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文档简介

1、脉冲激光法沉积薄膜实验Experiment for film deposition by pulsed laser原理：是一种真空物理沉积工艺，是将高功率脉冲激光聚焦于靶材表面，使其产生高温及烧蚀，而产生高温高压等离子体，等离子体定向局域膨胀发射并在衬底上沉积形成薄膜。1. 激光与靶材相互作用产生等离子体等离子体是由大量自由电子和离子及少量未电离的气体分子和原子组成，且在整体上表现为近似于电中性的电离气体。等离子体 = 自由电子+带正电的离子+未电离原子或分子，为物质的第四态。1 / 42.等离子体在空间的输运3.等离子体在基片上成核、长大形成薄膜靶材表面的高温(可达20000K)和高密度(1

2、016-1021)/cm3)的等离子体在靶面法线方向的高温和压力梯度等温膨胀发射(激光作用时)和绝热膨胀发射(激光终止后)轴向约束性沿靶面法线方向等离子体区等离子体羽辉临界核的形成粒子的长大形成迷津结构形成连续薄膜脉冲激光沉积的优点可以生长和靶材成分一致的多元化合物薄膜基片靶材旋转法灵活的换靶装置便于实现多层膜及超晶格膜的生长易于在较低温度下原位生长取向一致的织构膜和外延单晶膜由于激光的能量高，可以沉积难熔薄膜生长过程中可以原位引入多种气体，提高薄膜的质量污染小薄膜存在表面颗粒问题很难进行大面积薄膜的均匀沉积激光束运动缺点新方法：激光分子束外延PLD中的重要实验参数基体的加热温度影响沉积速率和

3、薄膜的质量氧气的压力沉积时间过高不利于薄膜择优取向的形成过低导致化学配比失衡，内部缺陷增多基体与靶的距离激光能量，频率影响薄膜的厚度影响薄膜的均匀性影响沉积速率PLD法制备薄膜实验流程图调整激光器参数安装靶材与衬底抽真空（机械泵与分子泵至10-5Pa）开加热装置，通气体导入激光进行镀膜关闭仪器激光器为YAG固体激光器，波长532nm(绿光）,激光脉宽为10ns,频率为1Hz,3Hz,5Hz.能量为0-300mJ可调实验注意事项p 抽真空之前一定要注意接通冷却水p 当真空度小于10 Pa才能开启分子泵抽高真空p 激光输出前要确保冷却水运动正常p 使用氧气时要确保气嘴干净无有误，实验室不能有火花等安全隐患p 不能让激光斑辐照到人体上，实验时要带好激光防护镜pp p 友情提示：方案范

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