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文档简介

1、一、目的规范DRF-85/95单晶炉开机点检及保养作业,保证设备正常运转和生产正常运行.二、范围适用于DRF-85/95单晶炉开机点检和预防性保养控制.三、职责当班机修人员及操作人员对此操作负责.四、作业内容、4.1 开机点检（当班操作人员点检，当班组长确认。）序号设备部件开机点检项目1籽晶提升机构l 检查籽晶绳承重头部是否烧损。l 检查籽晶驱动装置是否异常.2真空系统l 检查真空压力是否正常。2Pa3冷却系统l 检查进水压力是否达到0.15Mpa/25-304炉体l 机台是否清洁、无杂物。l 检查视窗玻璃是否损坏。l 检查隔离阀下O型圈是否磨损，清洁，阀心的操作是否正常。l 氩气入口压力是否

2、达到0.1-0.2Mpa5电气系统l 检查主电源电压是否正常。4.2 月度保养（当班机电修人员保养，班组长确认。）序号设备部件月度保养项目1籽晶提升机构l 检查籽晶钢缆是否异常（如跳槽、夹痕、毛刺、变色）。l 检查晶转皮带是否松动。l 检查连接部件螺丝是否松动。l 清洁籽晶提拉头卫生。2坩埚提升机构l 清洁、润滑丝杆、导柱、蜗轮、齿轮。l 检查埚转、埚升电机驱动装置所有螺钉是否紧固。l 检查埚转皮带的磨损、对中和张紧。l 清除坩埚波纹管中的杂物。3真空系统l 检查真空泵两端油杯内是否有黄油，清洁倒吸阀。l 检查真空管路螺丝是否松动,真空泵是否有异响,皮带是否松动。l 清理主泵、副泵、真空电机及

3、其周边环境的油污、灰尘。4炉体及周边辅助系统l 清洁电源柜、操作柜、UPS、工控机。l 检查相机前的玻璃，避免有灰尘和污垢。l 检查红外测温仪，清除镜头处的污垢和异物。l 检查电极是否紧固。l 检查各水管抱箍是否紧固。l 检查各感应开关，感应部分是否有污垢和异物。4.3 半年度保养（当班机电修人员保养，班组长确认。）序号设备部件半年度保养项目（含月保养内容）1坩埚提升机构l 减速机的换油。l 脂润滑滚珠直线导轨副。l 检查坩埚轴是否磨损。2籽晶提拉头系统l 脂润滑直线滑杆。l 差动减速机的换油。l 减速器的换油。3电气系统l 检查各电机的电缆插头是否紧固，电机转动是否灵活。l 检查UPS电源的电池供电能力是否正常。l 检查接触器吸合时端子是否接通良好，接触器内是否有异物掉入。l 检查断路器的状态，并用断路器的试验开关检查断路器是否能正常动作。l 检查继电器是否紧密的插装在继电器座上，触点是否正常完好。l 检查连接紧固件是否有接触不良或松动。4真空系统l 清洁低真空管路。l 主、辅真空球阀维护。4.4 每月20日，由机修班长提交下月的机台保养进度计划，依计划实施月度保养、半年度保养。五、相关文件与记录5.1、DRF

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