硅检制绒应知应会

1、 硅检制绒应知应会 CIB-B 郝宗海硅检简介硅检操作流程硅检过程注意事项硅检工序SOP制绒简介制绒工序操作流程制绒工序SOP制绒间化学品的危害及预防方法硅检目的硅检目的检测不良检测不良不良分不良分类类电阻电阻率率少子少子寿命寿命厚度厚度TTV尺寸尺寸PN型型崩崩边边崩崩点点油油污污线线痕痕台达硅检机全貌台达分选主控机界面检测模组介绍图一图三图二图一为APV（左）和LPV（右）模组主要检测尺寸、缺角和油污、崩点图二为SM模组主要检测线痕，图三为UC模组主要检测隐裂及杂质。Semilab模组硅检流程硅检流程拆盒拆盒上料上料下料下料填写填写流程流程单单退库手插手插片片硅检注意事硅检注意事项项线痕线

2、痕 如图2，机械手抓料后，硅片在行走臂上的线痕方向与行走臂垂直。图2如图3、4，硅片插入小花篮时线痕方向是平行的（小花篮竖直放置）。图3图4小花篮小花篮硅检操作注意事项硅检操作注意事项取原材料硅片盒时，双手最多抱两盒。 取、放承片盒时，注意双手抱对角线位置、轻拿轻放。 陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。制绒原理制绒原理利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性，在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌 ，就称为表面织构化。角锥体四面全是由111面包围形成。 反应式为： Si+2NaOH+H2O Na

3、2SiO3 +2H2 制绒原理制绒原理(100)(110)(111)制绒原理制绒原理制绒原理制绒原理显微镜下图像放大后图像金字塔实貌NaOH溶液浓度反应温度制绒的根本IPA浓度NaSiO3浓度提高溶液浓稠度，控制反应速度硅片表面原始状态硅片表面原始状态氢气泡密度及大小以及在硅片表面停留的时间决定金字塔形貌 搅拌搅拌提高反应物疏运速度，提高氢气泡脱附作用 氢气泡作用各个因素的作用制绒工艺流程制绒工艺流程1槽槽清洗清洗2槽槽漂洗漂洗3槽槽粗粗抛抛4槽槽漂洗漂洗5.6.8.9.10制绒制绒槽槽7.11槽槽漂洗漂洗12槽槽酸碱过酸碱过渡渡13槽槽酸洗酸洗14槽槽漂洗漂洗15槽槽酸洗酸洗16槽槽漂洗漂洗

4、17槽槽慢提慢提拉拉制绒机制绒机慢提拉慢提拉制绒作业注意事项上料 注意小花篮中是否有少片.双片及崩边小缺口的硅片 要轻拿轻放，避免人为碎片加液 加液时手离制绒液面至少30cm以免溶液溅到手上 搅拌时动作要轻，避免溶液飞溅到身上下料 下料时若出现雨点.发白.抛光等制绒不良时要告知组长和加液人员 搬动大花篮时要注意不要碰到传递窗边缘以免撞断大花篮抓手制绒操作注意事项制绒操作注意事项 配制溶液时，严禁容器在半空中倒液。加酸时，防护用具穿戴齐全，缺一不可。上压条上压条制绒间化学品的危害及现场急救措施I 危害：强腐蚀性.强刺激性.可致人体灼伤 急救措施：立即脱去污染的衣着并用大量流动清水冲洗至少15分钟盐酸 危害：腐蚀性强，对牙、骨损害较严重 急救措施：立即用大量流水作长时间彻底冲洗.尽快地稀释和冲去氢氟酸或使用中和法如氢氟酸灼伤治疗液(5氯化钙20ml、2利多卡因20ml、地塞米松5mg)浸泡或湿敷氢氟酸 危害：爆炸性强氧化剂过氧化氢本身不燃，但能与可燃物反应放出大量热量和氧气而引起着火爆炸 急救措施：若不慎与眼睛接触可用大量清水长时间冲洗过氧化氢制绒间化学品的危害及现场急救措施II 危害：极易挥发，易燃 急救措施：若不慎皮肤接触应立刻脱去污染的衣着用流动清水冲洗无水乙醇 危害：触及皮肤有强烈刺激作用而造成灼伤有强腐蚀性 急救措施：立即脱去所污染的衣服，用大量流动清水冲洗至少15