监测点监测的结果。由表可见，公

43、司厂界噪声全部能够达到GB12348-90III类标准的要求。同时又好于III类标准，说明公司现有的机械设备运行时产生的噪声对厂界未构成影响。表3-15公司厂界噪声近三年监测对比表测点号测点位置主要噪声源监测时段GB12348-90 III类标准经背景值修正后的测量值达标2010年2009年2008年情况1东边界外1m交通环境昼间6558.458.955.2达标夜间5553.154.249.82南边界外1m环境昼间6556.355.354.1达标夜间5548.748.548.23西(南)边界外1m环境昼间6555.454.754.2达标夜间5549.349.249夜间5549.849.749.

44、3昼间6555.754.653.93.3.6 固体废物的分类生产中产生的固体废物可分为两大类：一般废弃物，危险废弃物，生活垃圾可归入一般废弃物内。公司针对固体废物的管理制定了固体废弃物管理规定，其中明确规定了各部门的职责和管理流程。危险废弃物公司对所产生的固体废弃物进行了汇总整理，对其中的危险废弃物进行识别，其依据是列入国家危险废物名录或者根据国家规定的危险废物鉴别标准和鉴别方法认定的具有危险特性的固体废物。公司的危险废弃物主要是生产过程中产生的废化学药液，日光灯管及重金属废水处理后产生的含铬污泥，表3-16为近三年公司危险废弃物的产生量明细表。名称单位2009年2008年2007年废液吨3.

45、67 4.3397.77过滤器、洁净布吨2.79 12.662.33汞灯、日光灯个1580.00 930419重金属污泥吨38.461363.25157.54废酸吨333.15166.241014.1表3-16危险废弃物近三年产生量明细表一般废弃物一般废弃物主要包括生产中产生的玻璃基板包装物，包括废纸、废纸质包装材料和铁质材料及废塑胶、碎玻璃等。这些由专门的厂商进行回收。生活垃圾主要是办公室产生的垃圾，包括废纸屑、废弃的空瓶空罐等；此外还有工厂职工食堂等生活设施产生垃圾，主要有食堂下脚料、厨余及果皮等。生活垃圾也由专门的公司回收处理。需要特别说明的是特殊气体使用的是高压钢瓶；化学品异丙醇使用不

46、锈钢储槽；单甲基醚丙二醇、丙二醇甲醚醋酸脂使用不锈钢储桶；二甲基亚砜、2-氨基乙醇使用不锈钢储槽；氢氧化四甲铵使用聚乙烯内衬不锈钢储槽；Al刻蚀液、Cr刻蚀液使用不锈钢储槽；ITO刻蚀液聚乙烯内衬不锈钢储槽。这些容器价格较高，将反复使用，不会使用一次后作为固体废物排出，另外，这些容器外也不使用纸质包装材料。3.3.7 固体废物的处置 危险废弃物的处置：根据公司现行的危险废物联单管理流程和危险废物备案管理流程，在上海市固体废物管理中心对相应的危险废弃物进行了备案和联单管理。相应的职责部门对不同的危险废弃物都委托给经上海市环保局审核确定有危险废物处理资质的单位集中处置。一般废弃物的处置：对于生产中

47、产生的一般废弃物，由专门的公司进行回收。对于临时存放的废弃品仓库，依据制定的废弃品仓库管理规格书进行管理。食堂产生的餐厨垃圾和办公产生的生活垃圾现都委托上海莘工环卫综合服务有限公司统一处理。各种废液、固体废物处理处置措施见表3-17。序号固体废弃物种类废物类别处置方式1废液稀释液HW42安智电子材料（苏州）有限公司2异丙醇3剥离液 4Al刻蚀液(废酸)HW34上海洁申实业有限公司5废有机溶剂HW42 上海市金依环保工程有限公司6配向膜HW42上海洁申实业有限公司7NMPHW42上海洁申实业有限公司8废液晶HW42上海洁申实业有限公司9清边液HW42上海洁申实业有限公司10过滤器洁净布HW49上

48、海洁申实业有限公司11废渣（含SiO2）HW49上海洁申实业有限公司12六羰化钨HW49上海洁申实业有限公司13废化学空瓶HW49上海洁申实业有限公司14废日光灯管等HW29上海电子废弃物交投中心有限公司15含铬污泥HW21上海市固体废物处置中心16废塑料一般废物陈艮废旧物资回收经营部17碎玻璃18废包装材料陈艮废旧物资回收经营部19废铁质材料20垃圾生活垃圾上海市生活垃圾处理收费中心表3-17 固体废物及其处置措施 3.4 企业清洁生产水平评估3.4.1 生产工艺和产品液晶显示器TFT-LCD与传统玻壳显象管（CRT）比较，具有显示质量高、没有电磁辐射、可视面积大、画面效果好、有数字式接口和功率消耗小等优点，液晶显示器在使用中是一种消耗资源和能源较低的清洁产品。液晶显示器是我国近年发展起来的新兴技术产品，目前产品的废弃量较低，其废弃物目前也未列入我国的危险固体废物名录中，目前生产厂家的废品液晶显示器一般处置方法均送废品回收站回收处理作为废玻璃经高温烧成后再利用。由于液晶显示器是由玻璃面板、液晶材料、封口胶等有机化合物组成，在高温条件下，有机化合物将变为二氧化碳和水，玻璃经烧后再利用，一般不会对环境造成不可逆转的污染，其产品的最终处置也符合清洁生