T∕CEMIA 005-2018 光伏单晶硅生长用石英坩埚生产规范

1、T/CEMLk 0052018ICS 27.160F 12标准T/CEM1A 0052018光伏单晶硅生长用石英紺锅生产规范Quartz crucible manufacluring practices for photovoltaic monosilicongrowth2018-03-01 发布2018-05-01 实施中国电子材料行业协会发布本标准按照GB T 1.1 2009给出的规则起筚.请i t惹本文件的莱蜂内容1能涉及V利本文件的发布机构不承担识別这些专利的责任冬恤准由屮wiurH料行收协会提出并本标准P恕起 峰妙荣占欧品科技股份行限公河、锦州佑典1英科技冇限公司.汀苏午水石英 材

2、料股份有限公司./*本你准参加起坊单位：汀阼中4 兴电子M料有限公同、河北硕日石英才料科技冇限公nh宁波宝斯达坩埚保温制品仃阳公司、宁晋品 公司，江阴圪源石英制品冇限公司.常州裕能石英料技钉 限公南通路傅石英材料股份冇限公司.右Z9本标准主要起孕人：祝立君、陈硅.于宏字杜兴林，李宗鲆，苏光都.王文庆.乇钤伟， 范玉华.贾违亮、徐晓军.朱旦、赵振生、司继成/句T/CEMIA 0052018下列文件对于本.件。凡是不注日期0污声/业物C存|F工业固体ji +照明设jJ争厂房屬 场所有I谜咏监护gV作场所，GB 8978 GB 12348 GB 16297 GB 1859】 GB 1859! GB

3、5(X)J GB 5OO7| GBZ 2.llGBZ 1881 GBZ T lJTJ职b.81期的的版本适用f本文标乂9於作外磷叹卢傳权怀淮 光伏单晶硅生长用石英坩埚生产规范1范困本标准规定了光单晶砝生长用石英坩堝从业人员.生产设备，原辅材料，生产工艺.作业环埔及产 品质世赞控等，本紅准适用于光伏4品硅生长用石英坩埚生产过柷，2規范性引用文件3术语和定义电弧熔制 arc fusion利用商温电弧熔融石英砂P外表面处理 outer surface treatment纠用研磨器苒或外力冲di作用去除石英坩埘外表面未完全熔融石英砂的过程.3.3切边倒梭 cutting und chamfering利

4、用切割工具对石英坩埘毛边进行切断.并对切刻断血进行倒佑处的过程化学清洗 chemical cleaning利用化学药液侵蚀石英坩埚内、外衣面.去除内.外衣面杂质的过枵.涂层 coating在石英坩埚内窄或外壁涂覆特种材料的过程，T/CEM1A 00520184从业入员 4.1职业健摩4.2岗位技能应按照GBZ 188的聪求.对从收人员进U岗前.W中.离岗职业链康体怜.同时配备符合费求的个 体防护用品.保证从业人讨符ft职也健讲安全管理要求.从业人员应通过级安仝教灯能培训.经考挟合格后方可上岗化卞清洗及涂层工序人员应待有屮华人圮共和冈特忡作业操作Q 乂%5生产设备熔制设备hV H有电极汗闭.升降

5、，旋转，冷却.弧货，除尘等装货外表面处理设备切边倒棱设备兑具有对巾、切断、內倒角、外倒角等功能.化学清洗设备5.4.1手动化学清洗设备应具有化学药液浸沲池.箅气收集处理.废水处押芩装5.4.2自动化学洗净设备库七七标准下载l,kH有产品自动K.输.药液A动冲洗.芩气收篥处押.纯水废水处押等装酋.5.5涂层设备WIKI加热用涂以等装置.6原辅材料6.1石英砂fi奂砂杂质元承含W应符合表丨的規定位雷瓦隶名称铝AIcMgMBo铬OrCu铁Fc保NitfMn钾Li钠N押K格Zr钛Ti猪Oe曲P硼u内铤1X51.20.10.10J0.1o.s0,10.10.80.80.80.52.02.00J0.1外S

6、I8JJ,0.10.10J0.10.50.10,11,01.0L00.52.02.00J0.1表1石英砂杂质元素含量注 1. ff .tt.W 3 W石大T2.o.注2,行英砂杂质元索中所不怕.6.2石墨电极应符合以卩要求，）体积密：1.65 g cnv 1）电阻率:C8.5 /if） nu c灰分：50好g g*d）抗压强度：彡35 MPa: ）杭折强度：15 MPa.6.3化学药液.涂层原料6.3.1化学药液试刑纯嗖99.5） %.6.3.2涂层原料试利纯度彡99.9 %,6.4纯水7生产工艺7.1生产工艺流程6电祖率為16 MO H奂坩埚生产T艺流柠如困1所示.T/CEM1A 00520

