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1、会计学1扩散与离子注入扩散与离子注入22003年10月8日32003年10月8日42003年10月8日52003年10月8日62003年10月8日72003年10月8日82003年10月8日92003年10月8日xNDJ22xNDtN102003年10月8日112003年10月8日)/exp(0kTEDDA左图为替位扩散粒子的扩散系数右图为填隙扩散粒子的扩散系数122003年10月8日例：计算硼在例：计算硼在1100oC下的扩散系数：下的扩散系数：D=10.5exp-(3.69/8.614 10-5 1373) =2.96 10-13cm2/sec132003年10月8日142003年10月8

2、日)/ln(2BOjNNDtx152003年10月8日162003年10月8日172003年10月8日182003年10月8日192003年10月8日202003年10月8日212003年10月8日222003年10月8日232003年10月8日ABCDsIVR2ln242003年10月8日252003年10月8日2323432SiOBSiOB除了氧化硼外，其它硼源均先与氧反应形成氧化硼，在于硅反应扩散262003年10月8日2525452SiOPSiOP除了氧化磷外，其它磷源均先与氧反应形成氧化磷，在于硅反应扩散272003年10月8日2323432SiOAsSiOAs2323432SiOSbSiOSb282003年10月8日292003年10月8日302003年10月8日312003年10月8日322003年10月8日332003年10月8日342003年10月8日352003年10月8日362003年10月8日372003年10月8日382003年10月8日392003年10月8日402003年10

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