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文档简介

1、报告人：宋文娟报告人：宋文娟导师：熊祖洪导师：熊祖洪 教授教授SEM基基本本结结构构电子光学系统电子光学系统扫描系统扫描系统信号检测放大系统信号检测放大系统图像显示和记录系统图像显示和记录系统电源和真空系统电源和真空系统2.(1) 电子光学系统电子光学系统场发射电子枪场发射电子枪电磁透镜电磁透镜光栅和样品室光栅和样品室(2) 真真 空空 系系 统统机械泵机械泵扩散泵扩散泵真空管道真空管道阀门（另外还有以液态氮冷却的阀门（另外还有以液态氮冷却的冷阱，可以控制样品室的真空度）冷阱，可以控制样品室的真空度）(3) 电源系统电源系统高压电源高压电源透镜电流透镜电流电子枪电源电子枪电源真空系统电源真空系

2、统电源(4) 扫描系统扫描系统扫描线圈扫描线圈扫描信号发生器扫描信号发生器放大控制器放大控制器相应电子线路相应电子线路(5) (5) 信号探测系统信号探测系统收集器收集器闪烁体光电倍增管闪烁体光电倍增管前置放大器前置放大器(6) (6) 显示系统显示系统观察用（为了便于调焦，采用尽观察用（为了便于调焦，采用尽可能快的扫描速度）可能快的扫描速度）记录用（为了得到分辨率高的图记录用（为了得到分辨率高的图像，采用慢的扫描速度）像，采用慢的扫描速度）cJ22exp(/)( /)CCWJA TEkT A cmCA()T K0CJ eEkTCJ0E2260 /CAA cm K4.5wEeV21.75/cJ

3、A cm2240/cAA cm K 当在真空中的金属表面受到当在真空中的金属表面受到108V/cm大小大小的电子加速电场时，会有可观数量的电子发射的电子加速电场时，会有可观数量的电子发射出来，此过程叫做场发射。出来，此过程叫做场发射。 其原理是高压电场使电子的电位障碍产生其原理是高压电场使电子的电位障碍产生Schottky效应，亦即使能障宽度变窄，高度效应，亦即使能障宽度变窄，高度变低，致使电子可直接变低，致使电子可直接“穿隧穿隧”通过此狭窄能通过此狭窄能障并离开阴极。障并离开阴极。 810671010()Fe VB 0iMS S0idd M0iM0SiS/0111iSSf/f0SiSMd/MSSd0dM影响分辨本领的因素还有信噪比、杂散电磁场和机械震动等Ml L1018号钢在不同温度下的断口形貌多孔氧化铝模板制备的金纳米线的形貌（a）低倍像（

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