软板薄膜溅镀轮设备

1、VTS 軟板薄膜濺鍍輪設備軟板薄膜濺鍍輪設備VTSs 軟板薄膜濺鍍滾輪系統設備可依據客戶個別規格需求轉換設計為工滾輪系統設備可依據客戶個別規格需求轉換設計為工業製品業製品 .呈現在這份手冊中這套系統呈現在這份手冊中這套系統, 讓使用者能使用現行科技元件研發程序讓使用者能使用現行科技元件研發程序, 進行進行生產生產.VTSs 多層高真空網狀多層高真空網狀/滾輪系統設備設計為鍍滾輪系統設備設計為鍍 Polyimide Film, Mylar, foil 和其他薄膜塑膠或金屬材料可以儲存在連續捲狀滾輪型態和其他薄膜塑膠或金屬材料可以儲存在連續捲狀滾輪型態. 典型的製程在高真空槍膛含括濺鍍源頭典型的製

2、程在高真空槍膛含括濺鍍源頭, 電子光束槍電子光束槍, 熱源熱源, 基板溫度基板溫度, 離子離子束源與電漿製程條束源與電漿製程條.VTS 軟板薄膜濺鍍滾輪設備軟板薄膜濺鍍滾輪設備 介介 紹紹 AWC-550 濺鍍滾輪設備濺鍍滾輪設備 產產 品品 訊訊 息息 技技 術術使用使用 AWC-550, 金屬將被儲存在一端薄膜金屬將被儲存在一端薄膜, 以氬氣與活躍氣體導入形成高比率離子光束製作多層膜以氬氣與活躍氣體導入形成高比率離子光束製作多層膜. 設設 備備 技技 術術多層多層-內膛內膛-系統由線圈系統由線圈, 預處理預處理, 電鍍電鍍, 中間即筒中間即筒在電鍍過程中在電鍍過程中, 有一個電鍍圓桶做為冷

3、卻薄膜用有一個電鍍圓桶做為冷卻薄膜用 電鍍圓桶有冷卻電鍍圓桶有冷卻/加熱配備加熱配備即筒設備為渦輪組成可縮短即筒下壓即筒設備為渦輪組成可縮短即筒下壓 用離子光束預先處理用離子光束預先處理多於多於4組合乎標準組合乎標準DC 磁電管做為金屬漸鍍過程磁電管做為金屬漸鍍過程使用使用擁有擁有3個驅動馬達的電子控制捲線系統個驅動馬達的電子控制捲線系統技技 術術 資資 料料基基 板板 材材 料料 塑塑 膠膠 薄薄 膜膜 (PET, PI, etc.)滾輪尺寸滾輪尺寸 最大最大. 380mm寬度寬度 up to 550 mm 厚厚 度度 25 to 200薄膜速度薄膜速度 0.1 to 5 M/min 線線

4、性性 離離 子子 光光 束束 產產 品品 訊訊 息息 010203040506070010203040506070Current Density (mA/Cm2)Probe Position (Cm) 120 sccm 80 sccm 40 sccmVTS 線性離子光束特性線性離子光束特性 / 優點優點沒有極板網細絲沒有極板網細絲 具生產力具生產力, 低需求維護低需求維護, 無損耗無損耗, 低成本低成本氣體相容反應氣體相容反應 - I.e.100% 低溫氧氣低溫氧氣磁電管運作壓力磁電管運作壓力 (0.1-5mTorr)尺寸大小可自訂尺寸大小可自訂無需多層電力來源無需多層電力來源 容易整合完成容

5、易整合完成高能量高能量高電流密度高電流密度光束一致穩定性光束一致穩定性 Current Density Distribution Profile DC 磁電管濺鍍來源磁電管濺鍍來源 產產 品品 訊訊 息息 468101214161820220.40.60.81.01.21.41.61.82.02.2Cu Thickness ( )Power (Kw)Power vs Deposition RatePosition vs Deposition ProfileProfile01020304050600500100015002000250030003500Cu Thickness ( )Positi

6、on (Cm)/min VTS 線性濺度來園特徵線性濺度來園特徵 / 優點優點具生產力具生產力, , 低需求維護低需求維護, , 無損耗無損耗, , 低成本低成本低溫低溫磁電管運作壓力磁電管運作壓力 (0.8- 5mTorr)尺寸大小可自訂尺寸大小可自訂高電力相容性高電力相容性高儲存率高儲存率電鍍一致穩定性電鍍一致穩定性PI film聯繫層儲存預處理電鍍成形Web coating FCCL 生 產 製 程Fine PitchFine PitchPolyimide Film Copper VTS 的的 FCCL 技術資料技術資料 VTS 的的 FCCL 技術資料技術資料 010161017101

