Rofin激光器使用简明说明书

1、Rofin激光器使用简明说明书控制电路板：控制电路板主要包括： 电源，主开关，保险，继电器，安全装置，电机保护开关 HV启动中的高频发生器以及高压产生单元 计算机部分包括：CPU卡，数字输入，继电器输出，脉冲坡调发生单元，一个通用的外部控制系统接口 键盘和显示（控制终端），控制终端可以装在任何其他本类型激光器电路板上面板符号说明NO.:名称功能符号Q1Main Switch机械开关连接主电源-H1Main is On信号灯，灯亮表示主电源闭合-H2HV is On信号灯，灯亮表示高压闭合-H3Shutter is closed信号灯，灯亮表示光闸关闭-H4Shutter is open信号灯，

2、灯亮表示光闸打开-S01Emergency off机械按钮，按下后，所有主接触器后的电路全部断开。除了Q1里闭合的那一部分仍然保持连通。-S1Mains off打开主接触器的按钮，取消S2操作，所有主接触器后的电路全部断开。除了Q1里闭合的那一部分仍然保持连通。-S2Mains on按下后给以下单元供电：·控制电柜的风扇·高频发生器风扇·高频放电管电压模块-S3HV Off高压断开按钮-S4HV ON高压闭合按钮（前提：光闸必须关上）-S5Shutter Close光闸关闭按钮-S6Shutter Open光闸打开按钮-S7Key Switch Shutter L

3、ocked在此情况下，光闸不能被打开-S7Key SwitchShutterEnable光闸在此情况下可以被打开-S8Key Switch Mode Select在此状态下，高压和光闸都锁住不能开手动模式自动模式每日启动程序1、 打开冷却水（如果采用水冷机组，则打开水冷机组）2、 打开面板上的Q1开关3、 按下“MAINS ON”按钮信号灯“MAINS IS ON”闪烁激光器里的风机启动“MAINS ON”出现在显示屏上4、 在显示屏上出现如下信息“WATER TEST”大约10秒后“FLAMENT ON”大约30秒后“HV READY”如果有错误信息出现，则排除确认后按下“RETURN”5、

4、 按下高压开关按下“HIGH VOLTAGE ON”按钮“HIGH VOLTAGE IS ON”灯闪烁激光器警告灯发光此时激光器可以开始操作了，可以通过键盘来选择程序6、LASER BEAM ON在按下这个按钮之前确认需要出光，需要进行所有必须的安全防护工作。关激光器1、 按下“LASER BEAM OFF”键，关闭激光器光闸2、 按下“HIGH VOLTAGE(HV) OFF”关闭高压3、 按下“MAINS OFF”断开主电源4、 关闭冷水机组5、 关闭Q1开关主要报警信号输入说明后果文字显示主电源浮动>±10或逆相序主电源关闭控制系统关闭高压关闭无文字显示真空管抽真空（真空

5、检查或激光气体更换时）高压锁定EVACUATION正在更换激光气体在服务菜单中选择相应键可以实现此功能高压锁定GAS EXCHANGE真空管将冲入激光气体高压锁定GASFILLING主电源关闭主电源关闭或等待打开高压锁定MAINS OFF真空检查激活此功能可以在服务菜单中打开高压锁定VACUUM TESTX100.2X100.4在打开主电源后，计算机将等待3分钟以调节冷却水流量，为打开射频管做准备。高压锁定WATER TEST警告信号：腔内激光气压超出限制，这个信号表示激光气体交换十分必要。无CAVITYPRESSUREX100.7警告信号：激光气瓶内气压低或是GAS BOTTLE PRESS

6、UER警告信号：最近72小时内激光器气体没有更换，建议在24小时内换气，否则高压会锁住。GASCHANGE IN MAX 24hX130.6警告信号：真空泵电机回路空开断开1>VACUUM PUMPX140.4X100.5ALL X24V电源断开24V SUPPLYCAN BUS ERROR冷却水温度报警COOLING WATER TEMPEVACUATION TIME射频风扇压力过小，或相序接反高压锁定FAN RF GENERATOR换气错误高压锁定GAS CHANGE FAULT需要换气高压锁定GAS CHANGE REQUIRED充气时间超过高压锁定GAS FILL TIMEOUT

7、射频电源过流高压锁定GRID CURRENT高压监控高压锁定HV MONITORING高压过载高压锁定HV OVERCURRENTHV软启动错误高压锁定HV SOFTSTART FAULT电机回路或激光器控制电路风扇断开高压锁定1>FANS高压过流高压锁定LA OVER CURRENT激光器门锁信号高压锁定INTERLOCK DOORS在HV锁定下K1没有断开主电源和高压锁定K1 FAULT在主电源锁定下K3没有断开主电源和高压锁定K3 FAULT电流监控继电器没有反馈高压锁定LASER WARNING LAMP最大最小激光功率超出限制高压锁定LASER POWER LIMITS激光功率测量电流小于3.5高压锁定POWER MEASURE腔压测量电流小于3.5主电源和高压锁定PRESSURE MEASURE光闸没有反馈主电源和高压锁定SHUTTER FAULT高压电路板温度高高压锁定TEMP HV CABINET高压变压器温度高高压锁定TEMP HV TRANSF光闸温度高高压锁定TEMP