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文档简介
1、半导体器件原理简明教程习题答案傅兴华1.1简述单晶、多晶、非晶体材料结构的基本特点.解整块固体材料中原子或分子的排列呈现严格一致周期性的称为单晶材料;原子或分子的排列只在小范围呈现周期性而在大范围不具备周期性的是多晶材料;原子或分子没有任何周期性的是非晶体材料.1.6 什么是有效质量,根据E(k)平面上的的能带图定性判断硅金者和神化钱导带电子的迁移率的相对大小.解有效质量指的是对加速度的阻力.由能带图可知,Ge与Si为间接带隙半导体,Si的Eg比Ge的Rg大,所以NGe>%.GaAs为直接带隙半导体,它的跃迁不与晶格交换能量,所以相对来说GaAs>Ge>Si.1.10 假定两
2、种半导体除禁带宽度以外的其他性质相同,材料1的禁带宽度为1.1eV,材料2的禁带宽度为3.0eV,计算两种半导体材料的本征载流子浓度比值,哪一种半导体材料更适合制作高温环境下工作的器件?解本征载流子浓度:n=4.82M1015(m吗如)exp(旦)mokT1.1、niexp(t),1.9、exp()2exp(-)&两种半导体除禁带以外的其他性质相同国更合适1.9T->0,n1>n2,二在高温环境下kT1.11 在300K下硅中电子浓度n0=2M103cm:计算硅中空穴浓度p0,画出半导体能带图判断该半导体是n型还是p型半导体.2noPo > P02nino竺1.125
3、 1017cm2 M10; P0 A,二是P型半导体1.16硅中受主杂质浓度为1017cm次,计算在300K下的载流子浓度n0和P0,计算费米能级相对于本征费米能级的位置,画出能带图.173解 p0 = N A = 10 cm10-3n0P0=ni T=300K 一6 3.5"0 cm2n33J. / =' =2.25x10 cm 丁 P0 >叫该半导体是p型半导体 P017P010Ei Efp = KT In(匕)=0.0259 ln()ni1.5 101.27神化钱中施主杂质浓度为1016cmJ3,分别af算T=300K、400K的电阻率和电导率。_ 一 6J3T
4、= 300K = ni = 2 10 cm解 n0 =Nd =1016cm* T =400K= ni =2 -n°p0- P0n。电导率仃=qn0L +qp0% ,电阻率p = cr1.40半导体中载流子浓度no =1014cm:本征载流子浓度n =1010 cm工,非平衡空穴浓度非平衡空穴的寿命而° = 10 's计算电子空穴的复合率,计算载流子的费米能级和准费米能级.能级和准费米能级.解因为是n型半导体1n0 =CpNtR=CoNtp-P19=10 cmn0n0 pEFn - Ei =kTIn(一)nipopEi =kTIn(W)ni2.2有两个pn结淇中一个结
5、的杂质浓度Nd=5M1015cm",Na=5M1017cm',另一个结的杂质浓度ND-51017cmNA=51019cm",在室温全电离近似下分别求它们的接触电势差,并解释为什么杂质浓度不同接触电势差的大小也不同解接触电势差Vd=kTln(NAND)可知Vd与Na和Nd有关所以杂质浓度不同接触电势qni差也不同.2.5硅pn结ND=5Ml016cm±NA=1017cm;分别画出正偏0.5V、反偏1V时的能带图.解T-300K=ni=1.51010cmJ3_23、, kT - NaNd、1.38 10300,vd =ln( 2 ) = -“ 9 1nqni1
6、.6 105 1016 10-6 1017 101 10、2(1.5 10 )-6_ _2 = 8.02 10 V参考材料_19q(VDV)=0.3710正偏:qV=0.81019q(VDVR)=1.728109反偏:i9J3,Na =1x1015cmJ3,n 区和 p 区的宽度qVR|1.6102.12硅pn结的杂质浓度分别为Nd=3m1017cm大于少数载流子扩散长度,却=%=1Ns,结面积=1600Nm2,取np22Dn=25cm/s,Dp=13cm/s,计算在T=300K下,正向电流等于1mA时的外加电压;(2)要使电流从1mA增大到3mA,外加电压应增大多少?(3)维持(1)的电压不
7、变,当温度T由300K上升到400K时,电流上升到多少?T =300K= ni10-3= 1.5 10 cm=p =1-s =10Jd .2-5 2 dAs=1600m =1.6 10 cmAsJdqV j%JoqDppno qDnnpoLPLnLp = .Dpp一四nJqJokT ,八=ln 3q.V=kTlnJqJokT3Jd(2) .V=ln-dqJo_133T=400K=Q=10cm2.14 根据理想的pn结电流电压方程,计算反向电流等于反向饱和电流的70%时的反偏电压值。qVJdJd=Joexp()-1,=0.7kTJo2.22 硅pn结的杂质浓度,计算pn结的反向击穿电压,如果要使
8、其反向电压提高到300V,n侧的电阻率应为多少?3解(1)反向击穿电压VB=6M1013NDF=60V352c(2)VB=610ND"-300V,.ND-210=cm11-2由P=得Nn=1350cm/(vs)二qnn2.24硅突变pn结NA=5M1018cmJ3,ND=1.5父1016cm、,设pn结击穿时的最大电场为一5Ec=5父10V/cm,计算pn结的击穿电压.解突变结反向击穿电压VB=r_0E;,N=AD2qNNANd2.25 在杂质浓度ND=2父1015cm,的硅衬底上扩散硼形成pn结,硼扩散的便面浓度为NA=1018cm,结深5Mm,求此pn结5V反向电压下的势垒电容.
