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文档简介

1、半導體與光電廠務設施 設施真空系統概說 設施工程所採用之真空系統 製程真空 不作為直接對製程機台提供真空 環境,作為製程機台真空設備之末端抽氣 或產生粗略真空 (如供真空吸筆用 潔淨集塵系統 屬於負壓型的集塵系統,真 空度僅為粗略真空,操作壓力介於排氣系 統與製程真空間 粗略真空 : 1 atm 102 Pa中度真空 : 102 10-1Pa 高真空 : 10-1 10-5Pa 超高真空 : 10-5 10-8Pa 極高真空 : <10-8Pa 真空等級 氣流壓力範圍劃分 氣流壓力範圍運用 真空泵選用範圍 水封式真空泵 n n n n n n n n 保養容易：僅一轉動葉輪，無金屬摩擦面

2、,故內部不須潤 滑。 排氣量大：氣體吸入後被封液冷卻，因此其排氣量較一般 容積式泵浦大。 出口溫度低：壓縮熱被封液吸住，故排氣溫度低。 振動小：不須昂貴之基礎裝置。 近似絕熱壓縮：對易爆氣體排氣安全性特高。 適用任何氣體：以水或其它液體作封液，葉輪採不銹鋼,適 用於含水份蒸氣微粒固體及腐蝕性氣體之真空排氣。 無脈動及噪音：真空度穩定，出口加裝消音器，噪音可完 全消除。 修護容易：使用超過年限時，葉輪與風座之間隙若磨損過 大，在正常狀況下，只須將迫緊換薄，重新調整其間隙。 水封式真空泵 NO. 100 101 110 120 121 130 零件名稱 機殼 機殼 托架 入口風座 出口風座 串接入

3、口風座 NO. 131 200 201 210 500 501 零件名稱 串接出口風座 葉輪 葉輪 軸 軸承座 軸承座 NO. 520 521 900 9015.1 9015.2 9015.3 零件名稱 軸承蓋 軸承蓋 滾珠軸承 鍵 鍵 鍵 NO. 9215 9410 9430 9903 9906 零件名稱 軸承固定螺帽 擋水環 填料 調隙螺栓 填料蓋 油封式真空泵 油封式真空泵性能曲線 製程真空系統 設施工程真空管路的尺寸選擇 n n n 利用氣導方式計算 : 可不必考慮氣體壓縮密度變 化之效應，但計算複雜管路系統(如設施工程不便 利，多半運用於製程機台側的管路設計 利用質量流率守恒法 :

4、需考慮氣體壓縮密度變化 之效應(可運用一般流體力學上計算壓降的方式處 理問題 壓降限制法 : 以不超過系統所設定真空度的30%為 原則，一般多用在只針對單點抽氣之系統 氣導方式 質量流率守恒 潔淨集塵系統 管路的選用 濾袋之分類 震盪式濾袋 逆洗式濾袋 脈衝式濾袋 濾袋之清除 選用濾材考慮的因素溫度 耐酸鹼性纖微的型式及種 類 織造方法 濾材結構濾材表面處理 耐磨損性 透氣率 撓曲應力 補集效率 選用濾布之要點廢氣溫度 廢氣化學性質露點 酸露點 粉塵粒徑 粉塵形狀 粉塵濃度 粉塵逆洗方式 集塵系統配置 集塵系統尺寸 氣/布比(Air-Cloth Ratio, A/C n n n n n 定義: 總廢氣量 / 濾布面積 (m / min AC過低會造成

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