静电防护管理程序

1、作業程序修訂記錄程序名稱:靜電防護管理程序文件編號:GP10051- 049項次日期修訂內容頁數草擬（簽名）核準（簽名）修正後版本文件編號:GP10051 - 049修正版本:03靜電防護管理程序一目的:為做好工廠ESD防護，防止靜電對靜電敏感元件產生破坏，特制訂 此作業程序。二. 範圍:所有靜電敏感元件入廠 ，經拆除原包裝後，凡會直接接觸該元件 之作業區域，均須設立相關防護設施及標示，以防止該元件遭靜電破坏。 主要包括以下區域:1. VQA入料檢驗區2. 靜電敏感元件加工區3. 生產線4. 材料倉庫半導体備料區5. AI房與SMD作業區6. DC-DC生產區三. 內容:3.1防護：3.1.1

2、 接地:3.1.1.1 工廠地線功 能:(1)靜電的排除，取得低電壓(2) 保護工作人員的安全標 準:在干旱季節測定其電阻值應小於4檢測儀器:接地電阻測試儀量測方法:三電極測量法檢驗頻率:1次/3月(見附表3-1-1)草擬會簽製造物料審核品管VQA核準廠務SMD修正日期:JUL.16. 2000頁數編號:2/6文件編號:GP10051 - 049修正版本:03電源接地:電源之供應，備有電力地線，以提供設備使用時，能藉此安全地洩放靜電以及防止設備、工具漏電引發之危害。量測方法:用萬用表歐姆檔，測量各段接地線與總地線是否相通。 檢驗標準:電阻值小于等于4則填OK ,大于4則填NG。檢驗頻率:1次/

3、月，見附表3-1-2設備接地:凡檢驗儀器、加工機台、測試設備等，均須有接地裝置， 加裝接地線報警器或每月CHECK接地性，與設備維護合併。人員接地:於作業中凡會接觸 ESDS元件之人員均須佩戴1M 阻值 靜電腕環，並連接靜電地線接地線，靜電地線末端加裝地線監 視儀,防止斷線仍繼續使用，導致人員接地無效。靜電檢測:3.1.2.1 靜電壓測試(1) .檢測儀器:靜電壓測試儀(3M 709)(2) .檢測方法:步驟1.選擇量程(置RANGE於“ LO”位置)步驟2.檢查電池(置TEST於“ BATT位置),讀數須仝700 步驟3.歸零(置TEST於“ ZERO位置)步驟4.測試:由遠及近靠近被測物体

4、，當Sensor距物体約1 英寸時，此刻讀數即為測量值(3) .檢測區域:a .SMD作業區b .加工站c .VQA半導体入料檢驗區d .生產線各段e.DC-DC(4) .檢測頻度:SMD為1次/周，其它區域1次/月(5) .記錄表單:見附表 3-1-3a、3-1-3b、3-1-3c 、3-1-3d文件編號:GP10051 - 049修正版本:03表面阻抗值測試靜電桌布及靜電料盒檢測(1) .儀 器:表面阻抗測試器(2) .檢測方法:步驟1.將儀器之Sensor與被測表面接觸步驟2.按下Power綠色按鈕，LED亮點對應指數值即為 被測表面阻抗值(3) .檢測標準:a .靜電桌墊表面阻抗為 1

5、06109 PER SQUAREb .靜電料盒表面阻抗為 104109 PER SQUARE(4) .檢測頻度:1次/月(5) .處理方法:將不良品料盒及桌墊挑出報廢,良品則以下標簽標識JanFebMarAprMayJunESD檢驗合格JulAugSepOctNovDecESD檢驗合格靜電地板檢測:(1) .儀 器:表面電阻率測試器(3M 701)(2) .檢測標准:接地阻抗為 0.5M5M PER SQUARE(3) .檢測頻率:1次/月(4) .檢測區域:a. SMD作業區b. DC-DC作業區c. VQA半導体入料檢驗區(5) .記錄表單:a. “SMD防靜電地板表面電阻率檢測表”(見附

6、表3-1-4 a)b. VQA防靜電地板表面電阻率檢測表”(見附表3-1-4 b)c. DC-DC防靜電地板表面電阻率檢測表 ”(見附表3-1-4 c)文件編號:GP10051 - 049修正版本:03(6) .處理方法:量測超出標准阻抗時，將影響靜電消散速度，須立即清潔並施以導 電蠟,以降低表面阻抗。靜電海綿檢測:(1) .包裝用靜電海綿:依工程規格選定包裝靜電海綿(2) . AI或某地工作區生產過程中使用之靜電海綿，每三個月更換一次，以顏色作管理，靜電海綿進料時必須經過VQA檢測，檢測標准為:表面阻抗:小于或等于1011靜電壓 小于人員接地測試:靜電腕線:(1) .檢測儀器:靜電環測試器(

