半导体工艺及器件仿真工具SentaurusTCAD学习教案

1、会计学1半导体工艺及器件仿真工具半导体工艺及器件仿真工具SentaurusTCAD第一页，编辑于星期日：十三点 六分。2/1172022-5-14浙大微电子第1页/共117页第二页，编辑于星期日：十三点 六分。3/1172022-5-14浙大微电子第2页/共117页第三页，编辑于星期日：十三点 六分。4/1172022-5-14浙大微电子第3页/共117页第四页，编辑于星期日：十三点 六分。5/1172022-5-14浙大微电子第4页/共117页第五页，编辑于星期日：十三点 六分。6/1172022-5-14浙大微电子第5页/共117页第六页，编辑于星期日：十三点 六分。7/1172022-5

2、-14浙大微电子第6页/共117页第七页，编辑于星期日：十三点 六分。8/1172022-5-14浙大微电子第7页/共117页第八页，编辑于星期日：十三点 六分。9/1172022-5-14浙大微电子第8页/共117页第九页，编辑于星期日：十三点 六分。10/1172022-5-14浙大微电子 增加了模型参数数据库浏览器（增加了模型参数数据库浏览器（PDB），为用户提供了），为用户提供了 修改模型参数和增加模型的方便途径。修改模型参数和增加模型的方便途径。 增加了一维模拟结果输出工具增加了一维模拟结果输出工具Inspect和二维、三维模拟结和二维、三维模拟结 果输出工具（果输出工具（Tecpl

3、ot SV）。）。 增加了小尺寸模型。这些小尺寸模型主要有：增加了小尺寸模型。这些小尺寸模型主要有： 高精度刻蚀模型，高精度刻蚀模型， 基于基于Monte Carlo的离子扩散模型，的离子扩散模型， 注入损伤模型，注入损伤模型， 离子注入校准模型等等。离子注入校准模型等等。 增加了这些小尺寸模型，提高了工艺软件的仿真精度，适应了半导体工艺发展的需求。增加了这些小尺寸模型，提高了工艺软件的仿真精度，适应了半导体工艺发展的需求。第9页/共117页第十页，编辑于星期日：十三点 六分。11/1172022-5-14浙大微电子第10页/共117页第十一页，编辑于星期日：十三点 六分。12/1172022

4、-5-14浙大微电子第11页/共117页第十二页，编辑于星期日：十三点 六分。13/1172022-5-14浙大微电子第12页/共117页第十三页，编辑于星期日：十三点 六分。2022-5-14浙大微电子14/117第13页/共117页第十四页，编辑于星期日：十三点 六分。15/1172022-5-14浙大微电子第14页/共117页第十五页，编辑于星期日：十三点 六分。16/1172022-5-14浙大微电子第15页/共117页第十六页，编辑于星期日：十三点 六分。17/1172022-5-14浙大微电子第16页/共117页第十七页，编辑于星期日：十三点 六分。18/1172022-5-14浙

5、大微电子第17页/共117页第十八页，编辑于星期日：十三点 六分。19/1172022-5-14浙大微电子第18页/共117页第十九页，编辑于星期日：十三点 六分。20/1172022-5-14浙大微电子第19页/共117页第二十页，编辑于星期日：十三点 六分。21/1172022-5-14浙大微电子第20页/共117页第二十一页，编辑于星期日：十三点 六分。22/1172022-5-14浙大微电子第21页/共117页第二十二页，编辑于星期日：十三点 六分。23/1172022-5-14浙大微电子第22页/共117页第二十三页，编辑于星期日：十三点 六分。24/1172022-5-14浙大微电

6、子第23页/共117页第二十四页，编辑于星期日：十三点 六分。25/1172022-5-14浙大微电子第24页/共117页第二十五页，编辑于星期日：十三点 六分。26/1172022-5-14浙大微电子第25页/共117页第二十六页，编辑于星期日：十三点 六分。27/1172022-5-14浙大微电子第26页/共117页第二十七页，编辑于星期日：十三点 六分。28/1172022-5-14浙大微电子第27页/共117页第二十八页，编辑于星期日：十三点 六分。29/1172022-5-14浙大微电子第28页/共117页第二十九页，编辑于星期日：十三点 六分。30/1172022-5-14浙大微电

7、子第29页/共117页第三十页，编辑于星期日：十三点 六分。31/1172022-5-14浙大微电子第30页/共117页第三十一页，编辑于星期日：十三点 六分。32/1172022-5-14浙大微电子第31页/共117页第三十二页，编辑于星期日：十三点 六分。33/1172022-5-14浙大微电子第32页/共117页第三十三页，编辑于星期日：十三点 六分。34/1172022-5-14浙大微电子第33页/共117页第三十四页，编辑于星期日：十三点 六分。35/1172022-5-14浙大微电子第34页/共117页第三十五页，编辑于星期日：十三点 六分。36/1172022-5-14浙大微电子

