场发射扫描电镜技术标书

1、场发射扫描电镜技术标书作者:日期:附件：场发射扫描电镜技术标书扫描电镜是一种多功能的仪器, 的断口分析、材料的晶粒度分析、 进行表面形貌的观察及成分分析。 细晶材料尤其是纳米材料的表征。 变化进行原位观察。、设备用途广泛地用于材料的微观组织观察、微区成分分析、材料夹杂物分析及织构表征等，可对导电及不导电的固体材料场发射电镜能够实现更高分辨率的形貌观察，可实现对超基于相关附件，也可以对材料在温度及应力作用下的动态仪器包括电子光学系统、真空系统、样品室和样品台、探测器及成像系统、图像处理系 统、应用软件及数据处理软件、 X射线能谱分析仪（EDS）、背散射电子衍射分析仪 （EBSD）、 原位加热台。

2、二、技术参数1 .运行环境1.1工作温度：可以在 1525环境温度工作1.2相对湿度：湿度小于 60%RH时正常工作1.3工作电压：在220V（ ±0%）、50Hz电压下，仪器可连续使用2电子光学系统2.1电子枪：Schottky场发射电子枪2.2加速电压：0.2kV30KV，步长10V连续可调2.3电子束流：束流连续可调，稳定性优于0.2%/h2.4放大倍数：15倍100万倍2.5工作距离：550m m,粗调、精调两种模式2.6物镜：无漏磁物镜，能有效观测磁性样品2.7物镜光阑：具备自清洁功能 3.真空系统3.1机械泵、分子泵、离子泵三级抽真空系统*3.2真空模式：能够满足基本的成

3、像、分析的高真空模式，同时满足原位加热台等附件工作 的需要模式3.3真空度：电子枪真空度优于10-7Pa、样品室高真空优于 10-4Pa3.4抽真空时间：不高于 5min4检测器及成像系统4.1成像模式：背散射成像、二次电子成像、任意比例混合模式成像4.2检测器：电子探测器不少于3个，镜筒内二次电子探测器1个，高灵敏度低电压固体背散射探测器1个4.3相机：样品室红外高清CCD相机4.4检测器分辨率*4.4.1二次电子分辨率：30kV时小于1.0nm或20kV时小于1.3nm, 1kV时优于3.0 nm*4.4.2背散射电子分辨率：30kV时小于2.5nm , 1kV时优于3.0nm5样品室和样

4、品台5.1样品台：自动马达驱动.5轴以上（X、Y、Z、T、R）*5.2 移动范围：X100mm、Y> 100mm、Z> 50mm T=-570 ° R=360°连续旋转5.3移动精度：优于2 ym5.4样品室尺寸：内径不小于 300mm，高度不小于 200mm，可容纳样品直径不小于200mm5.5样品室有 EDS、EBSD接口*5.6可加配加热台和原位拉伸台，加热台运行时应保证成像系统和EBSD能够同步运行6.图像处理系统6.1存储分辨率：不低于 30002000像素6.2活动窗口：多个活动窗口，可同时显示背散射及二次电子图像6.3图像格式：TIFF、BMP、J

5、PEG等多种图像格式6.4图像帧数：不小于 256帧，可降噪处理6.5能够进行数字动画记录6.6具有图像注释、测量等图像处理功能7控制和数据处理系统7.1基于以太网架构的数据传输系统7.2软件平台适用于 windows操作系统7.3显示器：24”LED显示器8. X射线能谱分析仪（EDS ）8.1能量探测器：电制冷硅漂移探测器（SDD ）*8.2有效采集面积：SDD晶体有效活区面积不小于 30mm2，窗口有效面积不小于 20mm2, 可实现低电压或者小束流条件下的高质量、高效率分析*8.3探测器定位：探测器由马达控制精确定位，软件可控，能够实时监测和控制采集计数率，保证不同样品的数据重复性和测

6、试条件重复性的目的*8.4能量分辨率： Mn Ka优于127eV, C Ka优于50eV , F Ka优于60eV8.5元素分析范围：至少为 Be4U92*8.6峰背比：优于20000:18.7谱峰稳定性：分辨率变化在1eV以内，48小时内峰位漂移小于 1.5eV8.8计数率：输出最大计数率大于800,000CPS,可处理最大计数率大于1,500,000CPS8.9具有轻元素定量分析和修正功能，可对Be、B、C、N等进行浓度定量检测以及修正8.10采集界面：采用32位和64位双系统，采集界面方便简单， 智能化设定参数，兼容原有 EBSD数据，能实现能谱的采集与定量分析、线扫描及全息面扫描，包含

7、常规面分布、定量 面分布和快速面分布、快速智能面分布等*8.11定性分析：具备点、线、面扫描分析功能，可自动和手动进行全谱元素谱峰识别，并 具有检验重叠峰剥离准确性以及合峰效应的有效方法，能够分析夹杂和偏析等微量元素和微量相8.12定量分析：采用最先进的修正技术和虚拟标样数据库，系统能够自动有效修正元素之间的相互吸收，可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析，谱峰稳定，数据重现性好，不需要多元素校准峰位。具备方便的虚拟标样分析方法，且可以得到高级的非归一化定量结 果，各元素定量误差没有相互干扰，数据格式可以和电子探针等高级分析方式的数据直接对应；*8.13智能软件系统：中英文任意切换的软件界

