PECVD设备工序员培训手册及事故案例分析(PPT 21页)

1、PECVD工序 管理员手册来自资料搜索网() 海量资料下载提提 纲纲 1 1工序说明工序说明 2 2工作内容及要求工作内容及要求 3 3事故案例分析事故案例分析 4 4点检表及附图点检表及附图1. 工序说明工序说明$1. 1 目的目的 本工序是通过等离子化学沉积的方式在硅片表面形成氮化硅薄膜，本工序是通过等离子化学沉积的方式在硅片表面形成氮化硅薄膜，以增加表面的光吸收和减少硅片表面的载流子复合。以增加表面的光吸收和减少硅片表面的载流子复合。$1. 2 生产流程生产流程 （1）生产流程图）生产流程图去磷硅玻璃后硅片去磷硅玻璃后硅片 上片上片 预热预热 镀膜镀膜 冷却冷却 卸片卸片 转丝网印转丝网

2、印刷刷 （2）生产流程描述）生产流程描述 生产员工把装有硅片的片盒从传递窗中取出放在储存柜中，再把生产员工把装有硅片的片盒从传递窗中取出放在储存柜中，再把片盒从储存柜中取出，用吸笔吸住非扩散面放到石墨框中（扩散面向片盒从储存柜中取出，用吸笔吸住非扩散面放到石墨框中（扩散面向下）。按进料台的下）。按进料台的“进板请求进板请求”按钮把装满硅片的石墨框送入按钮把装满硅片的石墨框送入PECVD腔体内，即进行镀膜工艺。待石墨框从腔体内出来，停在出料台上时，腔体内，即进行镀膜工艺。待石墨框从腔体内出来，停在出料台上时，用真空吸笔把镀过膜的硅片吸出，放入承载盒内。用真空吸笔把镀过膜的硅片吸出，放入承载盒内。

3、$1. 3 主要设备和工具主要设备和工具 PECVD镀膜设备、石墨框、片盒、承载盒等镀膜设备、石墨框、片盒、承载盒等$1. 4 主要原辅材料主要原辅材料 去磷硅玻璃后硅片、硅烷、氨气、氮气等去磷硅玻璃后硅片、硅烷、氨气、氮气等 2.2.工作内容及要求工作内容及要求$2.1 $2.1 生产管理生产管理 （1 1）质量监控质量监控 项目内容项目内容 要求要求 镀膜的颜色镀膜的颜色 保证镀膜的颜色与对比板一致。保证镀膜的颜色与对比板一致。 检验频率检验频率 每一框电池片卸片时，检查石墨框对角线上每一框电池片卸片时，检查石墨框对角线上6 6片硅片的镀膜情况。片硅片的镀膜情况。 1. 1.如果色差片大量

4、出现，应通知工艺人员采取措施；如果色差片大量出现，应通知工艺人员采取措施； 2.6 2.6片硅片中有片硅片中有1 1片片SiNSiN膜的颜色不均一，或有膜的颜色不均一，或有1 1片的膜色与标片的膜色片的膜色与标片的膜色 不一致，则要对这一框全检，并挑出色差片，对其返工；不一致，则要对这一框全检，并挑出色差片，对其返工； 检验情况检验情况 3. 3.出现大量线痕片，应通知工艺人员采取措施。出现大量线痕片，应通知工艺人员采取措施。 4. 4.发现检查的发现检查的6 6片硅片中有片硅片中有1 1片的片的SiNSiN膜有严重的线痕，则要对这一框全膜有严重的线痕，则要对这一框全 检，并挑出有严重线痕的硅

5、片，对其返工；检，并挑出有严重线痕的硅片，对其返工； 5. 5.发现掉片，则操作员要对这一框全检，并挑出色差片；对下一框也要发现掉片，则操作员要对这一框全检，并挑出色差片；对下一框也要 全检，如果发现色差片成排出现，说明气路已堵，须开盖板进行清理全检，如果发现色差片成排出现，说明气路已堵，须开盖板进行清理 6. 6.换好石英管，排除设备故障或更改工艺后，要对第一框电池片的颜色换好石英管，排除设备故障或更改工艺后，要对第一框电池片的颜色 进行全检。进行全检。 （2）生产情况）生产情况 1.生产情况：包括本班产生合格片数、返工片数、目前返工生产情况：包括本班产生合格片数、返工片数、目前返工片状态、

6、碎片数量，物料数量等片状态、碎片数量，物料数量等; 2.工艺情况：包括工艺参数是否有所变化，氮化硅的颜色及工艺情况：包括工艺参数是否有所变化，氮化硅的颜色及均匀性；均匀性； 3.设备情况：包括设备点检记录、设备异常记录；设备情况：包括设备点检记录、设备异常记录； （3 3）5S5S管理管理 监督本工序现场卫生，提高一次清洗间工艺卫生水平。具体要求如下：监督本工序现场卫生，提高一次清洗间工艺卫生水平。具体要求如下： 项目内容项目内容 要求要求 1. 1.穿戴公司要求的工作服、帽、鞋等穿戴整齐。穿戴公司要求的工作服、帽、鞋等穿戴整齐。 个人个人 2.2.口罩须遮住鼻子及嘴巴。口罩须遮住鼻子及嘴巴。

7、 3.3.帽子须遮住前额、后脑的长头发。帽子须遮住前额、后脑的长头发。 穿戴穿戴 4. 4.外来人员进入，穿戴是否达到要求。外来人员进入，穿戴是否达到要求。 1. 1.备品备件存放区域保持洁净。备品备件存放区域保持洁净。 地面环境地面环境 2.2.石墨框存放整齐。石墨框存放整齐。 3. 3.拖地、地面无渣滓。拖地、地面无渣滓。 1. 1.生产部每班下班前十五分钟应将一次清洗间打扫干净。生产部每班下班前十五分钟应将一次清洗间打扫干净。 日常状态日常状态 2. 2.是否达到洁净度标准：是否达到洁净度标准：0.5um20000.5um900mbar”或或“1mbar” 的信号，导致腔与腔之间的阀门无

8、法打开的信号，导致腔与腔之间的阀门无法打开 解决方案解决方案：进入手动模式取出所有石墨框：进入手动模式取出所有石墨框 紧急情况紧急情况6：Load chamber：Dry pump error contactor 可能原因可能原因：1.冷却水原因冷却水原因 2.温度过高或其他人为原因导致过热保护，空气开关跳闸温度过高或其他人为原因导致过热保护，空气开关跳闸 解决方案解决方案：1.报告工程部报告工程部 2.合上空气开关并观察温度合上空气开关并观察温度紧急情况紧急情况7：下料时候石墨框无法停止：下料时候石墨框无法停止可能原因可能原因：感应器太脏：感应器太脏解决方案解决方案：清洁感应器：清洁感应器紧急情况紧急情况8：总电源无法打开：总电源无法打开可能原因可能原因：欠压保护继电器烧坏或某个急停按钮被按下：欠压保护继电器烧坏或某个急停按钮被按下