防静电典型工艺技术

1、ICS.Q/RSAG青岛海信电器股份有限公司企业标准Q/RSAG J05.0022011Q/RSAG J05.002-2009防静电典型工艺2011 - XX - XX发布2011 - XX - XX实施青岛海信电器股份有限公司发布前言本标准依据GB/T 1.1-2009起草。本标准代替Q/RSAG J05.002-2009。本标准与Q/RSAG J05.002-2009相比，变化如下：增加潮湿敏感器件管理要求，增加脚腕带等防静电用具说明。增加了3.5条增加了防静电脚跟带；增加了3.12条腕带报警器；增加了3.13条人体综合检测仪；修改了4.2.2条工艺要求；修改了9.5条电子产品在装配、测试

2、过程中的静电防护要求；增加了9.6条EDS元件和电子产品在运输过程中静电防护要求；增加了11章潮湿敏感器件。本标准由产品引入中心提出。本标准的起草部分：产品引入中心。本标准的主要起草人：刘明元。 防静电典型工艺1 范围1.1 本工艺规定了彩色电视机、数字电视接收器等电子产品生产过程中的静电防护要求。1.2 本工艺适用于电子产品静电敏感元件在进厂检验、保管、存储、收、发、领、退料及生产全过程的静电防护。2 术语和定义2.1 静电物体表面过剩或不足的相对静止电荷，能够长时间停留在某些物料上。静电是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果，是通过电子转移而形成的。这些不平衡的电荷，就产生了一个可

3、以衡量其大小的电场，称为静电场，它能影响一定距离内的其它物体，使之感应带电，影响距离之远近与其电量的多少有关。产生原因：摩擦、剥离、破裂、电解、感应、吸附等。机理：物质因失去或得到电子而带电。2.2 静电放电（ESD）当两个带不同静电电位的物体相互接近到某种程度或接触时，静电从一个物体突然流放到另一物体上的现象。2.3 静电防护工作区（EPA=ESD Protection Area）无任何材料或活动会造成静电敏感元件有静电损坏风险的工作区。配置各种防静电设备和器材，能限制静电电位，具有确定的边界和专门的标记的适于从事静电防护操作的场所。2.4 静电放电敏感（ESD）器件对静电放电敏感且极易被破

4、坏的器件。静电敏感器件主要包括: a. MOS器件、MOS管及MOS集成电路。bFET器件、包括场效应管和集成电路。c. TTL器件、包括各种逻辑门数字集成电路。d. AMP放大器、比较器、调节器等模拟集成电路。e.X-ROM存储体器件和记忆体器件、包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成电路。f.CPU微处理器及各种BGA器件。g.各种二极管、三极管。h.各种半导体开关元件。I.各种厚膜和薄膜电阻。k.SAW声表面波器件。L.石英、晶振体器件。m.以上元器件组装的PCBA组件。3 常用防静电用品3.1 防静电腕带 佩戴于人体手腕上，释放人体聚集静电电荷的器件（由外部绝缘

5、性高、内置导电丝线的软扣带及伸缩性强的电线组成），同时防止快速放电产生的火花，并起隔离作用。如图1： 图13.2 防静电手套 有良好的ESD保护作用，防止人体指尖产生的尖端放电的手套。 如图2：图23.3 防静电工衣为了防止衣服的静电积累，用防静电织物为面料而缝制的工作服。如图3。 图33.4 防静电鞋 鞋底用防静电材料制作，不仅能消除人体静电积聚，且能钝化触及250V以下电源电击伤害的防护鞋。如图4。 图43.5 防静电脚跟带 防静电脚跟带由导电橡胶、可调节魔术贴和导电织带组成，人体电荷可通过导电织带经导电橡胶安全泄放至导电地板，是人员防静电所必须采用的措施之一。如图5。 图53.6 除静电

6、离子风枪 由外接高压产生器供应电源，枪嘴内的离子针电晕放电，将通过的高压气流电离为大量正负离子，离子风快速吹向需除静电区域将静电中和，同时吹除灰尘，并防止灰尘因静电再次吸附。离子风枪可方便灵活地移动，适合局部区域静电消除。 如图6。图6 （图示中高压发生器未接压缩空气管道）3.7 离子风机利用空气电离产生大量正负电荷，并用风机将正负电荷吹出。形成一股正负电荷的气流，将物体表面所带的电荷中和掉。当物体表面所带为负电荷时，它会吸引气流中的正电荷，当物体表面所带为正电荷时，它会吸引电流中的负电荷，从而使物体表面上的静电被中和，达到消除静电的目的。离子风机是固定在需要中和静电的场所，不能随时移动。如图