8、面，能谱与电镜一体化，可实现自动读取和 控制电镜参数，完整的离线能谱分析软件，具备实时跟踪能力和智能定性，定量分析能力，自动漂移校正*8.14低电压分析：在电镜低电压条件下能正常分析，3KV下可获取轻元素的定性定量信息，5KV下具备虚拟标样数据库，可实现全谱定性定量分析8.15系统可靠性：采用独立的图像采集处理器和波形采集处理器，各自独立封装，防止集成式设计存在的故障可能点多、更换零部件成本高的问题8.16计算机：原装工作站， CPU四核，主频高于 3 GHz，三级缓存不小于 8M，内存32G， 硬盘500G*2，可实时备份，27” LCD显示器，可刻录 DVD光驱8.17配有彩色激光打印机8

9、.18与电镜操作台一体化风格的原装进口实验台9 背散射电子衍射分析仪（EBSD）9.1与EDS 一体化的用户界面，所有应用软件均可在同一个平台上打开，操作简单方便9.2支持包括中文在内的多种语言的智能能谱与EBSD系统*9.3能够与能谱仪同时实现同步原位分析，EDS面分布和EBSD面分布扫描能够同时进行，并且任意切换图片显示9.4可根据能谱数据对 EBSD花样进行预过滤，实现对未知相的相鉴定*9.5高灵敏度的CCD相机，焦距始终固定在荧光屏上，荧光屏和CCD相机像素对应，像素能完全利用，没有缩锥比9.6加速电压5V，束流小于100pA时可采集到明显的衍射花样*9.7直插式探头，具备马达自动伸缩

10、控制和防碰撞功能，能够实时显示探头位置*9.8工作距离范围：具备专门的设计和接口， 可以在540mm范围的任何 WD位置进行EBSD 采集分析，充分靠近样品而不遮挡能谱探头9.9在线解析速度高于100点/秒，可以记录原始菊池花样进行离线二次标定*9.10在低束流条件下（5nA ）,用单晶镍（Ni）为标样，标定的成功率保证在100%*9.11取向测量精度：优于 0.05度的取向精准度*9.12花样像素分辨率高于 134410249.13提供专用的由电子衍射获得的EBSD晶体学数据库，支持所有主要的第三方数据库，可分析不少于6万种的晶体结构，能方便自建数据库和导入CIF数据9.14背景扣除技术：采

11、用动态和静态扣除技术和自动曝光设定，可以自动扣除包括单晶在内的7个晶系的各种材质的背景花样9.15具备常用的EBSD分析功能，包括晶体结构模拟、晶粒尺寸、极图、ODF、取向差、晶界分析等全部的表征，同时可以对材料的弹性模量、泰勒因子、施密特因子等进行表征，所有分析功能全部集成在一个软件平台*9.16核心算法和误差评判技术：具备4条以上条带一次标定的核心算法，提高角分辨率，可采用带宽标定技术改善相似相结构的剥离准确性，自动分析复杂材料和区分相似相，每一点的标定误差可以量化显示和控制，且具备角度单位9.17软件具有智能相分布、智能跟踪、智能数据复查、智能相机、智能背底处理、智能标定 等功能9.18

12、具备透射EBSD分析专用算法，自动修正透射菊池花样畸变和中心偏移问题；具备能 谱仪辅助的EBSD物相鉴定功能，剥离相似的相结构10. 原位加热台*10.1 Gata n 系列 Mura no 525 热台*10.2保护措施：带有热量屏蔽装置，对物镜和样品仓不产生明显的热影响，需有效保护电 镜探测器，能够使电镜正常使用，并保证EBSD在加热台运行时正常工作10.3结构：结构紧凑，方便安装和取出，可以方便地用于EBSD的几何配置，同时保持适当的工作距离*10.4温度控制：PID自动控制和手动控制两种模式，可存储所有的加热参数，能够精确同 步EBSD的面分布与温度曲线10.5加热速度：最大加热速度不

13、小于100/min10.6温度范围：最高使用温度在950以上*10.7温度精度：0.510.8温度稳定性：1/h11. 配套设备11.1数据处理计算机一台，要求CPU主频高于3 GHz,内存大于8G,硬盘容量大于500G,可刻录DVD光驱，24” LCD显示器，操作系统采用Microsoft Windows 7系统11.2离子溅射仪11.2.1 Cress in gt on 108Auto全自动离子溅射仪 1套11.2.2靶材为铂金11.2.3可镀最大样品直径大于60mm11.2.4镀金速率大于 30 nm/min11.2.5镀金颗粒小，镀层均匀11.3电解抛光仪11.3.1进口品牌电解抛光仪

14、 1套11.3.2 输出电压：0100V11.3.3输出电流：020A11.3.4温度范围：室温400，可恒温控制11.3.5可恒流和恒压操作，负载调解率0.01%11.3.6稳定度：电压 0.02%，电压偏移1mV，电流0.1%11.4 UPS稳压保护电源1套，整机供电不低于 2h,电子枪系统供电不低于200h11.5备用场发射灯丝系统 1套（灯丝+光阑）11.6空气压缩机1台11.7冷却循环水机1台11.8带除湿功能的空调一部三、技术及售后服务发货时间：合同生效后 6个月内。*厂商要求：同款型号设备国内用户不低于30家，同种品牌国内用户不低于200家。安装验收：卖方负责派技术员在买方确定的时间内到设备现场进行免费的安装、调试，按验收指标逐项测试至达到验收要求，出具验收报告，由用户确认签字，完成仪器验收工作。*人员培训：电镜厂家需提供初级培训、中级培训和高级培训三级培训模式：初级培训：安装调试完毕后，马上对用户人员进行初级培训。培训时间不少于7天，培训内容包括电镜及附件的操作、电镜及附件的日常维护、样品观测、分析、获取图象。中级培训：仪器运行一段时间后，针对用户使用过