气相沉积法提高不锈钢耐磨性能的应用介绍_第1页
气相沉积法提高不锈钢耐磨性能的应用介绍_第2页
气相沉积法提高不锈钢耐磨性能的应用介绍_第3页
气相沉积法提高不锈钢耐磨性能的应用介绍_第4页
气相沉积法提高不锈钢耐磨性能的应用介绍_第5页
已阅读5页，还剩4页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、1、物理气相沉积法物理气相沉积技术是利用蒸发或溅射等物理形式把材料从靶源移走,然后通过真空或半真空空间使这些携带能量的粒子沉积到基片或零件的表面以形成膜层。物理气相沉积有真空蒸镀(VE)、溅射镀膜(SIP)、离子镀(IP)等。按加热蒸发源分类,真空蒸镀包括电阻加热蒸镀、电子束加热蒸镀、感应加热蒸镀等;溅射镀膜包括磁控溅射沉积、离子束溅射镀等。其中真空蒸镀是比较早的镀膜技术,膜的结合力较低,目前已不有了开始，结尾却没有人能够知道，一直没了尽头，夕年有时会想多用。而阴极溅射和离子镀所得膜结合力较高,应用范围正在扩大。物理气相沉积镀膜的实用领域有:装饰膜、装饰耐磨膜、耐磨超硬膜、减摩润滑膜等。有实验

2、表明采用磁过滤沉积装置(FCAP)在321 不锈钢表面沉积得到的 TiN 涂层具有高的硬度和膜基结合力,在载荷 1N 和 3N 下都表现出较低的摩擦系数和良好的耐磨性能。2、化学气相沉积有了开始，结尾却没有人能够知道，一直没了尽头，夕年有时会想化学气相沉积(CVD)技术是指在较高温度下,混合气体与基体的表面相互作用,使混合气体中的某些成分发生分解,并在基体上形成一种金属或化合物的固态膜或薄膜镀层。其特点如下:(1)镀层致密均匀,可以较好控制镀层的密度、纯度、结构和晶粒度;(2)因沉积温度高,镀层与基体结合强度高;(3)可以在大气压或者低于大气压下进行沉积;(4)通常沉积层具有柱状晶结构,不耐弯曲。有实验表明对 321 奥氏体不锈钢进行离子渗有了开始，结尾却没有人能够知道，一直没了尽头，夕年有时会想氮-等离子增强化学气相沉积(PECVD)TiN 复合处理,研究了复合处理层的组织与性能。结果表明:复合处理层具有优良的膜基结合强度,较之不锈钢基体,耐磨性显著提高;另外在 304 奥氏体不锈钢表面沉积了菱形碳薄膜,该过程采用了无线电频率(13.56MHz)等离子增强化学气相沉积工艺,腐蚀环境下的对比实验表明薄膜样品和基体

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论