RTS-9型双电测四探针测试仪用户手册_图文

1、目 录1. 概述. 2 2. 技术指标. 23. 测量原理. 3 4. 仪器面板说明. 34.1 仪器前面板. 4 4.2 仪器后面板. 55. 使用方法. 55.1 仪器连接和启动. 6 5.2 RTS-9双电测四探针软件测试系统. 65.2.1 功能特点. 6 5.2.2 系统要求. 6 5.2.3 软件安装. 6 5.2.4 启动/关闭四探针软件测试系统. 7 5.2.5 四探针软件测试系统的用户界面. 75.2.6 软件使用. 85.3 测量样品基本操作流程. 19感谢您使用我们的产品！如您是首次使用本仪器，请先详读本说明书，并妥善保留之以备查阅之用。 如有问题，欢迎致电：020-31

2、375051或登陆:http/1. 概 述RTS-9型双电测四探针测试仪测量原理通过采用四探针双位组合测量技术，将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上。利用电流探针和电压探针的组合变换，进行两次电测量，其最后计算结果能自动消除由样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素所引起的，对测量结果的不利影响。因而在测试过程中，在满足基本条件下可以不考虑探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置等因素。这种动态地对以上不利因素的自动修正，显著降低了其对测试结果的影响，从而提高了测量结果的准确度。其优点是目前广泛使用的常规四探针测量方法根本办不到的。使用本仪器时，由于不需要人为进行几何边界条件和

3、探针间距的修正，因而对各种形状的簿膜材料及片状材料有广泛的适用性。仪器适用于测量片状半导体材料电阻率以及硅扩散层、离子注入层、异型外延层等半导体器件和液晶玻璃镀膜层、电热膜等导电膜的方块电阻(或称簿层电阻和面电阻 。仪器由四探针测试仪主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分组成，通过RTS-9双电测四探针软件测试系统对四探针测试仪主机发出控制指令来获得用户需要的测量数据，主机在接收到指令后按照测量程序进行测量(如四探针头探头电流探针和电压探针的组合变换测量、电流量程切换、采集测量数据回主机等），并把采集到的数据反馈回计算机中加以运算、分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户

4、可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel 中，让用户对数据进行各种数据分析。2. 技 术 指 标测量范围电阻率：10-4105 .cm ；方块电阻：10-3106 /； 电导率：10-5104 .cm ；适合样品厚度： 4.00 mm ；可测晶片直径：140mmX150mm （配S-2A 型测试台）； 200mmX200mm（配S-2B 型测试台）；400mmX500mm （配S-2C 型测试台）；恒流源电流量程分为 1A 、10A 、100A 、1mA 、10mA 、100mA 六档，各档电流连续可调；数字电压表量程及表示形式：000.00

5、199.99 mV；分辨力：10V ；输入阻抗：1000 M； 精度：±0.1%；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；四探针探头基本指标间距：1±0.01mm ；针间绝缘电阻: 1000 M； 机械游移率: 0.3；探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径0.5mm ； 探针压力：5-16 牛顿(总力 ；四探针探头应用参数见探头附带的合格证，合格证含三参数项：C ：探针系数； F ：探针间距修正因子； S ：探针平均间距；模拟电阻测量相对误差（按 JJG508-87 进行）0.01、0.1、1、10、100、1000、100000.3±字；整机测量最大

6、相对误差（用硅标样片:0.01-180.cm 测试）±4；整机测量标准不确定度4；外型尺寸（大约）电气主机：460mm ×320mm ×100mm ；S-2A 型测试台：190mm ×140mm ×260mm ； S-2B 型测试台：300mm ×210mm ×400mm ； S-2C 型测试台：500mm ×400mm ×350mm ；仪器重量（大约）电气主机：3.5kg ； S-2A 型测试台：2kg ； S-2B 型测试台：2.5kg ； S-2C 型测试台：4kg ；标准使用环境温度:：23