9、2qa('')3儿牢Ct-A12(VD-V)2.26 已知硅pi结n区电阻率为1复cm,求pn结的雪崩击穿电压,击穿时的耗尽区宽度和最大电场强度.(硅pn结Ci=8.45M10“6cm,,渚pn结Ci=6.25父10®cm")E一邺人1 1134Ec(八.)解:=n-:qnVb=610ND4,ND=nCi0二qn,Ec,在晶3.5 以npn硅平面晶体管为例,在放大偏压条件下从发射极欧姆接触处进入的电子流体管的发射区、发射结空间电荷区、基区、集电极势垒区和集电区的传输过程中,以什么运动形式(扩散或漂移)为主?解发射区-扩散发射结空间电荷区-漂移基区-扩散集电极
10、势垒区-漂移集电区-扩散3.6 三个npn晶体管的基区杂质浓度和基区宽度如表所示,其余材料参数和结构参数想同,就下列特性参数判断哪一个晶体管具有最大值并简述理由(1)发射结注入效率。(2)基区输运系数。(3)穿通电压。(4)相同BC结反向偏压下的BC结耗尽层电容。(5)共发射极电流增益器件基区杂质浓度基区宽度ABC解=1NbdpeWb,Wb=Xb.ab=cNeDnbWe,c、/1 /Wb、2/(2) : T =1 -( -) =1 2 LNB2Wb2DnB nB-nB1a Pnr 02、Wb - r: o 一_2DnB=' TA= TB二 TCVpt2XbNb(Nc Nb)_2;o N
11、c 一VptA=V ptB :二 V ptC(4)CTq ;oNdNa A Nb一 A'"2(Vd -V) Nd Na Nd NbCta = CTC CTB3.9硅npn晶体管的材料参数和结构如下发射区基区集电区Ne,1,,WeNbM'WbNc,1,,并由qDB、0Wb计算晶体管的发射结注入效率尸,基区输运系数aT,VBE=0.55V,计算复合系数6,此计算晶体管的共发射极电流放大系数P。1-2、1一:1一,每二1v其中Jr0=g,Js°NEDnBWE2DnBnB1-Jr0exp(_qVBE)2Jso2kT3.13已知npn非均匀基区晶体管的有关参数为Xjc
12、=5Nm,Xje=3Nm,电子扩散系数2Dn=8cm/s,品=1Ms,本征基区方块电阻Rsb=2500Q,Re=5Q,计算其电流放大系数:、:.WB2解基区输运系数口T=12(基区宽度WB=Xjc-Xje,基区少子扩散长度LnB.RsELnB=Dn与),发射结注入效率1=1Z-(RsE&Rb发射区和基区的方块电阻)RsB发射结复合系数:=1共基极直流电流放大系数ct=¥46=0.9971共发射极直流电流放大系数=二一=352.14891 -11.34 硅晶体管的标称耗散功率为20W,总热阻为5"/W,满负荷条件下允许的最高环境温度是多少?(硅Tjm=200C,错Tj
13、m=100C)解最大耗散功率PCMJjmka=Ta=Tjm_RTPCM满负荷条件下有RtTaMTjm-RtPcm,其中Tjm=200C,RT=5C/W1.39 晶体管穿通后的特性如何变化?某晶体管的基区杂质浓度Nb=1019cm”,集电区的杂15-3质浓度NC=5父10cm,基区的宽度Wb=0.3Nm,集电区宽度Wc=10Nm,求晶体管的击穿电压.解集电极电流不再受基极电流的控制,集电极电流的大小只受发射区和集电区体电阻的限制,外电路将出现很大的电流。XB2Nb(NcNb)V穿通电压pt2鸵0Nc,冶金基区的扩展xB=WC-WB4.1 简要说明JFET的工作原理解N沟道和P沟道结型场效应管的工
14、作原理完全相同,现以N沟道结型场效应管为例,分析其工作原理。n沟道结型场效应管工作时也需要外加偏置电压,即在栅-源极间加一负电压(Vgs<0),使栅-源极间的pt结反偏,栅极电流iG定0,场效应管呈现很高的输入电阻(高达108。左右)。在漏-源极间加一正电压(Vds>0),使N沟道中的多数载流子电子在电场作用下由源极向漏极作漂移运动,形成漏极电流iD。iD的大小主要受栅-源电压VGS控制,同时也受漏-源电压Vds的影响。因此,讨论场效应管的工作原理就是讨论栅-源电压vGS对漏极电流ip(或沟道电阻)的控制作用,以及漏-源电压Vds对漏极电流ip的影响。4.3 n沟道JFET有关材料
