纳米电子材料综合测试系统

1、浙江大学科技创新平台购置大型贵重精密仪器设备项目可行性论证与审批表设备名称：纳米电子材料综合测试系统平台名称：纳米电子经费来源：院拔项目负责人：悻小华填表日期：2006-06-23浙江大学实验室与设备管理处制（2005年10月版）购置大型贵重精密仪器设备项目可行性论证与审批报告仪器中文名称纳米电子材料综合测试系统仪器英文名称TheIntegratedTestSystemfortheNano-ElectronicMaterial购置数量1套单价估计人民币（万元）美元（元）其它经费预算略1可供货厂商名（中英义）23仪器主要功能与应用范围本套电子材料的测试系统主要服务于新型纳米电子元件、器件的验证和

2、测试，具主要完成纳米电子材料综合电性能的测试，可应用于全自动测试纳米电子材料。第7页本套综合测试系统建立在定制的模组以及全定制的专用系统控制软件和数据提取分析软件的基础上，它主要包括：噪声测试模组（频率范围10MHz-26.5GHz;测试范围0-35dB;增益范围-20to40dB;不确定度小于0.17dB）;传输反射分析模组（频段为10MHz-20GHz;动态范围为136dB;频率分辨率1Hz;精度1ppm;功率分辨率0.01dB）;主要技术指标激励模组（频率范围250KHz-20GHz;频率分辨率0.001Hz;电平分与规格要求辨率0.01dB）;阻抗测试模组（频段为10MHz-20GHz

3、;动态范围为135dB;频率分辨率1Hz）;功率分析模组（频率范围3Hz-26.5GHz;频率精度1*10e-8;分析带宽1Hz-8MHz;灵敏度-150dB;幅度精度0.24dB）;系统控制软件、数据提取分析软件，并须由厂家提供现场安装调试服务。一.申请理由（请说明1、购置本设备的必要性；2,能利用该设备的学科；3、本校是否有同类设备，能否共享；4、如果本校已有该类设备，说明这些设备的工作情况；5、国内外供货商以及相关设备的比较）1、购置本软件的必要性该套综合测试系统可提供可编程全自动纳米电子材料电性能及其它参数的测试，系统的组成模组绝大部分来源于全定制，具备很高的测试精度和完整的测试能力，

4、该综合测试系统对进行纳米电子材料研究、突破当前一些设计的物理极限具有重要的作用。2、能利用该设备的学科电磁场与微波技术、微电子学、电路与系统等学科。3、本校是否有同类设备，能否共享本校暂未有该套测试系统。二.预计使用效率以及技术经济效益及风险预测（包括有效机时/年，服务对象，教学、科研、服务成果等）该套测试设备预计每年工作累计达8个月，服务对象为全校相关学科的教师、科研人员和研究生，用于相关学科的教学、研究，增强浙江大学纳米电子材料的教学和科研水平，使得浙江大学在纳米电子材料研究领域处于国内领先、达到国际先进水平，真正促进学校的跨越式发展，建成世界一流大学，使全校师生多出高水平成果、快出高水平

5、成果，达到显著的社会和经济效出。三.使用维护技术力量（包括管理责任人、操作人员、维修保养人员的落实、能力水平及是否需要接受专门技术培训等）管理责任人、操作人员、维修保养人员已基本落实到位，这些研究人员均为相关学科的专家，熟悉相关设备的知识和操作，但因本套用测试系统还将涉及到软件的编写、应用和分析，故须对该套测试系统进行专门的技术培训。购置提议人购置附议人1购置附议人2购置附议人3购置附议人4姓名韩希悻小华隋义泉孙琳琳赵凌云职称高工教授教授助理研究员教授方向电子工程电磁场与微波电磁场与微波集成电路设计纳米技术签名研究方向意见：该套综合测试设备以EDA软件为材料测试的主控手段，可综合分析测试模组，全自动完成纳米电子材料的相关电测试，具备很高的测试精度和完整的测试能力，对于进行纳米电子材料的研究和突破具有重要作用，建议购置