7、 7。 图73.8 防静电台垫 由抗（导）静电材料和耗散静电材料合成橡胶等制做而成。表面层为约0.5mm厚的耗散静电层，底层为约1.5mm厚的导电层。如图8。 图83.9 防静电包装袋由基材、金属镀膜层和热封层多层复合而成，自身“不起”静电和能屏蔽外界静电的双重功能。分为防静电塑料袋、导静电塑料袋和防静电屏蔽袋三种。如图9。图93.10 防静电衬垫 3.10.1 采用EVA为原材料,经内添加导电助剂并模压交联,发泡而成，摩擦电压低,静电衰减时间短且不受环境空气温度影响，一般采用黑色或粉红色。如图10。3.10.2 采用防静电布料套在软材料上的防震周转垫，防滑、防擦痕，摩擦静电低，缺点是脏污后防

8、静电效果变差。图103.11 防静电地面 能较少产生静电或易于泄漏静电，以防止静电危害的地面。3.12 腕带报警器3.12.1 实时检测操作人员的静电手腕带佩戴情况及地线的接入大地情况，遇异常状况立刻自动报警。腕带报警器灵敏度高，当静电泄放通路出现故障0.1秒，检测器会自动报警。如图11。3.12.2 腕带报警器正常状态： 人体手腕带接地系统正常工作时，无声音、绿灯亮，对静电手腕带进行实时监控。 静电手腕带和手接触良好，静电手腕带和接地线接触良好，人体的静电放电顺利，无声音、绿灯亮。3.12.3 腕带报警器报警状态： 手腕带线脱落、手腕带和手接触松动。 人体皮肤干燥，静电泄放不畅。 手腕带损坏

9、。 大地线放电不良。图113.13 人体综合检测仪人体综合检测仪是为测量人体静电综合电阻(包括人体、鞋、袜等的电阻)而设计的用直观的发光二极管显示装置。该系统能同时测试两脚和人体间的综合电阻。当人体综合电阻过大时，静电不能泄漏进入大地而有静电放电的危险，该仪器报警。当人体综合电阻过小时，人体综合检测仪也能报警。有两种工作模式：脚脚工作模式和手脚工作模式，即可测量人员穿着防静电鞋或佩戴脚跟带的状态也可测量人员佩戴防静电腕带的状态。如图12。图124 常用防静电用品的技术要求及工艺要求4.1 防静电腕带 4.1.1 技术要求: 内接安全电阻 106（兼顾人体安全和有效放电）；连线内芯6根；静电释放

10、时间小于 0.1 秒。4.1.2 工艺要求：如图13。1）必须和人体皮肤接触，不能佩戴在手套或衣服上,另一端必须良好接地；2）工作时间必须持续佩戴；3）进行高压测试的工位严禁佩戴防静电腕带。图134.1.3 检测方法：将有绳腕带戴于手腕上，腕带插头端插入腕带测试仪的测试孔中，用另一只手按下测试仪的导电板，同时持续抖动腕带线，“绿灯”持续亮且有鸣叫声表示合格（即导通）；“红灯”亮表示不合格（即不导通），须更换；“绿灯”时亮时灭也表示不合格（即接触不良），也须更换。如图14。 合格 不合格图144.2 防静电工衣（含防静电帽） 4.2.1 主要技术要求: 起电电压100v； 表面电阻在106 10

11、9之间；洗涤次数：A级100次；B级50次。4.2.2 工艺要求： 4.2.2.1 禁止在防静电工衣上附加或佩戴任何金属物件；4.2.2.2 必须作为外套，且完全覆盖原有衣物；衣扣全部扣好，拉链式须将拉链拉到最顶端；各袖口需全部锁紧，不得挽起；如图15；4.2.2.3 尽量采用简易方法洗涤，避免使防静电工衣受到较强的机械和化学操作的洗涤；4.2.2.4 不准在防静电工作区内现场穿上或脱去工作服。衣领需平整，不得竖起。4.2.2.5 员工在佩戴防静电帽时需注意如下事项。如图16。 帽檐处不能露出的头发；不合格 男士头发不得超过衣领； 女士需将头发收拢在防静电帽内； 在工作区内不得脱帽整理头发和防