7、2) .檢測時間:每班上班時靜電鞋:進入SMD及DC-DC靜電隔間之前必、須穿好靜電衣、鞋，並且在入 口處測試靜電鞋，門禁系統自動判定靜電鞋是否合格及放行。人員接地測試儀功能檢測:對于使用頻繁之靜電環及靜電鞋測試儀應于每班上班前檢驗其功能。(1) .檢測方法:步驟1.利用人体直接接觸儀器兩輸入端測試，若儀器LOW-Fail燈亮,則儀器LOW-Fail功能OK,否則為NG ;步驟2.靜電環或靜電鞋不接觸測試輸入端測試，儀器Hl-Fail燈亮,則儀器Hl-Fail功能OK,否則為NG ;步驟3.以上兩項功能測試如全部OK,則儀器功能正常，可以測試，若兩項或其中一項功能為NG,則該儀器應立即停止使用

8、，並通知儀器保管單位，由其送儀校單位處理。(2) .檢測對象:靜電環測試儀(3) .檢測人員:由使用單位指定專人進行測試(4) .檢測時間:每班上班時(5) .記錄表單:靜電環(靜電鞋)測試儀功能檢測表”見(附表3-1-5)文件編號:GP10051 - 049修正版本:03靜電桌墊鋪設:對作業中會直接接觸靜電敏感元件的工作區域台面須鋪設靜電桌墊 並串接1M 電阻接地線；每月定期進行表面阻抗的檢測,以確保其阻值 在 1M1KM /SQUARE 之間。靜電敏感元件作業區:(1) .隔間(2) .地面鋪設防靜電地板(3) .機器設備,包括放置物品之櫥、櫃、金屬架接地(4) .工作人員要求著防靜電衣、

9、戴靜電帽、穿靜電鞋(5) .非工作人員禁止進入(6) .每月測量各區域靜電值和檢測防靜電地板的表面接地阻抗值容器:靜電敏感元件應該是在封閉的導電容器袋或容器盒內存放、運輸，放在靜電管或防靜電袋內的元件應該在封閉的導電袋或容器內存放、 運輸。除非在靜電防護工作站和只有導電袋或容器放置在接地的防靜電 表面上之後，才可打開導電袋或容器。標示:凡靜電敏感區域均須張貼或懸掛警告標示(如下圖)，以提示相關人員內部稽核:成立ESD Improvement Team負責廠內ESD教育訓練，每月進行 一次內部 ESD Audit。文件編號:GP10051 - 049修正版本:03不良處理:靜電檢測或ESD Au

10、dit過程中發現之不良，要求責任單位立即更正，無 法立即完成的，由責任單位回复對策，並由稽核人員負責追蹤對策有效性。作業者發現之不良問題，應立即通知組長，由組長解決或反應給ESD Team 成員。加工站ESD檢測表日期：溫度：濕度：ID CODE: GP-ME-0018H/SASS Y站別1234567891011121314靜電壓值站別1516171819202122232425262728靜電壓值站別2930313233343536373839404142靜電壓值站別4344454647484950515253545556靜電壓值站別5758596061626364656667686970

11、靜電壓值站別7172737475767778798081828384靜電壓值晶 體(IC)加 工站別1234567891011121314靜電壓值站別1516171819202122232425262728靜電壓值FAN加工站別1234567891011121314靜電壓值VQA站別1234567891011121314靜電壓值1. 檢測標准:靜電壓值不得超過100V2. 檢測方法:記錄該站最大靜電壓值審核:測試附表 3-2-1-b地線接地性檢測表ID CODE: GP-ME-0015檢驗方法:三電極測量法檢驗標准:測定其電阻值小于4Q檢驗頻率:1次/3月附表3-1-1電源接地檢測表段別線別日

12、期ABCD備註PRC1C2C3C4C5C6C7C8C9C10C11C31C32C33C34C35C36B1B2B3B4DC1DC2DC3DC42F加工站3F加工站檢測方法:萬用表歐姆檔，測量各段地線與總地線是否相通 檢測標准:相通填0K;反之則填NG,並備注處理方法測試: 審核:附表3-1-2SMD防靜電地板表面電阻率檢測表測試區域 : 測試日期 :溫 度: 濕 度:測試方法:在SMD區域內任意選擇24個測試點（如附圖）,用表面電阻測試儀測試各點 的表面電阻率，記下測量值測試點123456測量值測試點789101112測量值測試點131415161718測量值T測試點192021222324測

13、量值注:防靜電地板的表面電阻率在 0.5M5M 為合格。測試頻率:1次/月測試:審核ID CODE: GP-ME-0030VAQ防靜電地板表面電阻率檢測表測試區域: 測試日期:溫 度: 濕 度:測試方法:在VQA區域內任意選擇6個測試點（如附圖）,用表面電阻測試儀測試各點 的表面電阻率，記下測量值。測試點123456測量值注:防靜電地板的表面電阻率在 0.5M5M為合格測試頻率:1次/月測試 :附表3-1-4 bDC-DC防靜電地板表面電阻率檢測表測試區域:溫 度:測試方法:測試日期:濕 度:在DC-DC區域內任意選擇9個測試點（如附圖）,用表面電阻測試儀測試各點的表面電阻率，記下測量值測試點12345|6測量值 !:912a測試點7*.“一“”89測量值-111；注:防靜電地板的表面電阻