7、77;2； 相对湿度：65； 无高频干扰； 无强光直射；3. 测 量 原 理双电测组合四探针法采用了以下二种组合的测量模式（见图1）。 I V 组合1423I V 组合1324图1将直线四探针垂直压在被测样品表面上分别进行I 14V 23和I 13V 24组合测量，测量过程如下： 1. 进行I 14V 23组合测量：电流从针针，从、针测得电压V23+；电流换向，从针针，从、针测得电压V23-； 计算正反向测量平均值：V23(V23+ V23- 2；2. 进行I 13V 24组合测量：电流从针针，从、针测得电压 V24+；电流换向，从针针，从、针测得电压 V24-； 计算正反向测量平均值：V24

8、(V24+ V24- 2；3. 计算（V23V24）值；（以上V23、V24均以 mV 为单位）；4. 按以下两公式计算几何修正因子：若 1.18（V23 V24）1.38 时；K 14.69625.173(V23V24 7.872(V23V24 2 ； (1 若 1.10（V23V24）1.18 时；K 15.8526.15(V23V24 7.872(V23V24 2 ； (25. 计算方块电阻 R ： ·(V23 (单位： ； (3 其中：为测试电流，单位：mA ；V23为从、针测得电压V23+和V23-的平均值，单位：mV ；6. 若已知样品厚度W ，可按下式计算样品体电阻率：

9、R ·W ·F(W/S10 (单位：.cm ； (4 其中：为方块电阻值，单位：；W 为样片厚度，单位：mm （W 4mm ）；S 为探针平均间距，单位：mm ； F(W/S 为厚度修正系数；7. 计算百分变化率（以测试样品电阻率为例）： M m最大百分变化（）×100 (5 ma c 平均百分变化（）×100 (6 c（M m ）径向不均匀度（）×100 (7M m以上式中：M 、m 分别为测量的电阻率最大值与最小值，单位：.cm ； c 为第1、2 点（即圆片中心测量点）测量平均值，单位：.cm ； a 为除第1、2 点外其余各点的测量平均

10、值，单位：.cm ；（若测量样品的方块电阻值, 则将(5、(6、(7式中的M 、m 、a 、c 分别改成M 、m 、a 、和c 。其公式意义与M 、m 、a 、c 相似）。4仪 器 主 机 面 板 说 明RTS-9型双电测四探针测试仪主要由主机、测试台、四探针探头、计算机四部分组成。主机作为测量装置的最主要部件，前、后面板的说明如 - 4 -4. 1仪器主机前面板W1W2RTS-9型双电测四探针测试仪LU项目说明 K1,K2,K3,K4,K5,K6 测量电流量程选择按键，共6个量程, 当按相应的量程时，此量程按钮上方的指示灯会亮。K7 “R /”测量选择按键，即是测量样品的方块电阻还是电阻率的

11、选择按键，开机时自动设置在“ ”位。按下此按键会在这两种测量状态下切换，按键上方的相应的指示灯会亮表示现处的测量类别。K8 “电流/测量“方式选择按键，开机时自动设置在“I ”位；按下此按键会在这两种模式下切换，按键上方的相应的指示灯会亮表示现处的状态。即当处在“I ”时表示数据显示屏显示的是样品测量电流值，用户可根据测量样品调节量程按键或电位器获得适合样品测量的电流。当在“/ R”时表示现处于测量模式下，数据显示屏显示的是方块电阻或电阻率的测量值。 K9 电流换向按键，按键上方的灯亮时表示反向。灭时表示正向。低阻测试扩展按键(只在100mA 量程档有效, 按键上方的灯指示开、关的状态。 W1

12、,W2 W1 电流粗调电位器；W2 电流细调电位器。 P 与计算机通讯的并口接口。L 显示测试值的数据显示屏，在不同的测试状态下分别用来显示样品的测试电流值、方块电阻测量值、电阻率测量值。 U测试值的单位指示灯。备注：在测量时用户只需对前面板电位器W1、W2进行操作（调节样品测试电流值）。前面板的其它按键用户不需在主机上操作，在测量时完全由计算机控制。4. 2仪器主机后面板 项目 说明1 电源开关2 四探针探头连接插座 3 保险管 4 电源插座 5输出控制端口5使 用 方 法 RTS-9型双电测四探针测试仪主要由主机、测试台、四探针探头、计算机四部分组成，各部分通过电缆联接。获得样品的测量结果