12、静电帽。图15图164.2.3 检测方法： 4.2.3.1 将待检衣服平整地放在干燥的绝缘塑料板，测试前用干燥的抹布擦拭塑料板，消除板上的水分和杂质，选取2个衣袖、前襟两侧、后背共5点，被测两点距离在20cm左右，用重锤式表面电阻测试仪，见图17。也可用接触式测试仪，将其轻压在衣服表面，其中测试仪导轨与衣服上的导电纤维垂直，检测其表面电阻在106 109之间；将一个检测电极（重锤）放在工衣表面，另一个电极接防静电地，检测其系统电阻（对地电阻）在105 108之间。图174.2.3.2 用静电压测试仪检测起电电压100V，且在10秒内泄放至50V以内。如图18。图184.3 防静电布套检测方法同

13、防静电衣。4.4 防静电鞋4.4.1 技术要求：表面电阻105 109；摩擦起电电压<100v；人体的系统（对地）电阻105108；耐磨性、抗曲折性符合国标要求。注： 可采用人体综合测试议来测试人体佩戴防静电腕带和穿着防静电鞋的静电泄漏电阻。4.4.2 工艺要求:1）必须保持洁净，内里洗涤通普通鞋子，外层脏时可用湿抹布粘取少许洗衣粉擦拭；2）不得穿离防静电、防尘区域。3）防静电鞋有导电性，严禁高压测试工位、设备维修人员穿着。4.5 防静电手套 4.5.1 技术要求: 表面电阻104 109； 4.5.2 工艺要求：1）手套的主要功能是保持洁净，所以佩戴操作时必须保持洁净，依照普通衣物洗涤

14、方式即可，但不得用强碱等腐蚀性强的洗涤液；2）防静电手套的另一大功能是阻止手指尖的尖端放电，所以不得出现破损或人为造成手指露出的现象；在操作中确实有带防静电手套不方便的场所或工位可佩带防静电腕带或防静电指套。4.6 防静电台垫 4.6.1 技术要求:体积电阻108 1010；防静电面表面电阻106109，导静电面表面电阻103 105；耐磨、耐热和抗常用化学剂，寿命长。4.6.2 工艺要求:1）必须可靠接地，用金属导线与地线连接；2）保持清洁，严禁表面有金属杂物；3）铺设时绿色面朝上，黑色面朝下。4.6.3 检测方法：选取对角线各一点，两点距离在20cm左右，用重锤式表面电阻测试仪检测其表面电

15、阻在105 1010之间；将一个检测电极（重锤）放在台垫表面，另一个电极接防静电地，检测其系统电阻（对地电阻）在105 108之间。4.7 防静电周转箱 （含托盘。周转架，Tray盘等）4.7.1 技术要求: 表面电阻10510104.7.2 工艺要求：1）保持清洁，严禁箱内底部有杂物；2）禁止使用泡沫塑料、纸壳等非防静电物品作内衬垫。4.7.3 检测方法：选取四侧内壁各一点、底侧内壁各两点共6点用接触式电阻测试仪分别检测其表面电阻在105 1010之间。如图19。图194.8 防静电泡棉4.8.1 技术要求: 体积电阻1081010； 防静电面表面电阻1051010，耐磨、耐热（不高于200

16、度）和抗常用化学剂，寿命长。4.8.2 工艺要求：1）表面清洁，严禁表面有金属杂物；2）保持整体完整，不得出现大部破损现象。4.8.3 检测方法：1）选取对角线各一点（两点距离在20cm左右）用电阻测试仪分别检测其表面电阻在1051010之间。测试方法类同防静电周转箱。2）用电压测试仪检测起电电压100V，且在10秒内泄放至50V以内（类同防静电工衣检测）。4.9 防静电地线4.9.1 主要技术要求:1） 防静电系统最好有独立的接地装置，接地电阻一般小于10；2） 防静电地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用，使用三相五线制供电时，其地线可以作防静电地线；3） 每个静电防护区（EPA）只能