15、参数和结构是:Na=1018cm;Nd=1015cm,,沟道宽度是Z=0.1mm,沟道长度L=20Rm,沟道厚度是2a=4Nm,计算(1)栅p+n结的接触电势差;(2)夹断电压;(3)冶金沟道电导;(4)Vgs=0和Vds=0时的沟道电导(考虑空间电荷区使沟道变窄后的电导)。kTNaNd,解(1)Vdlna2d(2)(3)G0:2qNDZa/Lqni(4)若为突变p%结,W=s叼2S%(Vd-V)广(np结Na,P:结Nd)qNp4.7 绘出n型衬底MOS二极管的能带图,讨论其表面积累、耗尽、弱反型和强反型状态。解见旁边图!4.12 简述p沟道MOSFET的工作原理。解截止:漏源极间加正电源,
16、栅源极间电压为零。p基区与n漂移区之间形成的pn结J1反偏,漏源极之间无电流流过。导电:在栅源极间加正电压Vgs,栅极是绝缘的,所以不会有栅极电流流过。但栅极的正电压会将其下面p区中的空穴推开,而将p区中的少子-电子吸引到栅极下面的p区表面,当Vgs大于Vt(开启电压或阈值电压)时,栅极下p区表面的电子浓度将超过空穴浓度,使p型半导体反型成n型而成为反型层,该反型层形成n沟道而使pn结J1消失,漏极和源极导电。4.15 已知n沟道MOSFET的沟道长度L=10Nm,沟道宽度W=400m,栅氧化层厚度143tax=150nm,阈值电压Vt=3V,衬底杂质浓度Na=9m10cm,求栅极电压等于7V
17、时的漏源饱和电流。在此条件下,Vds等于几伏时漏端沟道开始夹断?计算中取.2氏=600cm/(Vs)。解饱和漏源电流IWtCax(VgsVt)2,Cax=%,&x=许,Vgs=7V2LtaxVDS=Vas-Vt4.16 在NA=1015cmJ3的p型硅111衬底上,氧化层厚度为70nm,SiO2层等效电荷面密度为3M1011cmi计算MOSFET的阈值电压。kTNaqNAxdmax2ln(A)Amax解阈值电压qniCaxfp =。(3q ni ,fn =-kTln(ND),耗尽区宽度最大值 q nixd max(4"0fpqNA单位面积氧化层电容Cax ax& ta
18、x tax4.19用W/L=8%=80nm,=600cm2/(Vs)的n沟道MOSFET作为可变电阻,要获得2.5kG的电阻,沟道电子浓度应为多少?Vgs-3应为多少Vgs有什么要求?解跨导gm= P(Vgs Vt),其中 P 二WnCax,Caxax i-r = 0taxt ax4;r = 11.7, ;o = 8.85 10 F / cm5.2T=300K,n型硅衬底杂质浓度为ND=1016cm'绘出平衡态金-硅接触能带图,计算肖特基势垒高度如0、半导体侧的接触电势差Vbi、空间电荷区厚度Wo解(1)B0 = m _X(2)Vbi = m - s (3)W =Xn =(2;0Vbi
19、qND5.4分别绘出钛Ti与n型硅和p型硅理想接触的能带图。如果是整流接触,设硅衬底,分别计算肖特基势垒高度曾。、半导体侧的接触电势差Vbi。解B0=m-xVbi=m-5.10T=300K,n型硅衬底杂质浓度为ND=5父1015cm工,计算金属铝-硅肖特基接触平衡态的反向电流JsT、正偏电压为5V时的电流。计算中取理查森常数*22A=264AcmK。解 Jst =AT2exp(kT*2,):A T exp(q B0kTqVJ,啥)75.13分别绘出GaAlAs-GsAs半导体Pn结和Np结的平衡能带图。解见旁边图!6.3假定GaAs导带电子分布在导带底之上03/2kT范围内,价带空穴分布在价带
20、顶之上03/2kT范围内,计算辐射光子的波长范围和频带宽度hc解 max - e1.24eVEg 3kTg,Eg =1.42eVmin6.6 T=300K考虑一个硅pn结光电二极管-1.24eV V =V1 - V2 =ycEgmax min,外加反向偏压6V ,稳态光产生率为Gl=10211cm's,pn结参数为:1532277ND=NA=8x10cm,Dn=25cm/s,Dp=10cm/s,En0=5M10s,ep0=10-s。计算其光电流密度,比较空间电荷区和扩散区对光电流密度的贡献。,.-/kT.NdNA.|2w(G反向+Vb)解Ln=.工.的仙=DppoMi=-qln:qN稳态光电流密度IL-qGL(W.Ln.Lp);=11.7,q=1.610,9,N=N旦=0.02592q6.8利用带隙工程,钱-铝-神(GaAlxAs)和钱-神-磷(GaAsB)可获得的最大辐射光波长的值是多少?一hc1.24解Eg=1.4241.247x(eV),x=1>EgEg6.9分别计算钱-铝-神(GaAlxAs)和钱-神-磷
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