13、的操作主要通过对计算机上的RTS-9双电测四探针软件测试系统的操作对主机进行测量控制，然后把测量数据反馈回计算机上进行数据运算和数据的统计分析，最后得出样品的测量数据。测量流程图如下图所示。 5.1 仪器联接和主机启动按仪器后面板说明把“探头与主机的连接电缆”将安装于测试台上的四探针探头与主机连接好，用“并行通讯电缆”分别连接主机前面板右下角的并行通讯接口和计算机的并行通讯接口，主机接上电源线，开启后面板的主机电源开关，此时“R ”和“I ”指示灯亮。测试仪的主机预热约10分钟后进行测试。5.2 RTS-9双电测四探针软件测试系统RTS-9型双电测四探针测试仪要对样品进行测试，主要是对RTS-

14、9双电测四探针软件测试系统进行操作，用户必须熟悉对此软件测试系统的操作和使用。RTS-9型双电测四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，程序操作直观易用。测试程序在计算机与RTS-9型双电测四探针测试仪连接的状态下，通过计算机的并口实现通讯。通过对RTS-9型双电测四探针软件测试系统操作获得样品的测量结果。测试程序控制双电测四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在计算机中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel 中，让用户对数据进行各种数据分

15、析。5.2.1 功能特点z 可以选择进行手动测量或者是自动测量； z 对可疑测量点的数据进行重测；z 详细记录被测试材料各种参数，结合测试数据进行数据统计分析； z 以直方图形式统计分析数据； z 打开、保存、打印测试数据；z把测试数据导出到Excel 中进行更详细的数据统计分析；5.2.2 系统要求请确定你的电脑是IBM PC兼容型并具备以下最低的系统要求： z Intel 兼容586DX-500MHz 中央处理器或者更高； z 一个IEEE-1284标准并行通讯端口； z 显示卡分辨率支持1024*768模式；5.2.3 软件安装本软件可安装在Win98、Win2000、XP 操作系统上。

16、请按以下步骤进行安装。1. 将四探针软件测试系统的安装光盘放入光驱中，执行光盘目录下的【Setup.exe 】进行安装。 2. 软件安装完成后，请重新启动计算机。软件安装完成后，因计算机和RTS-9型双电测四探针测试仪是通过并口通讯的，请确认并口（Parallel Port ）在BIOS 中的基地址设置为“378”，模式（Parallel mode）设置为“EPP ”模式。5.2.4启动/关闭双电测四探针软件测试系统启动程序请进行以下任一操作：1. 单击Window 【开始】按钮，选择【程序】【RTS-9型双电测四探针测试系统】【RTS-9双电测四探针测试系统】命令。2. 直接在桌面上点击【R

17、TS-9双电测四探针测试系统】快捷方式。 关闭程序：按程序主窗口最右上角的【×】关闭按钮。5.2.5 四探针软件测试系统的用户界面 四探针软件测试系统启动后出现如下图所示的用户界面。软件测试系统的用户界面主要由以下四部分组成，各组成部分的说明如下：1. 【测试基本参数】窗口：用户可在此窗口中选择测试材料的类别和输入测试材料基本属性数据值（厚度、探针平均间距等）、测试环境数据（温度、湿度）。2. 【实时采集两次组合模式下的电压值】窗口：获得样品最新测试点两次组合模式下的实时电压正反向值和平均值。3. 【统计测试数据】窗口：记录和显示测试材料的各项属性数据值、测量数据和统计分析后数据。

18、4. 【操作栏】：供用户进行测量、重测、自动测量、打开、保存、打印等操作的执行按钮5.2.6 软件使用 双电测四探针软件测试系统具有友好的用户界面，软件所有使用功能都位于主程序窗口右端【操作栏】的12个按钮上，如右图2所示。用户只需按下按钮就可以实现相关的功能。【操作栏】共有12个类别：【测量】、【重测】、【低阻扩展】、【自动测量】、【采样时间设置】、【新建测试】、【打开】、【存档】、【输出Excel 文件】、【打印】、【帮助】、【关于】。软件的使用也是围绕这些按钮功能来实现的。以下将对每一操作按钮的使用进行说明。在进行【测量】、【重测】、【低阻扩展】、【自动测量】时一定要与RTS-9型双电测

