三氯氧磷的纯度和洁净度对集成电路的成品率及可靠性有着积极的影响

1、三氯氧磷的纯度和洁净度对集成电路的成品率及可靠性有着积极的影响，而工业级的三氯氧磷纯度只有99%左右，因此，有必要将其提纯为电子级三氯氧磷以满足光伏、IC产业对原料的纯度要求。株洲市嘉众电子材料有限责任公司将市售的工业级三氯氧磷提纯至能够满足不同厂家需求的纯度为5N（ 99.999%）7N（99.99999%）的电子级三氯氧磷，产品属于国家大力扶持鼓励的光伏电子行 业材料，符合国家产业政策方向，具有长远的发展前景。市售的工业级三氯氧磷纯度一般为 99%，其主要成分及各成分沸点见表 &表8工业级三氯氧磷的主要成分及各成分沸点成分含量（%）沸点（C）三氯氧磷99105.3氯化铝0.1519

2、0氯化钾0.151450氯化铜0.1993氯化钠0.21465氯化钙0.2>1600三氯化磷0.1776本项目运营期主要风险因素是三氯氧磷泄露。（1）环境风险评价等级及范围本项目三氯氧磷的最大贮存量为生产一个月所需的原料和成品，共计约1.8t，根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ/T 169-2004）附录A有毒物质 名称及临界量中关于氧氯化磷的规定（见表9），可知本项目三氯氧磷不属于重大危险源；同时，本项目拟建地不属于环境敏感地区，根据建设项目环境风险 评价技术导则（HJ/T 169-2004）中对于环境风险评价工作级别的划分标准（见表 10），可知本项目环境风险评价确定为二级。表9

3、有毒物质名称及临界量物质名称生产场所临界量/t贮存场所临界量/t氧氯化磷820剧毒危险性物质一般毒性危险物质可燃、易 燃 危险性 物质爆炸危险 性 物质重大危险源-一-二二-一-一-非重大危险 源-二二-二二-二二-二二环境敏感地区-一-一-一-一-表10环境风险评价工作级别根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ/T169-2004）的要求，二级评价范围距离源点不低于3公里范围。根据建设项目环境风险评价技术导则（HJ/T169-2004）价应对项目进行风险识别、源项分析和对事故影响进行简要分析,的要求，二级评提出防范、减缓和应急措施。（2）风险识别物质的理化常数:国标编号61116CAS号10

4、025-87-3中文名称氧氯化磷英文名称Phos phorus oxychloride别名氯化磷酰；磷1酰氯；三氯氧化磷；三氯氧磷分子式P 0CI3外观与性 状无色透明发烟液体，有辛辣气味分子量153.33蒸汽压5.33kPa/273C闪点：无意义熔点12C沸点：105TC /分解溶解性溶于水，溶于醇密度相对密度（水=1）1.68; 相对密度（空气=1）5.3稳定性稳定危险标记13（剧毒品），20（腐蚀品）主要用途用于制造染料及作为苯类和胺类 的催化剂健康危害：本品遇水分解成磷酸与氯化氢，含磷可致磷中毒，对皮肤、粘膜 有刺激腐蚀作用。毒性与光气类似。急性中毒：短期内吸入大量蒸汽，可引起上 呼吸

5、道刺激症状，咽喉炎，支气管炎，严重者可发生喉头水肿窒息，肺炎，肺水肿，紫绀心力衰竭。亦可发生贫血，肝脏损害，蛋白尿。口服引起消化道灼伤。眼和皮肤接触引起灼伤。长期低浓度接触可引起口、眼及呼吸道刺激症状。环境危险：本品遇湿、遇水分解成磷酸和氯化氢，对环境有危害。燃爆危险：本品不燃，但遇水猛烈分解，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸， 对很多金属尤其是潮湿空气存在下具有腐蚀性。泄漏应急处理： 疏散撤离泄漏污染区人员至安全区， 并立即隔离 150 米，禁 止无关人员进入污染区， 建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器， 穿化学防护服。 合理通风，不要直接接触泄漏物。勿使泄漏物与可燃物质（木材、纸、油等）接 触