17、有一个接地连接点（EBP），所有的接地系统都必须通过“STAR（星型）” 连接方式和接地连接点（EBP）连接，如图20；4） 各防静电测试点与防静电地线间电阻为515（理想应为0，但因导线自身存有一定阻值），若阻值较大甚至断路，则需要检修。5） 接地主干线的连接采用钎焊，颜色以黄绿线为宜，如图21；6） 防静电地线缆应与设备外壳，工作台铁架，工作灯架等良好绝缘，防止短路，搭连或破皮连接。图20 不合格 合格图214.9.2 防静电地线的检测：4.9.2.1 防静电地线与设备地的绝缘检测（防静电地为单独接地时）：将待检线体上的腕带取下（防止金属链搭接在设备上而与设备地连接），再将连接到线体的防静

18、电地线与接地端子断开，用万用表电阻档测量线体任意一处的防静电接地端与设备地线任意一处，表头应显示开路状态，如果显示短路，说明防静电地线与设备地线连接在一起，需要立即进行排查，使防静电地线和设备地线隔离。防静电地线与接地端子之间阻值应小于10。4.9.2.2 防静电测试点与大地间的阻值检测：使用接地电阻测试仪，将被测地极用导线连接仪器端子E，在相同直线方向20m、40m潮湿土地处分别插入电位探测针及电流探测针，各接于仪器端子PC，设置“倍率盘”倍数，自缓至快摇动手柄，达到约120r/min，调整“测量标度盘”，指针位于零时，读数乘以倍率标度，即为接地电阻。按以上方式反复测试3-5次，取平均值。接

19、地极与大地之间阻值应小于1。4.10 防静电地面4.10.1 防静电现浇水磨石地面主要指标要求：表面电阻1051010,两极间距900mm；系统电阻5.0X104 1X109;4.10.2 防静电聚氯乙烯（PVC）地面主要指标要求：导静电型要求表面和系统电阻低于1.0X106耗散静电型要求表面和系统电阻1.0X106 1X1094.10.3 防静电聚氨酯（环氧树脂）自流平地面主要指标要求：表面电阻1X1051X1010,两极间距900mm1000mm；系统电阻5.0X104 1X109;4.10.4 防静电活动地面主要指标要求：表面电阻1X1051X1010,两极间距900mm1000mm；导

20、静电型要求系统电阻低于1.0X106耗散静电型要求表面和系统电阻1.0X1061X109 4.11 上述测量值均要注明测试时的空气相对湿度值。5 静电的产生途径 5.1 接触分离。最常见的摩擦;5.2 电感效应。绝缘体不能够被电感生电；5.3 电容效应。只增加静电破坏的风险程度，并没有改变电荷量；5.4 压电效应 主要来源（接触分离）: 接触 + 摩擦或压力+ 分离 Contact + Friction + Separation6 决定静电量的主要因素6.1 材料（包括材料的相对性）： 静电序列表(只做大略依据适用，不能作硬标准)+ 带正电 带负电 人 玻 人 尼 铅 铝 纸 聚 镍 硬 聚

21、聚 聚 硅手 璃 发 龙 氨 铜 橡 酯 丙 乙 橡 酯 银 胶 烯 烯 胶 注1： 序列中任两物质接触后，位居前面的带正电，后面的带负电；注2： 两种物质在序列表上的位置相距越远，接触后产生的电量越大接触面积和表面粗糙情况：接触面积越大，产生的静电量越大接触面积和表面粗糙情况：接触面积越大，产生的静电量越大。6.2 接触力：接触力越大，产生的静电量越大。6.3 分离速度：分离速度越快，产生的静电量越大。6.4 环境湿度：相对湿度越高越好（>60%），但考虑腐蚀及元件氧化，折中湿度要求40%60% （即使高达90%，静电还是可能产生）。见表1。表1产生方式 10-25% RH 65-90

22、% RH在地毯上行走 35000V1500V在乙烯瓦上行走12000V250V手拿乙烯塑料袋装入器件时7000V600V坐在椅子上的工人 6000V100V在流水线工位接触聚酯塑袋时20000V1200V在操作工位与聚胺酯类接触时18000V1500V从椅子上拿起涤纶包20000V1200V带有聚氨酯泡沫的椅子18000V1500V6.5 决定静电放电速度的主要因素6.5.1 放电途径的导电性6.5.2 放电环境的相对湿度6.5.3 材料的表面湿度6.5.4 静电荷的自然中和速度 6.6 静电破坏6.6.1 静电破坏途径：1） 对静电敏感元件直接放电；2） 从静电敏感元件对外放电；间接对静电敏