8、第35页/共117页第三十六页，编辑于星期日：十三点 六分。37/1172022-5-14浙大微电子第36页/共117页第三十七页，编辑于星期日：十三点 六分。38/1172022-5-14浙大微电子第37页/共117页第三十八页，编辑于星期日：十三点 六分。39/1172022-5-14浙大微电子第38页/共117页第三十九页，编辑于星期日：十三点 六分。40/1172022-5-14浙大微电子第39页/共117页第四十页，编辑于星期日：十三点 六分。41/1172022-5-14浙大微电子第40页/共117页第四十一页，编辑于星期日：十三点 六分。42/1172022-5-14浙大微电子第

9、41页/共117页第四十二页，编辑于星期日：十三点 六分。43/1172022-5-14浙大微电子第42页/共117页第四十三页，编辑于星期日：十三点 六分。44/1172022-5-14浙大微电子第43页/共117页第四十四页，编辑于星期日：十三点 六分。45/1172022-5-14浙大微电子第44页/共117页第四十五页，编辑于星期日：十三点 六分。46/1172022-5-14浙大微电子第45页/共117页第四十六页，编辑于星期日：十三点 六分。47/1172022-5-14浙大微电子第46页/共117页第四十七页，编辑于星期日：十三点 六分。48/1172022-5-14浙大微电子第

10、47页/共117页第四十八页，编辑于星期日：十三点 六分。49/1172022-5-14浙大微电子第48页/共117页第四十九页，编辑于星期日：十三点 六分。50/1172022-5-14浙大微电子第49页/共117页第五十页，编辑于星期日：十三点 六分。51/1172022-5-14浙大微电子第50页/共117页第五十一页，编辑于星期日：十三点 六分。52/1172022-5-14浙大微电子第51页/共117页第五十二页，编辑于星期日：十三点 六分。53/1172022-5-14浙大微电子第52页/共117页第五十三页，编辑于星期日：十三点 六分。54/1172022-5-14浙大微电子第5

11、3页/共117页第五十四页，编辑于星期日：十三点 六分。55/1172022-5-14浙大微电子第54页/共117页第五十五页，编辑于星期日：十三点 六分。56/1172022-5-14浙大微电子第55页/共117页第五十六页，编辑于星期日：十三点 六分。57/1172022-5-14浙大微电子第56页/共117页第五十七页，编辑于星期日：十三点 六分。58/1172022-5-14浙大微电子第57页/共117页第五十八页，编辑于星期日：十三点 六分。59/1172022-5-14浙大微电子第58页/共117页第五十九页，编辑于星期日：十三点 六分。60/1172022-5-14浙大微电子第5

12、9页/共117页第六十页，编辑于星期日：十三点 六分。61/1172022-5-14浙大微电子第60页/共117页第六十一页，编辑于星期日：十三点 六分。62/1172022-5-14浙大微电子第61页/共117页第六十二页，编辑于星期日：十三点 六分。63/1172022-5-14浙大微电子第62页/共117页第六十三页，编辑于星期日：十三点 六分。64/1172022-5-14浙大微电子第63页/共117页第六十四页，编辑于星期日：十三点 六分。65/1172022-5-14浙大微电子dxdydPPPPyxJIgBErinssn),(dsdgfvPqIgBEins)()()(第64页/共1

13、17页第六十五页，编辑于星期日：十三点 六分。66/1172022-5-14浙大微电子第65页/共117页第六十六页，编辑于星期日：十三点 六分。67/117VniViVVkTEnkTE1300300)exp(1lnCniCiCkTEnkTEc1300300)exp(1ln2022-5-14浙大微电子1exp)/( 21/110kTEEmmmmCiCNtNINtNINNii1exp)/(1/1115 . 110010kTEEmmmmCiCPhPPhPPPPP第66页/共117页第六十七页，编辑于星期日：十三点 六分。68/1172022-5-14浙大微电子第67页/共117页第六十八页，编辑于

14、星期日：十三点 六分。69/1172022-5-14浙大微电子第68页/共117页第六十九页，编辑于星期日：十三点 六分。70/1172022-5-14浙大微电子第69页/共117页第七十页，编辑于星期日：十三点 六分。71/1172022-5-14浙大微电子第70页/共117页第七十一页，编辑于星期日：十三点 六分。72/1172022-5-14浙大微电子第71页/共117页第七十二页，编辑于星期日：十三点 六分。73/1172022-5-14浙大微电子第72页/共117页第七十三页，编辑于星期日：十三点 六分。74/1172022-5-14浙大微电子第73页/共117页第七十四页，编辑于星