6、，在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发（或扩散） ，但不要对泄漏物或泄 漏点直接喷水。少量泄漏时，用沙石吸收，然后再用 NaOH溶液清洗沙石。如果 大量泄漏， 由专业技术人员， 将漏液导入储液池， 再将储液池中的漏液用真空泵 装入用完的原料包装桶，由原料供应商回收利用。（3）源项分析本项目可能发生三氯氧磷泄露的环节包括： 仓库a、磷塑料桶倾翻、破损，以致工业级三氯氧磷流出;b、石英瓶破损，以致电子级三氯氧磷流出。 生产车间a、往反应瓶加入原料时发生滴漏；b、提纯系统密闭性不，提出中发生泄漏；C、将产品分装到石英收集瓶时发生滴漏；d操作过程中不小心打翻、打破石英瓶，导致三氯氧磷流出;e、石英反应

7、瓶和石英收集瓶洗涤废水尚未处理就外流。4）事故影响分析三氯氧磷泄漏后可能产生的影响： 三氯氧磷泄漏挥发，通过吸入或皮肤接触，引起人员中毒或皮肤灼伤； 三氯氧磷泄漏后在潮湿的空气中或遇水分解， 生成磷酸和氯化氢， 污染环 境； 三氯氧磷泄漏后遇水激烈反应， 产生大量的热和浓烟， 甚至爆炸， 造成人 员伤亡。由于本项目三氯氧磷储存时有专人看管并检查包装的完好性， 同时，塑料桶 和石英瓶进一步放置在防泄漏塑料槽内， 即使包装破损， 三氯氧磷也会被收集到 塑料槽内， 当检查人员发现后即可采用沙石吸收， 而不会往外流出产生遇水反应 而造成严重事故。 生产过程中每次提纯操作前都会对设备进行查漏， 发生三氯

8、氧 磷泄漏的可能性非常小； 往反应器中加原料以及把产品从反应器中分装到收集瓶 的过程都是通过真空泵来完成的， 发生滴漏的可能性也非常小； 同时提纯设备下 面进一步放置了防泄漏塑料桶内。 厂房内的工人均穿戴劳保用品， 包括防护面具、 橡胶手套、防护服装等，基本不会吸入和皮肤接触三氯氧磷。通过上述分析，可 知本项目一旦发生三氯氧磷泄漏， 基本在厂房内即可妥善处理解决， 对环境及周 边居民造成危害的可能性较小。5）环境风险控制措施为有效防范三氯氧磷泄露， 减小泄露事故危害， 本环评提出以下环境风险控 制措施：1）进入厂房的工人均应严格佩戴劳保用品，包括防护面具、橡胶手套、防护服装等；（2）厂房内严禁

9、烟火，工人不得在厂房内饮食，严防三氯氧磷靠近火源和水源；4）5）6）7）加强厂房通风；加强对包装设备和生产设备的检查，严防泄露； 加强职工安全教育培训，提高操作管理水平，严防操作事故发生； 装卸原料和产品时要轻拿轻放，防止撞击和包装破损； 企业应制定事故应急预案，一旦发生泄漏事故，马上采用相应处理措施，把事故可能造成的危害控制在最小范围、降到最低程度。150泄漏应急措施包括：疏散撤离泄漏污染区人员至安全区，并立即隔离米，禁止无关人员进入污染区，应急处理人员应佩戴劳保用品，包括防护面具、 橡胶手套、防护服装。勿使泄漏物与可燃物质（木材、纸、油等）接触，在确保 安全情况下堵漏。少量泄漏时，用沙石吸收，然后再用NaOH溶液清洗沙石。如果大量泄漏， 由专业技术人员， 将漏液导入储液池， 再将储液池中的漏液用真空 泵装入用完的原料包装桶，由原料供应商回收利用。另外