透射电镜操作程序

1、v1.0 可编辑可修改JEM-100CX 透射电镜操作说明一、开机程序1、首先打开房间空调，冷却循环水房温度21 度，操作室 25 度2、开启冷却水循环装置，一个独立的小的控制器，先将开关打至ON，再将按下 POWER键3、启动稳压电源，稳定于 220V；查看电源箱供电指示灯亮4、用钥匙启动主机，从 OFF档位旋到 START位，松开后钥匙自动回到 ON位置。仪器自动 抽真空，等待约 40 分钟。5、直至 DP绿灯亮， HIGH绿灯亮， READY绿灯亮（若不亮的话，将 LENS LIGHT打至 ON档 位）。二、电子枪合轴（ 1-3 合轴）1、确认 READY绿灯亮2、把样品拨出，物镜光栏拨

2、出至 0 档位3、加高压：按下 HT 键后，依次按下 40-60-80-100KV 键，并注意观察束流表是否正常，每 次都要等电流表显示稳定之后再进行下一步，一般调到80KV 就行了。4、加灯丝：将 FILAMENT EMIISSION旋钮缓慢旋至锁定位置5、一般在 SCAN（ 5300 倍）条件下调节，调节 CONDENSE钮R，得到光斑。6、SPOTS IZE调到 3 档，调节 CONDENSE钮R聚光，得到最小最亮光斑， 然后用左右 ALIGNMEN：T TRANS（小的）将光斑拉至最中心位置（中心位置有一黑点）。7、SPOTS IZE调到 1 档，调节 CONDENSE钮R聚光，得到最

3、小最亮光斑， 然后用 GUNA LIGNMEN：T TRANS（ X、Y）将光斑拉至中心位置。8、再重复 6、7 步骤，使束流不偏离中心。三、调灯丝相（每次开机都需要检查）1、在 SCAN模式下， SPOT SIZE 调到 1 档2、将 FILAMENT EMIISSION旋钮稍稍往回调，到看到灯丝欠饱和像，即车轮像（鱼眼像），若车轮像不对称，则进行下面调节。3、缓慢旋转 GUN ALIGNMEN：TTILT （X、Y），使灯丝像对称。v1.0 可编辑可修改4、然后调节 FILAMENTE MIISSION 旋钮至灯丝饱和（即刚好全亮，没有阴影） ，并锁定该位 置。四、粗对焦（该步很重要）1、

4、关灯丝（ FILAMENT EMIISSION旋钮至 OFF）后，插入样品，插入物镜光栏（ 2 档）2、开灯丝（ FILAMENT EMIISSION旋钮至 ON）后，放大光斑至满屏（以免烧坏铜网）3、找到样品，并选中一目标为参照4、将 IMAGEW OBBLE打R 至 ON，此时看到样品会有一定的晃动，调节FOCUS旋钮（有大中小三个，一般只用到中和小）至图像清晰没有重影。五、聚光镜对中调节1、关灯丝后，拨出样品，拨出光栏，开灯丝，缩小光斑，检查是否在中心位置，2、在 SCAN模式， SPOTS IZE 1 档情况下，将 CONDA LIGNMENT打到 ON，然后下面一 WOBBLER 键

5、打到 X，以调节光斑重合， 同样的方法进行 Y轴对中调节， 调节完毕之后打到中间 OFF 档。3、将 IMAGE WOBBLE键R打到 ON，调节 IMAGE WOBBLER、 A B旋钮至重合。六、电流中心调节（此步调节有一定的难度）1、插入样品，插入光栏，找到一样品做为参照物，调节时放大倍数小于5 万倍2、用目镜观察，聚焦，找准参照物，用FOCUS调焦至最清晰3、快速反复转动 FOCUS旋钮（以最清晰位置为中心前后旋转） ，此时观察参照物样品的情况， 如有放大缩小的情况（看到样品是以某点为中心在旋转）那就是正常的，若是样品有左 右或者上下移动的现象，就需要调节ALIGNMENT的大旋钮，

6、TILT 钮直至正常。七、电压中心调节1、在第六步的基础上，放大倍数（大于5 万倍）2、找到一参照物，调焦至最清晰3、HVW OBBLE置R 于 ON，若参照物不偏离中心而四周同心振动，则电压中心良好，反之，若 参照物有漂移，则用左右 ALIGNMENT： TILT 调节八、光栏的调节1、聚光镜光栏调节：判断光栏是否在中间位置，调节CONDENSE时R，光斑不在中间，放大v1.0 可编辑可修改时会有很大阴影 （电子束被东西挡住） ，移动样品时也没有改变， 此时可以断定是光栏位 置不正确，通过调节光栏上两个旋钮，使光栏回到中心位置。2、物镜光栏调节：打开 FUNCTION：SADIFF（控制台

7、D区，与 SCAN一排的一个按钮） ，调节 SA/HD DIFFRACTION：CAMERA LENG（TH控制台 B区）和物镜光栏上的两个旋钮，使得中 间最亮点周围的一圈较暗的光斑变得对称即可。九、聚光镜像散调节在没有放入样品的情况下： 插入聚光镜光栏 （2 档），SPOTS IZE 调至 3 档，调节 CONDENSER 钮至光斑最小最亮，再调节 CONDS TIGMATORX、 Y旋钮（控制台 F 区），使得光斑变得最 圆，即完成聚光镜像散调节。十、物镜像散调节（用于高倍下观察样品的调节）1、在完成以上调节，即确认仪器对中状态良好，电压中心对中，无聚光镜像散，光栏位置 正确的情况下进行物

8、镜像散调节。2、插入物镜光栏， 在观察样品的时候调节， 在高倍下（大于 10 万倍）找到一样品作为参照， 改变焦距，观察样品边沿系统是否均匀，若有像散，则进行以下操作。3、配合调节 OBJ STIGMATO：R X、 Y旋钮（控制台 E区）和 FOCUS旋钮，消除像散。 十一、样品装卸操作1、确认样品装卸时机器状态：放大倍数调至较小倍数，灯丝发射至OFF档。2、右边的旋转手柄有四个档位： 空档位、 SET、AIRLOCK、ENG，观察样品的时候一定在 SET 档位， ENG档位用来换样品，当需要打开左边的样品室时，一定要放置在AIRLOCK档位，空档位只是做一个过渡。3、左边的样品室旋转手柄上有两种标识，一种是数字（1-6 ），另外间于数字中间的是一些点，当数字对正时，可以用右边的旋转手柄把相应的样品从样品室中取出。当需要打开 样品室换下一批样品时，要保证所有的样品都留在样品室，这样就要让数字中间的点对 正，再将右边的旋转手柄拉出。4、当右边旋转手柄置于 AIRLOCK档位时可以打开样品室，左边有一能上下扳动的把手。 十二、关机程序1、放大倍数降至小于 1 万倍，光斑满屏。v1.0 可编辑可修改2、退灯丝至 O