19、四探针测试仪连机才能使用，【打开】、【存档】、【输出Excel 文件】、【打印】的操作在连机或者是脱机状态下都能使用。1.【测量】【测量】功能和【自动测量】功能是四探针软件测试系统最主要的功能，通过【测量】和【自动测量】采集RTS-9型双电测四探针测试仪上被测试材料的测试数据，然后将测试数据在【统计测试数据】窗口显示和记录下来，并统计分析测试数据。【测量】功能相当于手动测量，要求用户自行确定适合测试材料的量程和电流后，再按下此按钮进行测量。【自动测量】功能会自动比较各电流量程，然后确定最适合测试材料的量程，取得测试数据。在进行测量前请确认RTS-9型四探针测试仪已经正确连接到计算机的并口，并且

20、四探针测试仪的电源已经打开。否则在按下【测量】、【自动测量】、【重测】按钮后将会弹出如下图3提示窗口。图2 操作栏 图3如果弹出图3的提示窗口，用户只需将随机配带并口线将四探针测试仪与计算机连接起来，并打开四探针测试仪的电源，然后按下【确定】按钮程序将会继续测试下去。如果用户不想进行测试可以按【取消】按钮这样程序将在脱机的状态下使用。为了更详细和准确采集、记录、分析被测试材料的测量数据，请用户在对测试样品进行测量前在【测试参数】窗口（如图4）选择样品的测试类别、输入样品测试中需要的相关属性参数值。 图4 测试参数窗口以下对【选择测试类别】、【输入测试基本参数】两个窗口操作进行说明。1. 选择测

21、试类别 在此窗口中对要测量的样品选择相应的测试类别，用户可对样品进行“薄层方块电阻”和“薄片电阻率”的测量，用户要选某一测试类别只需点击相应测试类别即可选定。由于选择不同的测试类别它的相关基本测量属性不同，对此窗口的操作会影响到【输入测试基本参数】窗口和【统计测试数据】窗口一些属性项的变化。用户可以尝试选择不同的测试类别观察到这二个窗口中的一些属性项的增加否者减少（减少的属性项字体颜色会变灰，表示这些属性项相对于选择测试类别无效）。 【输入测试基本参数】窗口在用户选择不同测试类别时，厚度、探针平均间距属性项会因不同的测试类别需的测试参数不同会自动变无效（属性项变灰用户不能操作）【统计测试数据】

22、窗口记录和显示的数据也会因不同的测试类别一些属性项会变无效，无效的属性项字体变灰色，属性项数据无显示2输入测试基本参数 此窗口输入测试时的环境参数和被测试材料的各种基本属性项的数据值。对此窗口的操作会在【统计测试数据】窗口上记录属性项的数据值。【输入测试基本参数】窗口的各属性项有效性会因选择“薄层方块电阻”和“薄片电阻率”测试类别时不同而变化（某些属性项会变灰色表示此属性项对于选择的测试类别无效, 属性项变灰用户不能操作）。【温度】、【温度】：测试材料时的环境温度、湿度。【晶片标识】：对测试的材料作标识，可输入长度为6位的中英文组合字符串，辅助记录测试的数据。 【厚度】:输入被测试材料的厚度，

23、此属性项是测量“薄片电阻率“时必需参数，输入的厚度值必须在4mm以内才有效(用双电测方法获得样品精确电阻率的条件 ，测量类别是“薄层方块电阻”时无效。 【电流量程】: 在执行【测量】功能时选择适当的电流量程来测量样品的电阻率或方块电阻。 “薄片电阻率“测量时可参考（表1）选择量程； “薄层方块电阻”测量时可参考（表2）选择量程；对此项的操作可以直接控制四探针测试仪主机的电流量程档的切换而不用手动到四探针测试仪主机上操作，用户可通过点击选择电流量程档观察到四探针测试仪主机电流量程档的变化（如果在切换不同量程档时主机电流量程档没变化请检查四探针测试仪主机跟计算机是否已经正确连接）。如无法估计样品方