23、感元件放电（EMI感应破坏）。如图22。图226.6.2 静电破坏种类： 严重损坏：完全失去功能。例如:金属熔化,短路等。 局部损坏：部分功能退化（一般局部损坏可演变为潜在损坏！） 潜在损坏：部分功能退化，使用中继续退化，直到完全失效。· 潜在损坏破坏力强大 占所有损坏的主要成分（60%80%）；· 无法及时发现，发现和证明都有一定难度；· 很难和成因挂钩，较难推动成因改正工作 暂时失效：数据电路中的功能受到干扰或数据遗失。7 静电放电控制技术依据7.1 制止静电的产生7.1.1 通过设计在产品中置入保护7.1.2 消除产生的静电7.1.3 控制放电的途径和速度7

24、.2 静电放电控制技术原理7.2.1 AntiStatic（防静电的）无静电控制a) 依据静电序列表避免采用易生静电物料；b)选择导电性较高的物料，同时兼顾放电速度；c)处理绝缘物料，增加其表面导电性。7.2.2 接地放电控制a)在处理或动ESD器件之前，必须先做好所有接地装置；b)接地物件必须有足够的导电性，但放电速度必须得到控制，不能太快或太慢（105<R<109为佳）。7.2.3 隔离/屏蔽控制a)使所有静电源远离静电敏感器件工作区（>1米/1英尺）；b)使用具有屏蔽功能的包装或盒子来运送ESD器件。7.2.4 电容阻隔控制(常用在包装材料上)7.2.5 等电位控制使用

25、导电性好的连接物，使得电位差V=0(静电仍可能存在！)7.2.6 电离中和控制使用于绝缘体或无接地物件（工具如离子风机和离子风枪）7.3 静电防护要素图23 静电敏感器件进厂检验 静电敏感器件保管存储 静电敏感器件的预处理 静电敏感器件的装配过程 静电敏感器件验收配料 静电敏感器件收、发、领、退料 静电敏感器件预加工 机芯的调试和检验 机芯中间处理过程8 静电防护工艺流程9 静电敏感作业岗位的防静电要求 9.1 ESD器件（含模块单元）检验、生产岗位防护要求:9.1.1 ESD器件检验所需桌面应铺设防静电台垫，防静电台垫必须接静电地线，仪器、仪表、设备必须安全接设备地。9.1.2 操作人员应具

26、备ESD器件的一般防护常识。9.1.3 操作人员必须佩戴防静电腕带和防静电手套（必要时戴防静电指套）。9.1.4 检查过程中必须使用ESD器件原包装进行运输与存放。9.1.5 操作人员严禁触及ESD器件的引脚，应持ESD器件的两端（塑装部分）。9.1.6 检测ESD器件时, 应从包装容器中取一块，测一块，放一块，经检测合格的器件应按原包装封装后退库。9.1.7 ESD器件加电测试时,中途不能随意插入或拔出器件。9.1.8 检测人员应熟悉ESD器件的型号、品种和主要技术要求。9.1.9 ESD器件（含模块单元）存储、保管中的防护要求:9.1.10 ESD器件应在防静电专用区内存储。9.1.11

27、操作人员应具备静电敏感器件的一般防护常识。9.1.12 ESD器件储存应使用原包装,若需更换包装,要在防静电工作台面上进行，新更换的包装必须具备防静电性能。9.1.12.1 ESD器件储存区内的敏感器件不能与非敏感器件混放在一起。9.1.12.2 ESD器件储存区内的货架应接防静电地线，在每个货架上应设有防静电标志,如图24。 a静电敏感 b静电防护图249.1.13 一般要求用ESD器件原包装标记的数量（未开封）或用目测的方法在透明的ESD器件原包装内清点数量。9.1.14 若必须用手清点数量时，操作人员必须佩带防静电腕带和防静电手套（必要时戴防静电指套），并在防静电台面上清点。9.1.15