7、18T/CEMIA 0052018餘展库七七 标准下载图1石英坩埚生芝流程7.2生产过程7.2.1熔制7.2.1,1 上利用离屢，力成型裝sDJ状和7.2.1.2 埚电熔制热源.对的石溢熔7.2.1.3埚邋出7.2.2 外表面坩埚端口朗下英砂./平台.利用研磨a喷砂设农完全熔融的石对坩埚进行切断.再利用7.2.3切边倒梭利用切边倒棱设备的对中装董对規iM!lijiuiini內.外倒角装货.按要求对坩埚切断端面进行倒角处捭、7.2.4化学清洗 7.2.4.1手动瀆洗将坩埚浸人盛放规定浓度化卞药液的浸孢池内.規定时间内取出对坩埚内、外表面及端口进行纯 水清洗.7.2.4.2自动滑洗将坩祸放a于自动

8、进料传输平台按相应工艺畚数讨设备进行设然后对坩埚内、外表面及蹦门 进行化学清洗.7.2.5涂层 7.2.5.1手动涂层人工利用手动涂层装将配比好的特种忖料涂覆在坩埚内表面和（或 外表面上7.2.5.2自动涂层按相应工艺参数对没备进行设S.自动将配比好的特种材枓涂覆在坩埚内农面和（或）外衣面匕.用洁净的防静电料7.2.6.2外包装将完成内包位霣.J并附合格证%。坩人内嵌缓冲保护装的绝初|将坩埚佶息标箱的囲定标识賓 8作业环境8.1.1总则企业应J声，粉尘、废3ir-作业场听哚8.1.2洁净度应符合表2勿02作活净度，温度和湿度范7.2.6包装 7.2.6.1内包装工序名称扣对泔度RH %淋坯电K

9、熔M10W外表曲处if新风初效处理來3310-80切边倒後新风初效处理10-80化，淸洗S符合GB 50073中现定的16 3310-80S符合GB 50073中規定的N720381050内包装S符合GB 50073中規定的M720 3810 50外包装新风初效灶璆20 3810 508.13照度应符合GB 50034的規定.5T/CEMIA 0052018T/CEMIA 00520188.1.4通风換气作收场听应通风良好.设K适茛的局部排风除尘没施扣新风补焓设施.位保证毎人不小于:()m /h 的新风蘆8.1.5作业场所噪庳应符合GHZ T 189.8的規定.8.1.6粉尘应符合2.1的规8

10、.1.7康弃物排放8J.7.1废水06生产过R屮产生的废水经过处理后的排放标准应978及相砬的地方法律法规的规定，方法律法規的规定.8.1.7.2 废气生产过程中产生的庞气经过处理后的檐放杯准应符合GB 16297及相 8.1.7.3厂界隕声厂界噪声戍符合GB 12348及相应的地方法律法规的規定.8.1.7.4固体废物生产过程屮产生的固体废物的收集.处8应符合；B 18599及相应的地方法律法规的规定 8J.7.5危险废物生产过稈中产生的吐险废物的符合GB 18597及相应的地方法律法规的蚬定.8.2管理要求8.2.18.2.28.2.38.2.48.2.5作4k现场应建立管理W度.设K人员

11、专用安个确提示.禁止体识. 作业现场的设备及器物兑采取定W宵理.摆放整人员.产品进出净化室应使用专用通道.工9办用品.在线原辅M料，产品应采取防护措施.避免受到污染，0现场操作人员应适宜的失部.呼吸器宫.眼面部、f部.足部9产品质管控 9.1总则成对行英坩埚的质特性ft生产过权进行监控.包括下列内容:)原辅材料的进r检验：b半成品的过程监视扣測tt:O 敁终产品的监视和测景d)保待监视和测W记录9.2原辅材料9.2.1原辅材料进厂IG.按规定进行理化指标.外观尺寸，包装.规挤.数城等检验.检验合格后人啄. 9.2.2经检验判定为不合格的产品.应记礅不合格的有关数据.并对其标识瞞离.交相关部门处

12、敦9.3生产过程9.3.1应编制齐丁.序作4k栴异书U4工艺参数和过程黎求进行觇记9.3.2十产过程中专人进行监督检ft.发现问题应采取纠正，预防措施 9.4.1制定坩埚的接收准则和检_|5书明确检测点.检骑賴半，抽验力案.检測项目.检渕方 法.押別依据.使用的监视和測番设备等内9.4.2熔制人员应对完成熔制后的坩埚外初检，9.4.3在切边倒梭I：序决对坩埚进行首件检验.即对品或调整規格后切割的第-R坩埚进行检 验-检验合格的坩埚戍送交检验部门进行二次检验二次玲验_后#行批盪生产.9.4.4批W生产的坩埚应依据检验标准付坩埚外径，高度，妒厚外观质tt进行检验.裣验 合格后转人T道工序不合格品按不合格品柠制程序处W.9.4.5包装前应对坩埚涂层质绝.外现质S进行再次检验.9.4.6包装后应对包装质析进行宏现检验.9.5记彔 9.5.1坩埚生产过稈的监视扣測记录中应农叫产品昆否己按现定通过了检验.并经授权检验人员确 认后有效.tt记蛾进行整理.填写id录唯一编码的归朽濟中.以备5索,8103120 VIKU3/1W体标准光伏单晶硅生长用石英坩埚生产规范T CEMIA 005- 2018中W坏准出版It出版发行 北以市明阳区和平甲西街中2 9(100029) 城K :里河北