7、80102030405060708090Gas CGas AGas B Wetting angle ()Ion dose ( /cm2 )0101610171018405060708090Gas CGas BGas A Surface Energy ( mN/m )Ion Dose ( /cm2 )使用不同劑量的離子光束照射使用不同劑量的離子光束照射 polyimide 乾燥角度分析圖乾燥角度分析圖使用不同劑量的離子光束照射使用不同劑量的離子光束照射 polyimide 表面能量分析圖表面能量分析圖以以ATEC 線性離子光束製作線性離子光束製作Polyimide薄膜表面修飾薄膜表面修飾 010

8、1610171018020406080 Wetting angle ()Ion Dose (/cm2) VTS 的的 FCCL 技術資料技術資料 0.00.10.20.30.40.50.60.70.80.9Gas CGas BGas A Adhesion strength ( kg/cm )使用離子光束照射使用離子光束照射 polyimide以不同離子流量以不同離子流量 做乾燥角度分析圖做乾燥角度分析圖 使用不同的氣體經由離子光束照射分析黏膠強度使用不同的氣體經由離子光束照射分析黏膠強度Low Current DensityHigh Current Density以以ATEC 線性離子光束製作

9、線性離子光束製作Polyimide薄膜表面修飾薄膜表面修飾 VTS 的的 FCCL 技術資料技術資料 PMDAODA 的重複的重複聚合單元概要圖示聚合單元概要圖示.經高反迴旋後經高反迴旋後, 收集收集 PMDA-ODA polyimide對O 1s, N 1s, and C 1s的的XPS頻譜 結合能結合能 (eV) 結合能結合能 (eV) 經線性離子光束照射後經線性離子光束照射後,收集收集 PMDA-ODA polyimide對O 1s, N 1s, and C 1s的的XPS頻譜 使用離子光束修飾使用離子光束修飾 polyimide薄膜的薄膜的 XPS 資料資料 VTS 的的 FCCL 技

10、術資料技術資料 使用離子光束修飾使用離子光束修飾 polyimide polyimide薄膜的薄膜的 SAM SAM 資料資料By Gas A + C By Gas ABy Gas CRaw Film VTS 的的 FCCL 技術資料技術資料 1E161E170.20.30.40.50.60.70.8Peel Strength (Kgf/Cm)Ion Doses (Dose/Cm2) High Current Density Low Current Density不同劑量的離子照射的剝璃強度不同劑量的離子照射的剝璃強度1E161E170.20.30.40.50.60.70.8Peel Stre

11、ngth (Kgf/Cm)Ion Doses (Dose/Cm2) Gas C Gas A不同劑量的離子照射的剝璃強度不同劑量的離子照射的剝璃強度離子光源對離子光源對 Polyimide 薄膜的表面修飾薄膜的表面修飾 VTS 的的 FCCL 技術資料技術資料 1E161E170.050.100.150.200.250.300.35Peel Strength (Kgf/Cm)Ion Doses (Dose/Cm2)銅銅 的的 厚厚 度度 & 剝剝 離離 強強 度度 f/024681012141618200.00.20.40.60.81.01.2Peel Strength ( )Cu Th

12、ickness ( )糾糾 正正 測測 試試 (150, 168h)不同劑量的離子照射的剝璃強度不同劑量的離子照射的剝璃強度 By Gas A + CBy Gas CPe e l Stre n g th01 .20 .1 50 .30 .4 50 .60 .7 50 .91 .0 5Stress (kgf/cm) 01 5 02 04 06 08 01 0 01 2 01 4 0Stro k e (m m ) 1234Pe e l Stre n g th01 .20 .1 50 .30 .4 50 .60 .7 50 .91 .0 5Stress (kgf/cm) 01 5 02 04 06

13、08 01 0 01 2 01 4 0Stro k e (m m ) 123Pe e l Stre n g th01 .20 .1 50 .30 .4 50 .60 .7 50 .91 .0 5Stress (kgf/cm) 01 5 02 04 06 08 01 0 01 2 01 4 0Stro k e (m m ) 123測測 試試 條條 件件 :樣品寬度樣品寬度 : 3 樣品位置樣品位置 : MD CPI 厚度厚度 : 38 銅的厚度銅的厚度 : 9 剝離模式剝離模式 : 垂直垂直 (90)剝離速度剝離速度 : 50 / min Mean : 0.80 kgf/cm 常常 溫溫 狀狀 況況Mean : 0. 78 kgf/cmHCL HCL 測測 試試KOH KOH 測測 試試Mean : 0.79 kgf/cm化化 學學 測測 試試 VTS 的的 FCCL 技術資料技術資料 By Gas ABy Gas A + CBy Gas C 結結 論論VTS 的網狀的網狀 / 滾輪系統滾輪系統 : 發展中科技目前進步水準發展中科技目前進步水準VTS 的線性離子光束的線性離子光束 : 高流量密度高流量密度 光束一致穩定光束一致穩定 尺寸大小可自訂尺寸大小可自訂V