超出管控、规范记录、参数管控

1、超出管控、规范记录、工超出管控、规范记录、工艺管控艺管控技术一部技术一部三、设备三、设备三、三、辅料辅料30规范记录v操作记录的标准v异常记录v记录单模板31操作记录的标准v按真实情况记录v按规定的时记录v不漏记、忘记，记录要完整v不再操作记录单上乱涂、乱画v记录字迹要清晰32异常记录v出现异常及时记录v异常记录要有发生时间、异常现象、记录人v现象要求描绘清楚v异常情况一栏中写不全的可在拉晶或拆炉异常简述中填写33记录单模板记录单模板正面上部目标电阻率目标直径使用炉次 晶体项目2153-15733型号电阻率重量kg使用炉次 试验项目高阻5020使用炉次 清理炉次P1-3552坩埚净重 泵油炉次

2、P1-32011.73极限真空 漏气速率3Pa0.2Pa/min预掺杂量装料人员投料量120g郑志化75kg型号电阻率重量kg加料时间掺杂电阻率掺杂量加料人员升温时间 坩埚位置 欧陆读数电压读数电流读数氩气流量炉内压力坩埚转速 异常记录1:0087503514005500049kw1:3087704216505500069.3kw2:0087905018005500090kw5:309280471700201300179.9kw6:009280471700201300679.9kw原料名称块状多晶硅：ZC10101020浙江昱辉阳光能源有限公司JRDL-800/TDR-70型单晶炉操作记录晶体

3、编号石墨加热器厂家/编号石墨埚身厂家/编号外导流筒厂家/编号远东/YD201001283729功率关闭日期时间2101.10.26 1：002101.10.28 23：006：30-7：00新兴/兴-15-13-125掺杂剂型号电阻率抽空时间/检漏时间功率开启日期时间S0边皮：ZCYL10100034石英坩埚编号SP10102810昱辉/YH-G458-97E2-11宝斯达/B610081930S2多晶头位：ZCYL1010012020.018原料名称34记录单模板续上记录单模板续上正面下部吊渣时间 吊渣量g 吊渣人员补掺时间掺前电阻率 掺后电阻率 掺杂电阻率 掺杂量g补掺人员晶体编号取晶棒时

4、间等径长度收尾长度棱线长度重量kgSP10102810-117:10574mm50mm560mm31.02kgSP10102810-216:50850mm150mm850mm41.30kg抽空时间 检漏时间 极限真空漏气速率加热器损伤 埚身开裂数 导流筒粘硅 埚干断裂 埚底毛重14:4015:002.0PA0.2Pa/min无无无无4.5kg晶体颜色 籽晶积渣 炉颈积渣埚口积渣坩埚口变形埚底渗硅排气管阻塞 电极打火 拆炉人员正常无无无无无无无王亚楠拉晶或拆炉异常简述（签名）：籽晶：4炉 钢丝绳：13炉 重锤：50炉22：00等径480mm时直径变大，直径失控。操作：李小鹏19：00等径800m

5、m时液面晃动，直到收尾结束。操作人:郑志化35记录单模板续上记录单模板续上反面上部时间项目 晶位埚位直径 欧陆 电压 电流 晶转 埚转 Ar量 炉压 SP值 OP值异常情况操作人SL10:00 引晶097.5326803713008620130001200王亚楠011:00 放肩15097.5326803713008620130001200王亚楠014:00 转肩097.51572630361250862013001.21200王亚楠015:00 等径6098.1157263036125086201300 1.17 1100王亚楠1.216:00 等径12098.715726303612508

6、6201300 1.15 1050王亚楠1.1517:00 等径18099.3157263036125086201300 1.13900王亚楠1.1718:00 等径24099.9157263036125086201300 1.11800王亚楠1.0119:00 等径300100.5157263036125086201300 1.09850王亚楠0.9520:00 等径360101.1157263036125086201300 1.07870李小鹏0.8921:00 等径420101.7157263036125086201300 1.05909李小鹏0.9922:00 等径480102.315

7、7263036125086201300 1.03960直径失控李小鹏0.8523:00 等径540102.9157263036125086201300 1.01 1050李小鹏0.7923:30 等径574李小鹏00:20收尾624李小鹏03:50冷却李小鹏03:50取棒李小鹏04:00引晶0102.9329803713008620130001200李小鹏0浙江昱辉阳光能源有限公司JRDL-800/TDR-70型单晶炉操作记录附页断棱收尾提断升至副室36记录单模板续上记录单模板续上反面下部5:00放肩150102.9329803713008620130001200李小鹏06:00转肩0102.

8、91572930361250862013001.11200李小鹏1.157:00等径60103.5157293036125086201300 1.07 1100李小鹏1.028:00等径120104.1157293036125086201300 1.05 1050郑志化1.029:00等径190104.8157293036125086201300 1.03980郑志化1.0510:00 等径260105.5157293036125086201300 1.01900郑志化0.9511:00 等径320106.2157293036125086201300 0.99800郑志化0.8512:00 等

9、径380106.9157293036125086201300 0.97850郑志化0.7813:00 等径440107.6157293036125086201300 0.95890郑志化0.814:00 等径500108.3157293036125086201300 0.93950郑志化0.8515:00 等径560109157293036125086201300 0.91 1080郑志化0.7316:00 等径620109.7157293036125086201300 0.89 1150郑志化0.7117:00 等径680110.4157293036125086201300 0.87 1300郑志化0.718:00 等径740111.1157293036125086201300 0.85 1420郑志化0.6819:00 等径800111.8157293036125086201300 0.831520 液面晃动郑志化0.6920:00 等径850收尾王亚楠22:30 收尾结束王亚楠23:00 停炉王亚楠尾长150降功率37参数的管控n管控的原因n参数的制定n参数的分类n工艺参数的修改38参数管控的原因n有助于品质的控制n炉台异常可以方便查找n有助于炉台性能和操作技能的对比n可实现标准化39参数的制定n试验对比得出结果n公司、领