扫描电子显微镜学习教案

1、会计学1扫描电子显微镜扫描电子显微镜第一页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。2第1页/共45页第二页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。3及其应用及其应用第五节第五节 原子序数衬度原理原子序数衬度原理及其应用及其应用第2页/共45页第三页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。4图图13-1 电子束与固体样品作用产生的信号电子束与固体样品作用产生的信号第3页/共45页第四页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。5第4页/共45页第五页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。6第5页/共45页第六页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。7第6页/共45页第七页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。8第7页/

2、共45页第八页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。9图图13-2 铜样品铜样品 、 、 及及 与与 t 的关系的关系(入射电子能量入射电子能量E0 = 10keV)第8页/共45页第九页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。10第9页/共45页第十页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。11第10页/共45页第十一页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。12图图13-3 扫描电子显微镜的结构原理图扫描电子显微镜的结构原理图第11页/共45页第十二页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。13第12页/共45页第十三页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。14图图13-4 电子束的扫描方式电子束的扫描方式a

3、) 光栅扫描光栅扫描 b) 角光栅扫描角光栅扫描第13页/共45页第十四页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。15第14页/共45页第十五页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。16第15页/共45页第十六页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。17图图13-5 S-3000N型扫描电镜外观图扫描电镜外观图第16页/共45页第十七页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。18信信 号号二次电子二次电子背散射电子背散射电子吸收电子吸收电子特征特征X射线射线俄歇电子俄歇电子深度范围深度范围51050200100100010010000.52表表13-1 各种信号来自样品表面的深度范围各种信号来自样品表面的

4、深度范围 (nm)第17页/共45页第十八页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。1925 kV15 kV5 kV加速电压对电子束的扩展区域的影响加速电压对电子束的扩展区域的影响第18页/共45页第十九页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。20Ag47C6Fe26样品原子序数对电子束的扩展区域的影响样品原子序数对电子束的扩展区域的影响第19页/共45页第二十页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。21图图13-6 电子束的扩展区域电子束的扩展区域第20页/共45页第二十一页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。22图图13-6 电子束的扩展区域电子束的扩展区域第21页/共45页第二十二页，编辑于星期

5、一：二十二点 五十一分。23图图13-7 二次电子像分辨率的测定二次电子像分辨率的测定第22页/共45页第二十三页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。24scAAM 第23页/共45页第二十四页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。25图图13-8 二次电子成像原理二次电子成像原理第24页/共45页第二十五页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。26图图13-8 二次电子成像原理二次电子成像原理第25页/共45页第二十六页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。27图图13-9 二次电子成二次电子成像衬度示意图像衬度示意图图图13-10 实际样品中二次电子的激发示意图实际样品中二次电子的激发示意图a)

6、 凸出尖角凸出尖角 b) 小颗粒小颗粒 c) 棱角棱角 d) 凹槽凹槽第26页/共45页第二十七页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。28第27页/共45页第二十八页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。29图图13-11 沿晶断口的形貌特征沿晶断口的形貌特征第28页/共45页第二十九页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。30图图13-12 韧窝断口的形貌特征韧窝断口的形貌特征第29页/共45页第三十页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。31图图13-13 a)解理断口及解理断口及b)准解理断口的形貌特征准解理断口的形貌特征第30页/共45页第三十一页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。32图图

7、13-14 碳纤维增强陶瓷复合材料断口碳纤维增强陶瓷复合材料断口第31页/共45页第三十二页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。33图图13-15 ZrO2-Y2O3陶瓷烧结自然表面陶瓷烧结自然表面a) t-ZrO2 b) c-ZrO2 c) (c+t)ZrO2第32页/共45页第三十三页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。34图图13-18 铁素体铁素体(F)+马氏体马氏体(M)双相钢拉伸断裂过程的动态原位观察双相钢拉伸断裂过程的动态原位观察a) 裂纹萌生裂纹萌生 b) 裂纹扩展裂纹扩展第33页/共45页第三十四页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。35a)b)图图13-17 钢的金相组织二

8、次电子像钢的金相组织二次电子像a) 铁素体加珠光体铁素体加珠光体 b) 回火马氏体回火马氏体第34页/共45页第三十五页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。36粉末样品的二次电子像粉末样品的二次电子像a) 不规则形状不规则形状 b) 球状球状a)b)第35页/共45页第三十六页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。37低碳钢板表面磷化膜形貌低碳钢板表面磷化膜形貌第36页/共45页第三十七页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。38合金钢表面磨损形貌二次电子像合金钢表面磨损形貌二次电子像第37页/共45页第三十八页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。39图图13-20 检测二次电子和背散检测二次电子

9、和背散射电子的比较射电子的比较第38页/共45页第三十九页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。40图图13-21 表面有凹坑样品的二次电子像表面有凹坑样品的二次电子像第39页/共45页第四十页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。41图图13-22 背散射电子产额背散射电子产额与样品原子序数的关系与样品原子序数的关系第40页/共45页第四十一页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。42图图13-23 检测器对的工作原理检测器对的工作原理a) 表面光滑表面光滑 b) 成分均匀成分均匀 c) 形貌、成分有差别形貌、成分有差别第41页/共45页第四十二页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。43铸造铸造AlLi合金共晶组织形貌背散射电子像合金共晶组织形貌背散射电子像 a) 横截面横截面 b) 纵截面纵截面 第42页/共45页第四十三页，编辑于星期一：二十二点 五十一分。44 Si3N4陶瓷与钢钎焊接头显微组织的背散射电子像陶瓷与钢钎焊接头显微组织的背散射电子像Si3N4Ag、Cu共晶共晶45钢钢反应层反应层第43页/