半导体工艺简介

1、Dry pump设备部设备部技术三科技术三科 沈沈吉吉真空定义真空定义真空是在某个区域压力低于大气压真空范围低真空(Low or Rough Vacuum -LV)：-760to10-3Torr高真空(High Vacuum -HV)-103to10-8Torr超真空(Ultra-High Vacuum UHV)-10-8to10-12Torr真空真空Pump工作范围工作范围在ETCH和Thinfilm设备通常用Dry pump &Turbo pump将大气抽至一定真空符合process工艺需求。由于Dry pump抽真空能力有限，在 ATM-500mT之间表现良好，然后用Turbo

2、pump 将环境抽至High Vacuum。Kashiyama Dry PumpComparison of Pumping MechanismKashiyama Dry PumpComparison of Pumping TemperaturePump运转的五个运转的五个要素要素&故障原因故障原因1 水6-8L/min2 氮气（GN216-22pam3/sec）3 电源（200V220V）4 气密良好之前端管路5 吸风良好之Exhaust管路Pump的故障可以分为三种：1，Alarm, pump仅显示故障并告之连线机台但pump并不停机。2，Trip：pump显示故障信号告之连线机台，

3、Pump立即停机。3，Error：电装置发生故障或pump内部连线松脱，Pump立即停机。其原因可能为BP Motor电流高 MP Motor 电流过高，Casing 的温度过高，BP 或MP Motor 过载，Seal N2或DIL N2流量过低，Pump box温度过高。对于BP or MP温度过高，可能由以下原因引起的：1，Exhaust压力升高。2，电力供应有问题。3，生成物堆积。4，冷却水减少。5，齿轮坏掉。对于Casing(130deg.c)温度过高，可能由以下原因引起：1，Exhaust压力升高。2，电力供应有问题。3，生成物堆积。4，接头处气体流通不畅。Kashiyama pu

4、mp转子底部排气的间隙宽阔【6mm】生成物徐徐刮向排气侧短捷的排气路径【180mm】在真空侧没有轴承的支撑螺旋转子螺旋式转子具有的高温特性耐腐蚀性的材质InletROTOR.CASING共同使用、具有非常耐腐蚀特性的Ni合金材料合金材、再于表面进行Ni-Coating处理进一步发挥了耐腐蚀性的性能！竖式螺旋转子: 针对产生大量生成物的严酷制成用转子排气侧的间隙宽阔H=6mm具有克服生成物沉积，和容易再启动强的优越性具有刮除生成物的效果根据矩形直角的特点，Screw rotor在高速运转时可将附着在Casing上的生成物徐徐刮向排气侧而容易被排除高温的Rotor特性因为真空室温度较高，所以反应气

5、体很难附着Rotor温度180度Exhaust gas 温度200鲁式泵: 根据同期马达和单纯的本体构造、实现了节省能源和耐久性的双向要求。Motor + Motor Driver以同期马达加驱动器的组合，达到了精密控制转速的可能、从而获得以下的优越性。实现在大气状态开始时的驱动节省能源严密性的提高小型化GearRoots Rotor排气原理MU Dry seriesMU Dry series Dry pump比以前的Dry pump实现极限小型化轻量化省能量化，以对应装置组合（On tool）用轻负荷所开发的Dry pump。特点）Pump构造及采用同步Motor相比实现了小型化(我社容积比：75)、轻量化（我社比：60%）。）以Pump构造的最适化实现了冷却水（我社比：50%）、N使用量（Clean排气用时不用）等能量的减少。）以采用Motor driver大幅减少了Pump启动时的突入电流。在电源频率为地域也是同一性能。MU DRY SeriesMU DRY Series以On Tool目的超小型省