外观不良原因及方法

1、 前清洗1、若出现雨点状的斑点：只要加入少量乙醇或异丙醇即可消除。2、若硅片上端部分光亮：表明液位不够或溶液粘稠度过大，使篮框漂浮起来。3、若硅片表面有水痕印：说明溶液内硅酸钠过量，适当加大NaOH的用量；还有可能喷淋效果不理想，调节喷淋吹风大小。4、若硅片表面有手指印：没有按照正确WI的操作手册进行操作，裸手拿片或手套脏了及手套坏了没有及时的更换。需要求员工按照正确的WI进行操作，提高员工的操作素质及规范员工正确的操作手法，对员工进行综合性的培训。5、若检验硅片发现有或存在裂痕：应及时挑出，防止在制成过程中出现碎片及卡片，造成不良或成本的浪费。6、吸笔印：不能裸手去拿或污染吸笔头及长时间没有

2、擦拭或更换吸笔头或吸笔真空太大，吸笔印落印在硅片上等因素都会造成吸笔印。方法：提高员工操作素质、半小时擦拭或两小时更换吸笔头，调整真空大小，杜绝吸笔印的产生。 扩散1、蓝黑点：由于前清洗滚轮速度过快，造成在喷淋处没有吹干净出现蓝黑点。措施：适当调整滚轮速度或喷淋吹风大小。2、脏片：一方面由于清洗硅片太高或碎片残留堵住喷淋口和在扩散前硅片被污染造成脏片。措施：及时清理和防止各种会造成硅片污染的因素。1、滚轮印：如果后清洗出来的片子没有完全脱水可以在HF槽中适当添加HF，HF可以出去硅片表面氧化层形成疏水表面和洗风刀处的滚轮沉积物太多或太脏，应及时用水枪冲洗滚轮。2、药残：由于喷淋吹风没有完全吹干

3、或前道存在隐裂在喷淋处让药液残留在隐裂中，造成药液残留在硅片上，应适当调整喷淋吹风大小或在制成中减少隐裂的产生。3、吸笔印：同上后清洗PECVD1、色差：由于受镀膜温度的高低及镀膜时间的长短和管炉内温度的均匀性的影响。措施：监控好管炉镀膜温度及镀膜时间，温度波动的走势防止温度波动太大。2、非扩散面彩虹片：由于在上片时不小心造成隐裂或在镀膜时碎片，镀膜到非扩散面。措施：在上片发现有隐裂应及时挑出，上片时应注意不要过多碰撞石墨舟，注意工艺卡点。3、吸笔印：由于长时间没有更换吸笔头或是吸笔头被污染。措施：应及时擦拭或更换。丝网外观 ：（1）铝珠 ：印刷过厚,烧结热量过多.措施：降低印刷厚度，调整印刷

4、参数提高印刷压力、降低速度以及丝 网间距在不影响电性能的情况下,降低烧结温度或者是提高烧结带速(此种方法不建议采用)（2）铝疱 :印刷厚度偏薄。印刷不均匀网版有针孔漏浆。刮刀破损。浆料不均匀。烧结热量不均匀。抽风过大。加热管热量不均匀。措施：增大印刷厚度，调整印刷参数降低印刷压力、增大速度以及丝网间距。用封网胶直接在线修补针孔。更换刮刀。更换另一个批次的浆料。需请设备人员进行相应调整解决.(3)弯曲：铝背场过厚。浆料使用不当。 措施：降低印刷厚度，调整印刷参数提高印刷压力、降低速度以及丝网间距。更换抗弯曲浆料。(4)线条虚印:参数不正确。浆料搅拌不均匀。刮刀翘曲。网版本身张力不均匀。印刷头在印刷行进过程中抖动。措施：调整参数，重新安装刮刀或者更换新刮刀。更换网版。需请设备人员进行相应调整解决。(5)部分区域过厚或者过薄甚至缺印:网版本身厚度不均匀。刮刀翘曲或者破损。硅片本身厚度不均匀。印刷台面或者网框支架本身有高低。印刷头在印刷行进过程中压力或者速度不均匀。措施：更换网版。重新安装刮刀或者更换新刮刀。调整印刷参数提高印刷压力、降低速度以及丝网间距或者不做。需请设备人员进行相应调整解决。烘干外观：(1)背表面有吸盘印:没有烘干。非烘干原因印刷过厚。措施：增大烘干温度，延长烘干时间。降低印刷厚度，调整印刷参数提高印刷压力、降低速度以及丝网间距。(2)块状或者粉末状脱落 :过干或者