28、 操作人员应具备ESD器件的一般防护常识。9.1.16 一般要求用ESD器件原包装标记的数量（未开封）或用目测的方法在透明的ESD器件原包装内清点数量。9.1.17 须用手清点数量时，操作人员须佩带防静电腕带和防静电手套（必要时戴防静电指套），并在防静电台上清点。9.1.18 ESD器件储存过程应使用原包装,若需更换包装,要在防静电工作台面上进行，新更换的包装必须具备防静电性能。9.1.19 禁止操作人员将ESD器件直接放在没有静电保护的台面上。9.1.20 ESD器件在收、发、领、退料过程中，均应在防静电包装中运输。9.2 ESD器件（含模块单元）在生产过程中的静电防护要求:9.2.1 ES

29、D器件在预处理过程中要在静电防护区（EPA）中进行,即:所有设备、仪表、工作台要静电接地，工作台要铺设防静电桌垫并接防静电地线。9.2.2 程序写入室环境要求：温度1727；相对湿度45%60%。9.2.3 操作人员应具备ESD器件的一般防护常识，要佩戴防静电腕带，穿着防静电工艺和防静电鞋，佩戴防静电帽。9.2.4 集成电路写入时应在防静电台面上进行，并将写入机外壳接地。9.2.5 在集成电路写入操作中,操作人员应从包装容器中取一块,操作一块.放一块,不要堆在桌面上。9.2.6 集成电路通电写入时,中途不要插入或拔出器件。9.2.7 操作人员要手持集成电路的外壳,避免直接触及集成电路的引脚。9

30、.2.8 ESD器件固定到散热器上、更换包装等也属于预处理过程。9.3 ESD器件（含模块单元）在装配过程中的静电防护要求:9.3.1 在静电敏感器件的装配过程中，操作人员必须佩带防静电腕带，穿着防静电工衣和防静电鞋，佩戴防静电帽。9.3.2 在线路板插装(含SMT)时,当采用自动插件机、贴片机、自动焊接机时，这些设备均应保护接地。自动传送线、工装板表面应采取防静电措施。9.3.3 操作人员在插装过程中,对ESD器件应持其外壳,而避免直接触及引脚。9.3.4 线路板在插装过程中,ESD器件均应在原包装内或在防静电周转盒内存放。9.3.5 已装贴有ESD器件的线路板不得裸露叠放，确需暂时叠放时必

31、须用防静电材料隔离开。9.3.6 生产过程中使用的电烙铁应可靠接地，反面检查工位应使用防静电毛刷对线路板进行清理。9.3.7 在维修带有表面贴装元器件焊接疵点时使用防静电恒温烙铁，在维修不同元件的焊接时可使用接地良好的普通烙铁。9.4 模块单元（含机芯）调试、检查过程中的防静电要求：9.4.1 机芯调试、检查过程中供电电压、输入电压不得超过额定值，要防止电源电压瞬变。9.4.2 检测人员在拿取模块单元（含机芯）时,要手持线路板的边缘部分，避免接触其元器件部分，操作过程中应尽量减少对ESD器件及组件的接触次数。9.4.3 不允许在电源接通的情况下插拔线路板,也不允许在通电情况下焊拆线路板上的ES

32、D器件。机芯调试工装、仪器仪表必须可靠接保护地，保证电源插头接触牢靠，严禁电源线出现跳火，拉弧现象。9.5 电子产品在装配、测试过程中的静电防护要求：9.5.1 含有ESD器件的线路板运输必须在防静电周转车或防静电周转箱中进行。 9.5.2 非操作人员未采取防静电措施不得用手触摸线路板。9.5.3 在装配印制板单元和连接装配印制板单元时，操作工需佩戴防静电腕带、防静电手套，穿着防静电工衣(夏季可不穿)和防静电鞋，戴防静电帽。其他工位可穿着防静电工衣(夏季可不穿)和防静电鞋，戴防静电帽。注： 夏季空气相对湿度较高（一般大于65%RH）,且员工操作时身体部位较少会接触静电敏感器件，只是小臂会触及印