24、块电阻或电阻率的范围，则可以先按“10A ”量程进行测试，再以该测试结果作为估计值按表1和表2选择电流量程。如果进行的是【自动测量】可以忽略对此处电流量程选择，程序会自动比较各量程档找出适合此样品的电流量程。表1. 电阻率测量时电流量程选择表(推荐电阻率(·cm电流量程 < 0.03 100mA 0.03 0.3 10mA 0.3 30 1mA 30 300 100uA 300 300010uA表2. 方块电阻测量时电流量程选择表(推荐方块电阻(/电流量程 < 2.5 100mA 2.0 25 10mA 20 250 1mA 200 2500 100uA 2000 250

25、0010uA【探针平均间距】：RTS-9型四探针测试仪搭配使用的四探针探头的探针平均间距为1，所以四探针测试系统中此两属性项数据值的默认值都为1。用户可以直接使用此默认值，如果使用的探头是本公司搭配的产品，除非更换其它探头。当用户把以上两个窗口的数据确定完毕后，就可以按下【测量】按钮进行测试。此时程序将弹出以下窗口(如下图所示要求用户调节RTS-9型双电测四探针测试仪上的电位器使其测试电流为弹出窗口上计算出来的电流值（此电流值是根据被测试材料的类别、厚度、量程等要素决定的所以每一次测量要调节的电流值不一定相同）。 当用户确定已经把RTS-9型双电测四探针测试仪上的电流值调节为窗口上计算出来的电

26、流值。按下【确定】按钮测量将继续，此时【测量】按钮的背景色变成绿色，同时显示【测量】按钮的文字变成“测量中”“请稍候”(如下图所示表示测试正在进行中，计算机与四探针测试仪正在通讯中。 在计算机与主机测量控制采集数据过程中【实时采集两次组合模式下的电压值】窗口将实时显示样品现正测量点的两次组合模式下电压正反向值、平均值（如下图5所示）。 图5当测试数据采集完毕，此时【测量】按钮的背景色和按钮文字回复原来的状态，同时【统计测试数据】窗口将会记录和显示出此次采集到的测试数据和相关的的统计分析数据。【统计测试数据】窗口如下图(图6 所示， 图6以下把 【统计测试数据】窗口分成四部分，说明每一部分记录和

27、统计分析的各项数据表示的含义。 图71. 上图（图7）记录的是被测试材料各基本属性项的数据值和测试时的环境参数值。（如：用户在【输入测试基本参数】窗口选择和输入了被测试材料的各基本属性项的数据值，和根据用户输入的材料属性计算出来的电流值、厚度修正因子） 图82. 上图（图8）记录每一次样品测量点的V23、V24的正反向电压、电阻率（方块电阻）、电导率，如果测的是方块电阻电导率项将无效，还有每次测试采样的日期和时间。 图93. 上图（图9）分析数据栏会分析所有测量点电阻率(方块电阻 ，然后统计出全部测量点的电阻率（方块电阻）最大、最小、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度。z 最大百

28、分变化：(%100×m m M ；z 平均百分变化：%100×c c a ；z 径向不均匀度：(%1002×+m M m M ；以上公式中M 、m 分别为测量的电阻率（方块电阻）最大值与最小值。c 为第1、2点(即圆片中心测量点 测量平均值。a 为除1、2点外其余各点的测量平均值。如测量不足3点，则不计算“平均百分变化”值，要得到此值的精确值，测量点的第1点和第2点必须是测量样品的中心点。(若测量样品的方块电阻值, M 、m 、a 、c 分别改成R M 、R m 、R a 、R c 。 图104. 上图（图10）显示的是被测试材料电阻率(方块电阻 的直方图，X 轴

29、表示电阻率（方块电阻）各区间的值。Y 轴表示各区间值的频数。至此本次测量已结束。每按一次【测量】按钮，【统计测试数据】窗口记录的测量结果就会增加一项（即点数增加）。 用户如果发现测试如果有异常，可对测试点进行重测。如果重测后问题依然存在，请进行采样时间设置。请参考操作栏功能说明5.【采样时间设置】。2.【重测】当用户发现测量点采集的测试数据的电阻率(方块电阻有异常，可按此按扭可对测量点进行重新测量。重测功能可以对已经测量了的任意测量点进行重测，默认的状态下按下此按钮进行重测是对最新的测量点进行重测。如果要对已经测量了的任意测量点进行重测，用户只需点击要进行重测的点，此记数点的背景色将会变青色，

