镭刻机操作指导书-w0421

1、福建中晶科技有限公司文件编号文件名称镭刻机操作指导书版本/版次A0制(修)订日期2016-4-22页码/页数 1 /6一、 目的指导镭刻作业员正确操作15035镭刻机二、 适应范围本公司2英寸、4英寸PSS三、 操作规程1、设备开机、关机找对应设备工程师操作2、启动镭刻软件“160328下上网路（直式）”3、登陆：编号和密码由管理员提供4、点击“归原点”，让各轴的原点自动归零页码/页数 2 / 65、把生产制令文件放入LMdata文件夹：6、输入“制令号码”并按回车键一次。此号码须与放入LMdata的生产制令文件名相同（不带文件后缀）。出现提示对话框，点击“确认”。7、核对自动读取的“客户名称

2、”、“待打印号码”、“起始流水号”、“结束流水号”是否正确。此处的“待打印号码”是即将第一个打印的号码，“目前印码”是最近一个已经打印的号码。页码/页数 3 / 68、上料和放置收料盒：a、上料前，确认wafer平边全部落在料盒底部；b、料盒箭头向上，下部卡槽卡在治具定位块上；c、上部的定位块放下，并确保治具顶部呈水平状，如有倾斜/翘起说明料盒没放好。 9、点击“自动模式”10、点击“自动运转”，机台机械手开始自动扫描料盒，扫描完成后自动开始取料打印。11、页码/页数 4/ 611、完成一盒打印后，机台响起报警声，下图中对应的料盒位按钮变成黄色背景，此时可收料和补料。收料和补料完成后，点击对应

3、料盒位按钮，可消除黄色背景。12、全部wafer打印完成后，点击“停止”和“离开”，结束执行本次制令号码：13、点击“登出”可退回登陆界面；直接点击“离开”可关闭程序离开系统。四、 注意事项1、机台出现的警报讯息被处理后，必须停止并离开本次制令文件的执行，记录待打印流水号，而后重新编辑制令文件，重新加载。新的制令文件以上述待打印流水号为起始流水号。五、 其他说明事项（一）CCD影像辨视正确与否的判断:1. 影像辨视正确的话，看到的画面应如上图所示:a. 位置补正的淡绿色的长方形要在平边的外围。b. 智能边缘(线)的绿色小方形，要在平边的中间。c. 智能边缘(圆)的绿色圆内外圈，要包住wafer

4、片。2. 如不是如此画面，但辨视显示ok，那就是设定需要做调整页码/页数 5 / 6（二）亮度正确与否的判断: 画面有经过前处理过的话，如下说明。如看到的是没有前处理过的灰阶画面，要打开前处理。开前处理方式: 游戏杆的F1 => 屏幕0 => 显示切换 => 灰阶前处理: A1. 亮度正常的画面2. 亮度太暗的画面3. 亮度太亮的画面:wafer片边缘有白色透光现象，甚至于wafer的影像只出来一部份。（三）、全自动操作主画面介绍： 页码/页数 6/ 6A.操作参数设定区：可设定想要生产的各项参数；B.显示前次已打印的流水号；C.全自动操作资讯显示区:显示连线状态及机台运转的

5、状态；D.功能按钮 自动模式：机台依据所设参数全自动运转； 打印范围错误清除：把镭射偏移的补偿值清为零，镭射打印出现laser alarm时，可以试着按此键清除； 打印明细：可查询镭射打印的明细； 使用者设定：设定使用者权限及密码； 系统设定：制程管理、参数修改记录、警报记录、登陆记录、运转记录等历史信息。制程管理底项下可查询机台维修记录； 登出：可更换使用者名称，用于换班或提升权限； 归原点：各轴归原点 离开：可关闭程序离开系统回到windows界面E.机台暂停钮：让机台的程式停止运作，但不像外部的急停按钮会去关闭伺服马达的电源及所有的输出点；F.全自动时的选择功能钮： 自动运转：开始依据所设参数自动操作，至整批wafer打印完成； 异常收料：此功能只在自动运转执行后，按下停止按钮才可以使用。依照伺服马达停留的位置决定是否会进行收料，或是需要人工手动排除； 停止：停止生产模式 离开：系统回到主画面，并关闭所有输出。如在吸片状态，按下此钮，真空会消失，要小心wafer片掉落。G.警报讯息：提供机台的警报资讯，可做单一警报的复归。鼠标连击讯息文字两次，会打开alarm列表小视窗。本