33、制板和整机，经检测在夏季穿着长袖防静电工衣和穿着短袖工衣，在佩戴防静电腕带的情况下，双臂活动产生的静电压基本一致。以此，在夏季可不穿防静电工衣。如果某工位操作工的身体经常会接触到ESD器件，这个操作工须全年穿着防静电工衣。9.5.4 测试仪器仪表必须可靠接设备地，各类信号线插装牢靠，不得出现虚插，连接不实的现象，严禁电源线出现跳火，拉弧现象。9.5.5 检验、装配、测试EDS元件和电子产品需在防静电台面上进行，防静电台面须接防静电地线；电子产品在测试时须与仪器仪表等地连接，不得将仪器仪表的信号端与电子产品的地端连接处，也不得将电子产品的信号端与仪器仪表的地端相连，必要时先连接电子产品和检测仪表

34、的地端，再连接信号端，以减少损坏。9.6 EDS元件和电子产品在运输过程中静电防护要求9.6.1 检验、装配、测试EDS元件和电子产品需在防静电台面上进行，9.6.2 EDS元件和电子产品（指电子元件裸露的半成品）需用防静电袋放在防静电周转用具中进行运输。9.6.3 防静电周转车须用接地链进行接地；周转车上每层的防静电台面须将接地线连接在接地链上接地。9.6.4 各工位人员和用具的防静电接地需采用等电位接地法进行接地，不得采取串联接地的方式。10 静电防护等级分类10.1 静电敏感区域（EPA）划分a) 敏感器件的生产区域-PCBA生产线、整机生产线等。b) ESD敏感器件的前加工区域-写入室

35、，散热器装配，预成型等c) ESD敏感器件的贮存区域-元器件库房和PCBA半成品和成品库。d) ESD敏感器件的返修区域-返修区及返修工位。e) ESD敏感器件的老化区域-PCBA老化房、老化区。10.2 静电敏感区域（EPA）等级划分10.2.1 一级静电敏感区域 ：一级EPA为静电放电严格控制区域：生产加工和操作被评估为静电高风险的区域以及静电高敏感级别的产品的制造区应划分为一级EPA。一般单板加工、单板测试、单板模块组装区域，高频度、大量使用静电敏感级别高产品的极关键器件的产品制造区应定义为一级EPA。一级EPA采用全面严格的静电防护措施。我公司主要的一级静电敏感区域在元器件库房、写入室

36、、静电敏感器件IQC检验区。10.2.2 二级静电敏感区域：涉及静电敏感物料的各个生产操作区域定义一级静电敏感区域以外的区域，必须实施最基本的静电放电控制措施。我公司的二级静电敏感区域有PCBA生产线和PCBA返修区等。整机的装配生产线、PCBA老化房，整机完检，整机返修区，OQC检验机内装配区域。10.2.3 非静电敏感区域：不接触静电敏感器件的生产区域和库房。我公司主要是整机老化和包装工序，各类结构件仓库；整机成品库。10.2.4 一级静电敏感区域静电电压防护要求：一级静电敏感区域不高于100V。10.2.5 二级静电敏感区域静电电压防护要求：二级静电敏感区域不高于500V。10.3 静电

37、敏感区域（EPA）中人员要求： 按静电敏感作业岗位的防静电要求11 潮湿敏感器件11.1 潮湿敏感器件等级分类，如表2。表2潮湿分级开封后在3060%RH或按规定的温湿度条件下再次烘干前可暴露的时间1温度30湿度85%RH条件下，没有时间限制21年2a4周3168小时472小时548小时5a24小时6在使用前必须进行干燥处理，干燥后必须在包装上注明规格时限11.2 潮湿敏感器件等级划分11.2.1 我公司现用各种BGA和QFP,SOP等封装形式的托盘状包装的集成电路器件为3级，其他卷盘包装类的片式集成电路器件为2a或3级。11.2.2 其余的片式元件为2级。11.2.3 潮湿敏感器件的包装标示

38、，如图25。 图2511.2.4 潮湿敏感器件的警告标示，如图26。湿敏器件标示该湿敏器件保管要求该湿敏元件等级为3级图2611.2.5 湿敏元件包装内的吸潮程度色别卡11.2.5.1 六环色别卡，如图27。图2711.2.5.2 三环色别卡，如图28。 图2811.2.5.3 打开湿敏元件包装后发现色别卡10%的色环颜色变化，需采取防潮措施保管元件或立即进行SMT操作，如果30%或以上色环变色，进行SMT工序前需要进行烘烤。11.3 潮湿敏感器件的烘干时间划分11.3.1 拆除包装的元器件如在表2中的时间内没有进行SMT制程，必须进行烘干处理、11.3.2 潮湿敏感器件的烘干时间划分a) 包