15、期日：十三点 六分。75/1172022-5-14浙大微电子第74页/共117页第七十五页，编辑于星期日：十三点 六分。76/1172022-5-14浙大微电子第75页/共117页第七十六页，编辑于星期日：十三点 六分。77/1172022-5-14浙大微电子第76页/共117页第七十七页，编辑于星期日：十三点 六分。78/1172022-5-14浙大微电子第77页/共117页第七十八页，编辑于星期日：十三点 六分。79/1172022-5-14浙大微电子第78页/共117页第七十九页，编辑于星期日：十三点 六分。80/1172022-5-14浙大微电子第79页/共117页第八十页，编辑于星期

16、日：十三点 六分。81/1172022-5-14浙大微电子第80页/共117页第八十一页，编辑于星期日：十三点 六分。82/1172022-5-14浙大微电子第81页/共117页第八十二页，编辑于星期日：十三点 六分。83/1172022-5-14浙大微电子第82页/共117页第八十三页，编辑于星期日：十三点 六分。84/1172022-5-14浙大微电子第83页/共117页第八十四页，编辑于星期日：十三点 六分。85/1172022-5-14浙大微电子第84页/共117页第八十五页，编辑于星期日：十三点 六分。86/1172022-5-14浙大微电子第85页/共117页第八十六页，编辑于星期

17、日：十三点 六分。87/1172022-5-14浙大微电子第86页/共117页第八十七页，编辑于星期日：十三点 六分。88/1172022-5-14浙大微电子第87页/共117页第八十八页，编辑于星期日：十三点 六分。89/1172022-5-14浙大微电子第88页/共117页第八十九页，编辑于星期日：十三点 六分。90/1172022-5-14浙大微电子第89页/共117页第九十页，编辑于星期日：十三点 六分。91/1172022-5-14浙大微电子第90页/共117页第九十一页，编辑于星期日：十三点 六分。92/1172022-5-14浙大微电子第91页/共117页第九十二页，编辑于星期日

18、：十三点 六分。93/117Math Iterations =50 NotDamped = 50 Extrapolate RelErrControl2022-5-14浙大微电子第92页/共117页第九十三页，编辑于星期日：十三点 六分。94/117Solve Poisson Coupled Poisson Electron Hole Quasistationary (Initialstep=1e-6 MaxStep=0.1 Goal name=anode voltage=4e7 ) Coupled Poisson Electron HoleTemperature 2022-5-14浙大微电子第

19、93页/共117页第九十四页，编辑于星期日：十三点 六分。95/1172022-5-14浙大微电子第94页/共117页第九十五页，编辑于星期日：十三点 六分。96/117产生原因：击穿点附近，电流变化太迅速，基于原来的初始解产生原因：击穿点附近，电流变化太迅速，基于原来的初始解A，通过一个仿真步长，电压变化，通过一个仿真步长，电压变化V，此时假定下一点处于，此时假定下一点处于B点，而假定点点，而假定点B和真实点和真实点C之间的电流变化量之间的电流变化量I太大，程序无法通过迭代获得正确点，因此始终无法收敛。太大，程序无法通过迭代获得正确点，因此始终无法收敛。 2022-5-14浙大微电子第95页

20、/共117页第九十六页，编辑于星期日：十三点 六分。97/117Electrode Name=anode Voltage=0.0 resistor=3e9 Name=cathodeVoltage=0.0 Name=sub Voltage=0.0 2022-5-14浙大微电子第96页/共117页第九十七页，编辑于星期日：十三点 六分。98/1172022-5-14浙大微电子第97页/共117页第九十八页，编辑于星期日：十三点 六分。99/117的解决方法的解决方法SolveCoupledPoisson Electron Hole Temperature QuasistationaryCouple

21、dPoisson Electron Hole TemperatureSolvePoissonCoupledPoisson ElectronCoupledPoisson Electron Hole QuasistationaryCoupledPoisson Electron Hole Temperature2022-5-14浙大微电子第98页/共117页第九十九页，编辑于星期日：十三点 六分。100/1172022-5-14浙大微电子第99页/共117页第一百页，编辑于星期日：十三点 六分。101/1172022-5-14浙大微电子第100页/共117页第一百零一页，编辑于星期日：十三点 六分。102/1172022-5-14浙大微电子第101页/共117页第一百零二页，编辑于星期日：十三点 六分。103/1172022-5-14浙大微电子第102页/共117页第一百零三页，编辑于星期日：十三点 六分。104/1172022-5-14浙大微电子第103页/共117页第一