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文档简介

1、设备模块培训资料设备模块培训资料微波微波/高频电源系统高频电源系统培训基本内容1.学习了解所有工序微波系统的结构学习了解所有工序微波系统的结构 2.学习熟悉微波系统的控制方式学习熟悉微波系统的控制方式3.学习熟悉微波系统的电气原理，元器件原理学习熟悉微波系统的电气原理，元器件原理4.常见微波系统故障及处理方法常见微波系统故障及处理方法目录干法刻蚀微波系统干法刻蚀微波系统微波系统微波系统微波的介绍微波的介绍456 随着温度的升高，一般物质依次表现为固体、液体和气体。它们统称为物质的三态。 当气体的温度进一步升高时，其中许多，甚至全部分子或原子将由于激烈的相互碰撞而离解为电子和正离子。这时物质将进

2、入一种新的状态，即主要由电子和正离子（或是带正电的核）组成的状态。这种状态的物质叫。它可以称为物质的第四态。关于等离子体关于等离子体7等离子体的产生等离子体的产生产生等离子体的关键就是要提供能量，一个能够让原子中的外层电子克服原子核的束缚的能量。产生等离子体的方法大致可以分成两种： 通过电能：强电场、微波、激光、宇宙射线等 通过动能：高能粒子轰击、加热等 8等离子体的应用等离子体的应用系统结构：微波电源，微系统结构：微波电源，微波发生器，天线波发生器，天线。10Si3N4111213141516系统结构：由真空管路系统、气路系统、系统结构：由真空管路系统、气路系统、反应室、压力控制系统、反应室

3、、压力控制系统、SY型射频功率型射频功率源、电源供电及控制部分组成源、电源供电及控制部分组成 。181920反应室高频电源显示器匹配器浮子压力显示器装卸料仓门21SY型射频功率型射频功率源源电子管电子管产生辉光产生辉光将四氟化碳中的氟离子电离出将四氟化碳中的氟离子电离出来来22 23检 查 保 险检 查 保 险丝 是 否 损丝 是 否 损坏坏有板压板流小有板压板流小将射频源和匹配器之将射频源和匹配器之间的连接插座用棉球间的连接插座用棉球擦干净擦干净YES有板压，板流有板压，板流小，有入射功小，有入射功率和有反射功率率和有反射功率，但，但反射功率较反射功率较大，调不起辉大，调不起辉。YES第一第一第二第二第三第三 第四第四有板压无有板压无板流板流板压和板流都很大板压和板流都很大第五第五射频电源不能正常工作射频电源不能正常工作YES更换更换YES板压接线板压接线断，电子管断，电子管没有板压，没有板压，应查找断线应查找断线进

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