39、装厚度小于或等于1.4mm：对于2a5a 级别，125°C的烘焙时间范围414小时，或 40°C烘焙59天。b) 包装厚度小于或等于2.0mm：对于2a 5a 级别，125°C的烘焙时间范围1848小时，或40°C烘焙2168天。c) 包装厚度小于或等于4.0mm：对于2a 5a 级别，125°C的烘焙时间范围48小时，或40°C烘焙67或68天。拆除高温tray盘可以进行125烘烤低温编带只能进行40烘烤高温烘烤前要将纸去出11.3.3 烘烤的要求图2911.3.3.1 一般装在高温料盘（如高温tray盘）里面的器件都可以在125温

40、度下进行烘烤，除非厂商特殊注明了温度。11.3.3.2 装在低温料盘（如低温tray盘、管筒、编带）内的器件其烘烤温度不能高于40，否则料盘会受到高温损坏。11.3.3.3 125高温烘烤以前要把纸、塑料袋、盒等物品拿掉。 防潮袋干燥剂湿度指示卡泡沫料盘11.3.3.4 烘烤完成后需及时同干燥剂、湿度指示卡抽真空包装，料盘、防潮袋及泡沫需采用防静电材料。如图30。图3011.3.3.5 为防止烘烤产生的静电造成损坏，在烘烤操作时必须穿好防静电服、戴好防静电帽、佩戴防静电腕带或手套，穿防静电鞋。11.4 潮湿敏感器件的仓储要求：11.4.1 各种片式电路不仅属于静电敏感器件也属于潮湿敏感器件，而

41、且静电和潮湿防护等级都比较高，因此需根据生产计划合理控制发放时间。已开启内外包装的元器件，如不发放，需及时存放在干燥箱内。各种BGA和QFP,SOP等封装形式的托盘状包装的元器件在开启内包装后超过半天（4小时）以上，其他卷盘状编带包装的元器件在开启内包装后超过一天（24小时）以上时间需及时将元器件存放在干燥箱内。对拆包装后发放的片式电路须记录发放时间和数量，以控制暴露在空气中的时间，进行必要的处理。11.4.2 各种BGA和QFP,SOP等封装形式的潮湿敏感等级较高的片式电路器件优先使用干燥箱保存。11.4.3 干燥箱的设置在温度25°C±5°C、湿度低于10%R

42、H。干燥箱需可靠接地。干燥箱的温湿度表要每年检定一次。11.4.4 如果盘状（托板）器件内包装材料完好，在取出相应数量后，不发放的器件可以用抽真空的方式保存，并将这种再次抽真空的器件放置在铺有防静电胶垫的货架上。AA附录A （规范性附录）静电检测要求及方法表A.1分类工艺要求检测方法频度责任人记录表防静电腕带检测内接安全电阻1X106±20%用万用表欧姆挡（x1M）测量防静电腕带的地线插头与腕带金属部分之间的电阻值应为1M ±10%入厂全检ESD检测员腕带戴于手上，将另一端插入测试仪的测试孔中，用另一只手按下测试仪的导电板，同时抖动腕带线，“绿灯”亮表示合格；“红灯”亮表示

43、不合格，须更换；“绿灯”时亮时灭或红绿灯交替闪亮表示腕带线接触不良，也须更换每天早晨上班前和午饭后上班前操作人员静电腕带检查表防静电工衣(帽、套袖)检测表面电阻：1X1061X1010选取2个衣袖、前襟两侧、后背共5点（头巾、帽、套袖选2点即可）用电阻测试仪（测试仪导轨与导电纤维垂直接触）分别检测其表面电阻在1X106 1X1010之间1次/3月ESD检测员静电工衣检查表电动螺刀接地检测地线检查010拿一般万用表，将电表档位切换到欧姆*10的位置，将电表红、黑表针接触进行归零调整，红色表针接触电动螺刀电源线接地端，黑色表笔接触电动螺刀头帽内侧，稍微施力，表针大幅摆动，显示阻值在010，表示接地正常，若指针不动或阻值远大于10，即表示接地不正