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文档简介

1、徕卡半导体显微镜系统简介: 金像显微镜主要用来看光刻线路缺陷,有无短路,断路,污染等!一般都要配置电动鼻轮、waferload等,选什么规格的显微镜主要取决于晶元的尺寸,线宽产品参数:1、物境倍数:5X 10X 20X 50X 100X 可选1.25X、2.5X、150X2、目镜倍数:10X3、视场数:20、224、物镜转盘:6孔5、观察功能:明场、暗场、偏光、微分干涉6、光源:内置12V 100W透、反射光源智能光强变化的控制照明方式7、可扩展性:可配图像分析系统(数码相机、摄像头、图像分析软件徕卡半导体显微镜: 徕卡正置正置金相显微镜DM6M 徕卡研究级正置金相显微镜DM4M德国进口徕卡研

2、究级正置金相显微镜_莱卡LeicaDM6M1、主机镜体:研究级全自动智能数字式正置金相显微镜,原装进口机座带液晶显示屏显示显微镜各个部件的工作状态和参数,并且可触摸控制显微镜的操作。可以控制物镜转换,明场、暗场转换,显微镜光强、视场光阑,孔径光阑调整。各种功能除按键控制外,还可由计算机控制操作,并自动在不同倍数物镜下拍的照片中加相应倍数标尺。能自动记忆在不同物镜下和不同观察方式下最佳的光强、观阑大小及聚光镜的组合,自动恢复到位,操作简单快速。2、复消色差光路,整体光路支持25mm视野直径。3、6孔位电动物镜转盘,放大倍数12.5X-500X;不低于平场半复消色差物镜,并带有FL标识放大倍数为:

3、1.25X/0.04,5X/0.15,10X/0.30,20X/0.50,50X/0.80。配置32mm螺纹孔径物镜,保证最大通光量,物镜完全编码,自动识别相应的物镜标尺和倍数信息。4、物镜转盘:不少于6孔的自动物镜转盘。物镜转盘带有编码,并可以自动物镜识别,物镜转换可以按键控制、可以计算机控制。物镜转换时显微镜标尺自动调整,测量不会出错。5、2齿轮高精度电动调焦系统,精度可达0.015um6、可实现全自动明场、暗场、偏光、微分干涉、荧光观察方式的转换。7、观察模块功能盘: 不少于4位的自动功能转换盘。8、照明装置:光强色温自动恒定,柯勒式照明,卤素灯为12v100w,有效使用寿命在5000小

4、时以上。9、显微镜光强、光阑:显微镜自动光强和光阑调整功能,物镜转换时,显微镜会根据不同的物镜自动调整光强和光阑。明场、暗场转换时显微镜也会自动调整光强和光阑,自动使显微镜按照设定的最佳状态工作10、能自动记忆在不同物镜下和不同观察方式下最佳的光强、光阑大小的组合,自动恢复到位,操作简单快速。徕卡研究级半自动正置金相显微镜_莱卡LeicaDM4 M主机镜体:研究级半自动智能数字式正置金相显微镜,原装进口。复消色差光路,整体光路支持25mm视野直径。3、6位编码物镜转盘,配置32mm直径工业物镜(确保最大通光量),放大倍数25x-1000x;2.5X,5X,10X,20X,50X,100X物镜。

5、机械载物台:配置大型手动桥式载物台,表面陶瓷高科技涂层,内置防下滑可调节载物台高度定位器,保护样品和物镜。承重大于10KG,移动范围:76mmX50mm手动3叠式载物台,6个位数符合人体工学设计的可编程按钮。LED高分辨率照明光源,工作寿命大于30000小时,LED 照明有助于结果的可复制, 无论您以明场 (BF)、高动态暗场 (HDF)、微分干涉相衬 (DIC)、荧光 (FL) 还是偏振 (POL) 状态工作。选择一种或多种可用的相衬观察方法,在样品上检测出更多的瑕疵和缺陷。相衬模式明场、暗场、微分干涉相衬、偏振、荧光。机座带液晶显示屏显示显微镜各部件工作状态、参数。全自动孔径光栏和视场光栏,自动光强管理。能自动记忆在

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