30、表示此测量点已经被选定(如下图中表示第2点已经被选定，如果是对最新的测试点进行重测可以不用选定最新测试点，直接按重测按钮就可以了。 当用户按下【重测】按钮后也会像【测量】功能按钮一样按钮的背景色变成青色，同时【重测】按钮的文字变成“重测中”“请稍候”(如下图所示表示重测正在进行中。 重测完成后，进行重新测量的点的测试数据将会替换成新的数据。3.【低阻扩展】当测试材料的电阻率0.01.cm或方块电阻0.1/时，为了提高设备的分辨能力请使用低阻扩展功能。要进行低阻扩展功能必需满足以下条件，电流量程档已经选择了100mA 档，如果电流量程档不在100mA 档，按下【低阻扩展】按钮会弹出一窗口表示在此

31、量程档下不能使用低阻扩展功能。 当用户的电流量程档已经选择了100mA 档，按下【低阻扩展】按钮，此时按钮的背景色会变成青色表示此时处于低阻扩展测试状态下。要退出低阻扩展测试状态可以点击电流量程选择框切换到任一量程档，即可退出【低阻扩展】按钮的背景色会变回灰色。4.【自动测量】【自动测量】功能跟【测量】功能主要区别在于当用户在不知道被测试材料的电流量程，不需逐档测量就可以自动比较各电流量程档，找到适合被测试材料的电流量程。当用户按下【自动测量】按钮，将会弹出如下图所示（图11）的窗口，此时四探针测试仪主机的电流量程档切换到10A，并要求用户调节四探针测试仪主机的电流为10.000A。调节完电流

32、后就可以按下【确定】按钮进行自动测量，如果用户不能调节到10.000A请按【取消】按钮退出自动测试（只有调节到10.000A状态下，使用【自动测量】功能测量的数据才正确）。 用户在使用【自动测量】功能前与使用【测量】功能一样对测试样品进行测量前要在【测试参数】窗口选择测试类别、输入材料的相关属性参数值、确定测量点的位置，只是电流量程不用确定程序会自动比较。测试参数设定完毕后，然后按下【自动测量】按钮进行自动测量。 图11自动测量从电流量程档10A开始检测起直至检测到适合此测试材料的电流量程（如果被测试的材料电阻率（方块电阻）的值不在RTS-9型双电测四探针测试仪测量范围内，会弹出一窗口提示用户

33、），最后把测试材料的测试数据在【统计测试数据】窗口显示出来。当第一次自动测量完成后，此时测试材料的电流量程已经确定下来，【自动测量】按钮的背景色会变成青色表示样品通过自动测量后已经确定了适合样品的测试量程，用户在测量同一样品或者是同类样品时就不需要再执行【自动测量】按钮，直接按【测量】按钮就可以在此量程档下得到测试数据,如果用户继续执行【自动测量】按钮将从已经确定了的量程档开始比较各量程。当用户检测完此次测试的样品，要检测新的样品时，请按【新建测试】按钮退出此次自动测量确定电流量程的状态，【自动测量】按钮的背景色会变回灰色。建议：如果用户确切知道被测试材料的电流量程档请不要用自动测量功能，因为

34、自动测量功能会耗费不少的测试时间，因为它要比较每一量程档找到最适合此测试材料的电流量程。用户也可以参考自动测量的测试结果的值，结合我们推荐的测试电阻率、方块电阻时电流量程的表格，手动选择适合此样品的电流量程档。5.【采样时间设置】 在进行测量时不同的材料及测量环境会影响测试的准确性。当用户测量时如果发现四探针软件测试系统测试数据跟四探针测试仪LED上的实际读数误差太大请进行采样时间设置，用户按下此按钮后将弹出如右图所示的窗口，让用户进行采样时间的设置。窗口对为什么要进行采样时间设置有相关的介绍。用户在此窗口中可对每一档的电流量程采样延迟时间(以秒为单位 进行设置，当用户设置了采样时间后按下【应用】按钮此次设置将生效。新的测试或者是重测将以此为采样延迟时间。用户可对此进行调试以确定一个最小的延迟时间来提高测量速度 。测试电阻越大需要的延迟时间就越高